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本实用新型公开了一种半导体加工用光刻机自动防护装置，包括光刻机，所述光刻机的外部固定连接有保护装置，所述保护装置包括机箱、第一双齿轮、第一传动皮带、第二传动皮带、第三传动皮带、第二双齿轮、齿轮、挡板、轴柱、连接块、定位板、防护外壳、定位槽、...
该专利属于无锡美译精密机械科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡美译精密机械科技有限公司授权不得商用。

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