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压电/电致伸缩器件的制作方法技术
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文档序号:3204745
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一种压电/电致伸缩器件(10)的制造方法,该压电/电致伸缩器件(10)包括相对的一对薄板部(12a,12b);支承这些薄板部(12a,12b)的固定部(14);活动部(22a,22b),该活动部(22a,22b)位于上述一对薄板部(12a,...
该专利属于日本碍子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日本碍子株式会社授权不得商用。
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