【技术实现步骤摘要】
本专利技术总体上涉及电子设备制造,并更为具体地,涉及大批量和小批量电子设备制造装置的集成。
技术介绍
制造执行系统(此后称为“MES”)跟踪在电子设备制造装置中(此后称为“Fab”)的原料(例如,基底批量和载具)及其相关处理流程。MES也跟踪在基底批量或载具处理中使用的Fab中资源的状态(例如,工具,存储设备,运输设备,机器人等的状态),每当对批量或载具的基底的处理完成一定的处理步骤(例如,使用特定工具的处理)时,就将该状态通知MES,并且MES根据通常Fab特有的一组操作规定确定载具的下一个目的地。例如,MES可以与分配器或调度器互相作用以确定能够对载具的基底执行下个处理步骤的工具,或者没有这种工具可用时的存储地址。一旦确定了载具的目的地,MES发送一个请求到原料控制软件(此后称为“MCS”)用于将载具从它的当前位置移动到已确定的目的地。MES也发送信息和命令到Fab的工具,指示每个工具如何处理已传送给工具的每个载具中的大量基底。该过程一直进行到已完成对载具中大量基底的处理流程中的所有步骤。MCS负责利用自动或人工的发送系统将载具从Fab中的一个地址运送到下 ...
【技术保护点】
一种系统,包括至少一个大批量载具运输系统,用于将大批量载具发送到至少一个大批量工具;以及至少一个合成工具,用于从大批量载具运输系统接收大批量载具,其中合成工具包括:至少一个将基底从大批量载具转移到小批量载具的机构;至少一个小批量载具运输系统,用于将小批量载具发送到至少一个小批量工具。
【技术特征摘要】
US 2003-11-6 60/518,5831.一种系统,包括至少一个大批量载具运输系统,用于将大批量载具发送到至少一个大批量工具;以及至少一个合成工具,用于从大批量载具运输系统接收大批量载具,其中合成工具包括至少一个将基底从大批量载具转移到小批量载具的机构;至少一个小批量载具运输系统,用于将小批量载具发送到至少一个小批量工具。2.如权利要求1所述的系统,其中至少一个大批量载具运输系统和至少一个小批量载具运输系统由中央制造执行系统控制。3.如权利要求1所述的系统,其中至少一个小批量载具运输系统由分散式小批量制造执行系统控制,并且小批量制造执行系统对于大批量制造执行系统来说是一个大批量组件。4.一种电子设备制造装置,包括一个包括多个大批量组件的大批量制造装置;一个用于控制大批量制造装置的制造执行系统;以及一个布置在大批量制造装置内的小批量子制造装置,其用于如大批量组件一样与大批量制造装置的制造执行系统互相作用。5.如权利要求4所述的电子设备制造装置,其中小批量子制造装置还用于如大批量组件一样透明地与大批量制造装置的制造执行系统相互作用。6.如权利要求4所述的电子设备制造装置,其中小批量子制造装置进一步用于内部复制制造执行系统的一部分商业规则以操作小批量制造装置。7.如权利要求6所述的电子设备制造装置,其中小批量子制造装置进一步用于在小批量子制造装置中封装小批量制造装置的操作。8.一种电子设备制造装置,包括一个包括多个大批量组件的大批量制造装置;一个小批量子制造装置,布置在大批量制造装置内,并包括多个小批量组件;以及一个中央制造执行系统,其包括一个第一模块,用于控制大批量制造装置;一个第二模块,用于控制小批量子制造装置。9.如权利要求8所述的电子设备制造装置,其中第二模块进一步用于在小批量子制造装置请求服务之前将指令传达到小批量子制造装置的队列。10.如权利要求9所述的电子设备制造装置,其中根据最已知的调度,在请求服务之前传送指令。11.一种合成工具,包括多个小批量组件;一个小批量制造执行系统,用于控制多个小批量组件;其中小批量制造执行系统进一步用于与大批量制造执行系统通信,以使大批量制造执行系统与合成工具互相作用就好象合成工具是大批量工具一样。12.如权利要求11所述的合成工具,进一步包括一个机构,用于接收和分派大批量载具,并将基底转移到小批量载具和大批量载具、和从小批量载具和大批量载具转移基底。13.如权利要求11所述的合成工具,其中小批量组件包括一个高速小批量载具运输系统。14.一种计算机可执行指令,用于控制电子设备制造装置...
【专利技术属性】
技术研发人员:阿米特皮里,大卫达芬,艾瑞克安德鲁恩格尔哈特,
申请(专利权)人:应用材料有限公司,
类型:发明
国别省市:US[]
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