【技术实现步骤摘要】
一种半导体加工用光刻机自动防护装置
[0001]本技术涉及半导体加工设备
，具体为一种半导体加工用光刻机自动防护装置。
技术介绍
[0002]光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备，光刻机采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上，光刻机对半导体的加工起到至关重要的作用，目前的光刻机缺乏保护结构，光刻机受到碰撞可能会使内部的零件移动位置，会对精确度造成巨大的影响，因此需要一种装置解决上述问题。
技术实现思路
[0003]本技术的目的在于提供一种半导体加工用光刻机自动防护装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种半导体加工用光刻机自动防护装置，包括光刻机，所述光刻机的外部固定连接有保护装置，所述保护装置包括机箱、第一双齿轮、第一传动皮带、第二传动皮带、第三传动皮带、第二双齿轮、齿轮、挡板、轴柱、连接块、定位板、防护外壳、定位槽、定位块、支柱、第三双齿轮和电动机，所述防护外壳设在保护装置的外...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种半导体加工用光刻机自动防护装置，包括光刻机（1），其特征在于：所述光刻机（1）的外部固定连接有保护装置（2），所述保护装置（2）包括机箱（3）、第一双齿轮（4）、第一传动皮带（5）、第二传动皮带（6）、第三传动皮带（7）、第二双齿轮（8）、齿轮（9）、挡板（10）、轴柱（11）、连接块（12）、定位板（13）、防护外壳（14）、定位槽（15）、定位块（17）、支柱（18）、第三双齿轮（19）和电动机（20），所述防护外壳（14）设在保护装置（2）的外部，所述连接块（12）设有两个，且所述连接块（12）对称固定连接在防护外壳（14）的内端面，所述机箱（3）固定连接在防护外壳（14）的上端面，所述第三双齿轮（19）安装在机箱（3）的内部，所述第三双齿轮（19）固定连接在电动机（20）的下端面，所述第一传动皮带（5）啮合连接在第三双齿轮（19）的两端，所述第一双齿轮（4）均啮合连接在第一传动皮带（5）的外端，所述第二传动皮带（6）啮合连接在第一双齿轮（4）的一端，所述第三传动皮带（7）啮合连接在第一双齿轮（4）的另一端，所述第二双齿轮（8）啮合连接在第三传动皮带（7）后端，所述定位块（17）固定连接在防护外壳（14）的后端四角，所述轴柱（11）对称转动连接在定位块（17）的两端，所述齿轮（...
【专利技术属性】
技术研发人员：仇荣分，
申请(专利权)人：无锡美译精密机械科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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