插入体主体、插入体和电子部件处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术的目的在于提供一种可插拔地安装在插入体主体上的引导核心和可插拔地安装引导核心的插入体主体。所述引导核心其特征在于包括：为了使区域阵列型电子部件的外部端子向插座的连接端子方向露出，支撑所述区域阵列型电子部件的外部端子面的支撑部；能够可装卸地与所述插入体主体所具有的钩部配合的钩承部。所述插入体主体其特征在于包括：具有安装所述引导核心的引导核心安装口、以及为了把电子部件向安装在所述引导核心安装口上的所述引导核心引导而与所述引导核心安装口连通的电子部件进入口的电子部件引导部；和能可装卸地与所述引导核心具有的钩承部配合的钩部。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及在存放被试验部件的状态下，能把所述被试验部件提供给基于电子部件试验装置的试验的电子部件存放体(插入体)、以及利用它的电子部件处理装置。
技术介绍
在本导体器件等的制造过程中，需要用于试验IC器件等电子部件的性能或功能等的电子部件试验装置。作为这样的电子部件试验装置的一例，众所周知的有由电子部件处理装置、电子部件接触装置和试验用主装置构成的电子部件试验装置。作为电子部件处理装置的一例，众所周知的有在被试验IC器件上外加低温、高温等各种温度应力后安装到插座(socket)上，并且按照试验结果把试验完毕的IC器件分类存放的、被称作处理机(handler)的IC器件处理装置。另外，作为电子部件接触装置的一例，通过插座和测试头使被试验IC器件接触试验用主装置(电连接)的IC器件接触装置。使用处理机的IC器件的试验例如按如下进行。把被试验IC器件输送到具有IC插座的测试头的上方后，通过推动器按压，安装到IC插座上。据此，IC插座的连接端子与被试验IC器件的外部端子接触，被试验IC器件通过IC插座和测试头电连接在试验用主装置上。而且，把从试验用主装置通过电缆提供给测试头的测试信号外加到被试验IC器件上，并且把从被试验IC器件读出的响应信号通过测试头发送给试验用主装置，从而测定被试验IC器件的电特性。在使用处理机的IC器件的试验中，被试验IC器件存放在托盘中，输送到处理机内，试验结束后，把各IC器件按照各自的试验结果放到不同类别的托盘中。当试验前和试验后的用于存放IC器件的托盘(以下也称作客户托盘)与在处理机内循环输送的托盘(以下称作测试托盘)的类型不同时，在试验的前后，在客户托盘和测试托盘之间进行IC器件的换乘。在测试托盘之中安装多个称作插入体的电子部件存放体，被试验IC器件存放在测试托盘上安装的插入体中，输送到测试头，在存放在插入体中的状态下按压测试头。如果使用安装多个插入体的测试托盘，就能同时测定多个IC器件。在插入体中，与被试验IC器件的封装类型等对应而存在各种构造。例如，如图19所示，在存放BGA型IC器件等区域阵列型电子部件的插入体16的插入体主体17中形成把被试验IC器件2向引导核心18引导(guide)的器件引导部171a，IC器件2由器件引导部171a引导，存放到引导核心18中。在引导核心18的下端形成开口部182，从而使IC器件2的外部端子22在插座的连接端子方向露出，由开口部182的周围部支撑IC器件2的外部端面(IC器件2的封装主体外表面中的外部端子22排列的面)。另外，在插入体16中设置防止存放在引导核心18中的IC器件2的飞出或位置偏移的闩锁机构(例如特开2001-33518号公报)，该闩锁机构具有闩锁175，在闩锁175的一端形成闩锁部175b，臂部175d、175e连接在其上，在臂部175d上设置力点175a。