包括设置在谐振器内的压电元件的压电马达制造技术

本发明专利技术涉及一种压电马达，它包括至少一个压电元件（１）和至少一个谐振器（２），其中压电元件（３４）的一个表面与谐振器（５６）的至少一个表面是互联的。该压电元件（１）优选是单片多层致动器。本发明专利技术还涉及生产根据本发明专利技术的压电马达的几种方法。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种包括至少一个压电元件和至少一个谐振器的压电马达，其中压电元件的至少一个表面与谐振器的至少一个表面是互联的。本专利技术还涉及生产根据本专利技术的压电马达的几种方法。对于小型电磁马达来说，压电马达代表一种替代的驱动装置方案，电磁马达通常噪声太大和/或太昂贵。这些压电马达包括至少一个在电压作用下可双向膨胀的压电元件，因此当施加一交变电压时，可产生一，例如，传递到谐振器的振动。由于压电元件的膨胀通常为几微米或更小，所以现有技术的压电元件需要包括彼此必须精确地平行的非常光滑的表面。对于一个，例如，已经用一种生产陶瓷电容器(以下称之为陶瓷电容器生产方法)的方法制造的压电元件，这些表面只能通过磨削来达到。但是，表面的这种磨削成本很高且伴随很大的废品率所以包括这种压电元件的压电马达只在工业装置中受到有限的关注。因此，本专利技术的任务就是提供一种不具有现有技术的缺点的压电马达。根据本专利技术，本任务就是以一种包括至少一个压电元件和至少一个谐振器的压电马达来解决问题，其中压电元件的至少一个表面和谐振器的至少一个表面是互联的同时在未烧结时压电元件被成型且其表面在烧结后不再磨削。根据本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压电马达，包括至少一个压电元件（１）和至少一个谐振器（２），其中压电元件（１）的至少一个表面（３、４）与谐振器（２）的至少一个表面（５、６）互联，其特征在于，压电元件在未烧结时成型且烧结之后其表面（３、４）不再磨削。

【技术特征摘要】
DE 2001-9-21 10146704.41.一种压电马达，包括至少一个压电元件(1)和至少一个谐振器(2)，其中压电元件(1)的至少一个表面(3、4)与谐振器(2)的至少一个表面(5、6)互联，其特征在于，压电元件在未烧结时成型且烧结之后其表面(3、4)不再磨削。2.根据权利要求1的压电马达，其特征在于，压电元件是采用生产陶瓷电容器的方法制造的。3.根据权利要求1或2的压电马达，其特征在于，压电元件(1)的至少二个表面(3、4)与谐振器(2)的至少二个表面(5、6)互联。4.根据上述权利要求之一的压电马达，其特征在于，表面(3、4)与表面(5、6)之间的联结仅为部分的形状配合、力配合、或化学结合。5.根据上述权利要求之一的压电马达，其特征在于，该表面(3、4)具有的不平度＞1微米，优选＞10微米，特别优选＞100微米。6.根据上述权利要求之一的压电马达，其特征在于，该压电元件主要有平板形、圆柱形、或平行六面体形和至少有二个相对的侧面不是相互准确平行的平表面。7.根据上述权利要求之一的压电马达，其特征在于，以某种型式激发压电元件振动并将此振动传递到谐振器，其特征在于所选择的工作谐振频率相对于所选择的平均工作谐振频率的标准偏差＜20％，优选＜5％，特别优选＜1.5％，特殊地优选＜0.6％，以及最优选＜0.1％。8.根据上述权利要求之一的压电马达，其特征在于，以某种型式激发压电元件振动并将此振动传递到谐振器，其特征在于，所得的谐振器振幅相对于平均幅值的标准偏差＜60％，优选＜40％，特别优选＜15％，特殊地优选＜5％。9.根据上述权利要求之一的压电马达，其特征在于，压电元件的最大行程＜10微米，优选＜2微米，特别优选＜0.5微米，特殊地优选＜0.1微米。10.根据上述权利要求之一的压电马达，其特征在于，该压电元件(1)具有单片多层结构，优选包括平行的铜电极。11.根据上述权利要求之一的压电马达，其特征在于，包括一压电元件(1)，该压电元件具有将激励源的电信号传输到压电元件(1)的二个端子。12.根据权利要求11的压电马达，其特征在于，压电元件(1)是可以通过传递到压电元件(1)的第一电信号激励而以第一模式振动，还可以通过传输到压电元件(1)的第二电信号激励而以第二模式振动。13.根据权利要求12的压电马达，其特征在于，该电信号是一正弦波或方波信号，但不是锯齿形信号。14.根据上述权利要求之一的压电马达，其特征在于，一物体可以借助传递到压电元件(1)的二个信号在二个方向可...

【专利技术属性】
技术研发人员：B马努斯森，B哈格曼恩，D舒勒，E塔维德森，
申请(专利权)人：伊利普特克谐振调节器股份公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]