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曝光装置以及利用其的显示装置制造方法制造方法及图纸
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下载曝光装置以及利用其的显示装置制造方法的技术资料
文档序号:32029097
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公开曝光装置以及利用其的显示装置制造方法。根据一实施例的曝光装置包括:工作台,包括多个销孔;光源部,向所述工作台射出光;多个升降销,配置成分别贯穿所述工作台的所述多个销孔;升降销移动部,升降所述多个升降销;以及多个销冷却套管,在所述工作台之...
该专利属于三星显示有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三星显示有限公司授权不得商用。
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