在臂部75d上形成成为旋转中心的通孔175f，通过在在此插入销，闩锁175由插入体主体17支撑，可以旋转。在该闩锁机构中，伴随着杆板19对插入体主体17的接近，如果从力点175a输入外力，则闩锁部175b如图19(a)所示，移动到覆盖存放在引导核心18中的器件2的上表面，防止IC器件2的飞出或位置偏移(关闭位置)，而伴随着杆板19从插入体主体17背离，解除对力点175a的外力输入，则闩锁部175b如图19(b)所示，从存放在引导核心18中的器件2的上表面退开，移动到IC器件2的出入成为可能的位置(打开位置)。
技术实现思路
在插入体16中，如图19所示，插入体主体17和引导核心18成为一体，引导核心18是不能更换的。按照引导核心18的构造决定能存放在插入体16中的IC器件的尺寸，所以除了核心18的更换是不可能的，能存放在插入体16中的IC器件的尺寸也受限制，对于每个不同的IC器件尺寸有必要制作不同的插入体16。可是，插入体16的引导核心18以外的构造与IC器件的尺寸无关，几乎可以为相同的，所以对于每个不同的IC器件尺寸制作不同的插入体是低效的。另外，当在插入体16中能存放多种尺寸的IC器件时，能对应于多种尺寸的IC器件的闩锁机构即闩锁部175b的开关量(打开位置和关闭位置之间的移动量)大的闩锁机构成为必要的。如果增大闩锁175的旋转角度，就能增大闩锁部175b的开关量。可是，在图19所示的闩锁175中，在臂部175d上设置杆板19作用的力点175a，所以接近插入体主体17的杆板19不仅作用于力点175a，也与臂部175d、175e干涉，臂部175d、175e的旋转由杆板19限制。如果臂部175d、175e的旋转被限制，则闩锁部175b的旋转也受限制，所以无法增大闩锁部175b的旋转角度。因此，本专利技术的第一目的在于提供可插拔地安装在插入体主体上的引导核心。另外，本专利技术的第二目的在于提供可插拔地安装引导核心的插入体主体。另外，本专利技术的第三目的在于提供具有能可插拔地安装引导核心，并且闩锁部的开关量大，能对应于多种尺寸的IC器件的闩锁机构的插入体主体。另外，本专利技术的第四目的在于提供具有所述引导核心和所述插入体主体的插入体、以及具有该插入体的电子部件处理装置。为了实现所述目的，由本专利技术提供的引导核心、插入体主体、插入体和电子部件处理装置具有以下的特征。(1)本专利技术的引导核心可插拔地安装在插入体主体上，其特征在于包括为了使区域阵列型电子部件的外部端子向插座的连接端子方向露出，支撑所述区域阵列型电子部件的外部端子面的支撑部；能够可装卸地与所述插入体主体所具有的钩部配合的钩承部。在本专利技术中，“插入体”意味着在存放被试验电子部件的状态下，能把该被试验电子部件提供给基于电子部件试验装置的试验的电子部件存放体，“插入体主体”意味着能安装引导核心，并且能把被试验电子部件引导(guide)到安装的引导核心的插入体构成构件，“引导核心”意味着支撑该被试验电子部件，从而能把被试验电子部件提供给基于电子部件试验装置的试验的插入体构成构件。须指出的是，关于“插入体”、“插入体主体”以及“引导核心”的定义并不限定插入体、插入体主体以及引导核心具有的功能。本专利技术的引导核心安装在插入体主体上，通过插入体主体把被试验电子部件引导(guide)到安装在插入体主体上的引导核心中。而且，被试验电子部件由引导核心的支撑部支撑被试验电子部件，使其外部端子向插座的连接端子方向露出。据此，在由引导核心支撑被试验电子部件的状态下，把该被试验电子部件的外部端子连接在插座的连接端子上，能进行该被试验电子部件的试验。成为本专利技术的引导核心的对象的电子部件是区域阵列型电子部件。