曝光装置以及利用其的显示装置制造方法制造方法及图纸

公开曝光装置以及利用其的显示装置制造方法。根据一实施例的曝光装置包括：工作台，包括多个销孔；光源部，向所述工作台射出光；多个升降销，配置成分别贯穿所述工作台的所述多个销孔；升降销移动部，升降所述多个升降销；以及多个销冷却套管，在所述工作台之下配置于所述多个升降销的每一个，并各自包括与所述多个销孔连通且被插入所述升降销的至少一部分的升降销容纳孔以及与所述升降销容纳孔连通的气体供应孔。体供应孔。体供应孔。

【技术实现步骤摘要】
曝光装置以及利用其的显示装置制造方法


[0001]本专利技术涉及曝光装置以及利用其的显示装置制造方法。

技术介绍

[0002]随着多媒体的发展，显示装置其重要性在增加。为此，使用液晶显示装置(Liquid Crystal Display，LCD)、有机发光显示装置(Organic Light Emitting Display，OLED)等之类多种显示装置。
[0003]在如上那样的显示装置的制造过程中，可以执行将涂布在基板上的单体进行紫外线曝光而进行硬化的工艺。所述单体层根据温度而扩散性不同，因此为了防止因温度偏差产生的斑点，重要的是适当调整执行所述曝光以及硬化工艺的装置以及容纳其的腔室的温度。

技术实现思路

[0004]本专利技术所要解决的课题在于提供能够减少在曝光以及硬化工艺中产生的斑点的曝光装置以及利用其的显示装置制造方法。
[0005]本专利技术的课题不限于以上所提及的课题，尚未提及的其他技术课题会通过以下记载使本领域技术人员明确理解。
[0006]用于解决所述课题的根据一实施例的曝光装置包括：工本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种曝光装置，其中，包括：工作台，包括多个销孔；光源部，向所述工作台射出光；多个升降销，配置成分别贯穿所述工作台的所述多个销孔；升降销移动部，升降所述多个升降销；以及多个销冷却套管，在所述工作台之下配置于所述多个升降销的每一个，并各自包括与所述多个销孔连通且被插入所述升降销的至少一部分的升降销容纳孔以及与所述升降销容纳孔连通的气体供应孔。2.根据权利要求1所述的曝光装置，其中，当在所述工作台装载对象基板时，所述多个升降销上升以从所述工作台的上面凸出，从而支承所述对象基板的下面，当所述光源部曝光所述对象基板时，所述多个升降销下降而分别收纳在所述多个销孔中。3.根据权利要求2所述的曝光装置，其中，在所述多个升降销下降时，通过所述气体供应孔向所述升降销容纳孔喷射气体。4.根据权利要求2所述的曝光装置，其中，在所述多个升降销下降时，所述多个升降销的各端部容纳在所述升降销容纳孔内。5.根据权利要求2所述的曝光装置，其中，所述对象基板包括基底基板以及配置在所述基底基板上且包括单体的硬化层。6.根据权利要求2所述的曝光装置，其中，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：金重玄，崔敬硕，洪根永，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：