在此“区域阵列型电子部件”意味着在电子部件的封装主体的外表面配置外部端子(例如矩阵状)的电子部件，并未特别限定其种类，但是作为代表的具体例，能列举出BGA(ball grid array)、LGA(landgrid array)、PGA(pin grid array)、CSP(chip size package)等IC器件。另外，区域阵列型电子部件的外部端子的形状并未特别限定，例如能列举出球、凸台、针等形状的外部端子。另外，“区域阵列型电子部件的外部端子面”意味着区域阵列型电子部件的封装主体的外表面中外部端子排列的面。本专利技术的引导核心的支撑部的构造只本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种引导核心，可插拔地安装在插入体主体上，其特征在于：包括：能支撑所述区域阵列型电子部件的外部端子面，以使区域阵列型电子部件的外部端子向插座的连接端子方向露出的支撑部；和能够可装卸地与所述插入体主体所具有的钩部配合的钩承部。

【技术特征摘要】
1.一种引导核心，可插拔地安装在插入体主体上，其特征在于包括能支撑所述区域阵列型电子部件的外部端子面，以使区域阵列型电子部件的外部端子向插座的连接端子方向露出的支撑部；和能够可装卸地与所述插入体主体所具有的钩部配合的钩承部。2.根据权利要求1所述的引导核心，其特征在于所述引导核心具有所述钩部能进入的钩进入孔，所述钩承部被设置为使其能与进入所述钩进入孔中的所述钩部配合。3.根据权利要求1或2所述的引导核心，其特征在于所述引导核心具有用于嵌插对所述插座进行所述引导核心的定位的导轴的导轴嵌插孔。4.一种插入体主体，能够可插拔地安装权利要求1～3中任意一项所述的引导核心，其特征在于包括具有安装所述引导核心的引导核心安装口、以及为了能把电子部件引导至安装在所述引导核心安装口上的所述引导核心而与所述引导核心安装口连通的电子部件进入口的电子部件引导部；能够可装卸地与所述引导核心具有的钩承部配合的钩部。5.根据权利要求4所述的插入体主体，其特征在于所述钩部被设置为能进入所述引导核心具有的所述钩进入孔，并且能在进入到所述钩进入孔内的状态下与所述钩承部配合。6.根据权利要求4或5所述的插入体主体，其特征在于所述钩部被设置为能向与所述钩承部配合的方向移动。7.根据权利要求6所述的插入体主体，其特征在于把所述钩部设置为使其能以旋转轴为中心进行转动。8.根据权利要求6或7所述的插入体主体，其特征在于所述钩部通过弹性构件而靠向与所述钩承部配合的方向。9.根据权利要求8所述的插入体主体，其特征在于所述插入体主体具有限制所述钩部向与所述钩承部配合的方向移动或转动的阻挡部。10.根据权利要求9所述的插入体主体，其特征在于所述插入体主体具有设置在所述钩部上的夹具支撑部，即受到基于夹具的按压而使所述钩部向解除与所述钩承部的配合的方向移动或转动的所述夹具支撑部。11.根据权利要求10所述的插入体主体，其特征在于所述插入体主体具有所述夹具能进入的夹具进入孔，所述夹具支撑部被设置为使进入到所述夹具进入孔内的所述夹具能按压所述夹具支撑部。12.根据权利要求11所述的插入体主体，其特征在于设置所述夹具支撑部，以使进入到所述夹具进入孔内的所述夹具与所述夹具支撑部接触，能通过在所述夹具支撑部上滑动来按压所述夹具支撑部。13.根据权利要求4～12中任意一项所述的插入体主体，其特征在于所述插入体主体包含具有驱动体作用部、闩锁部和臂部的闩锁机构；其中，所述驱动体作用部，从相对于所述插入体主体而向接近和背离的方向移动的驱动体处接受向所述驱动体的接近方向的作用来进行旋转移动；所述闩锁部，在使所述电子部件引导部成为打开状态的打开位置和成为关闭状态的关闭位...

【专利技术属性】
技术研发人员：齐藤登，
申请(专利权)人：株式会社爱德万测试，
类型：发明
国别省市：JP[日本]