移动用于浸液光刻的透镜的方法和装置制造方法及图纸

一种用于浸液光刻的装置，具有能够与在液体环境中的半导体晶片的水平运动同步地相对运动的透镜，在该液体环境中透镜装置和半导体晶片的同步运动有利于降低与液体环境相关联的湍流和气泡。所述透镜和半导体晶片的相对运动当扫描处理发生时实质上是相同的，这导致最佳图像分辨率，并且具有液体环境的最小气泡、湍流和破坏。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术一般地涉及光刻，更具体而言涉及在一种浸液环境(immersionliquid environment)中实现的光刻。
技术介绍
用于解决复杂问题的计算机系统的广泛使用已经产生了对于被设计用于使用更复杂算法来产生解决方案的应用的需要。随着所述问题的复杂性提高，用于解决这些问题的应用程序的计算要求也提高。通过应用程序设计和运行所述应用程序的计算机系统硬件，来确定用于以有效的方式来产生精确的结果的计算机系统的能力。计算机硬件性能的提高受到推动包括计算机芯片的材料的物理属性的设计规范持续地牵制。提高性能的要求需要具有在更多层上的更多线的计算机芯片来在可接受的时间范围内执行复杂的计算。满足这些要求所需要的计算机芯片上的部件和线的数量一直持续地增加，迫使计算机芯片设计人员建立更密集的芯片布局或提高芯片的物理尺寸。在很长一段时间，芯片制造商选择保持芯片尺寸相对不变，而提高在芯片上的部件的密度。随着线、部件和层密度在计算机芯片上增加，制造商努力保持用于常用操作的必要精度。为了满足越来越高的精度要求，使用光来实现光刻的方法以在芯片层上印刷器件和线的图形。光刻使用光投射器件，其中包括透镜系本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种能够投射光的装置，包括：框；被布置在所述框内的透镜系统；水平支撑表面，与能够支撑半导体晶片的所述框一般地相关联；在所述透镜系统中的末级透镜元件，位于靠近所述框的第一端，所述末级透镜元件具有末级透镜元件表面，所述末级透镜元件表面能够被定位接近所述半导体晶片；以及光源，位于接近所述框的第二端，所述光源能够通过所述透镜系统传输光；其中所述末级透镜元件能够相对于所述框移动。

【技术特征摘要】
US 2003-12-31 10/749,6381.一种能够投射光的装置，包括框；被布置在所述框内的透镜系统；水平支撑表面，与能够支撑半导体晶片的所述框一般地相关联；在所述透镜系统中的末级透镜元件，位于靠近所述框的第一端，所述末级透镜元件具有末级透镜元件表面，所述末级透镜元件表面能够被定位接近所述半导体晶片；以及光源，位于接近所述框的第二端，所述光源能够通过所述透镜系统传输光；其中所述末级透镜元件能够相对于所述框移动。2.按照权利要求1的装置，其中，当在可操作位置时，在所述末级透镜元件表面上的近端透镜表面部分地或全部地被浸入在液体中。3.按照权利要求2的装置，还包括第一运动控制器件，它能够产生在所述水平支撑表面相对于所述框之间的x、y和z维的运动。4.按照权利要求3的装置，其中所述末级透镜元件连接到第二运动控制器件，所述第二运动控制器件能够将所述末级透镜元件相对于所述框移动。5.按照权利要求4的装置，其中所述末级透镜元件能够围绕轴进行角运动。6.按照权利要求4的装置，其中所述末级透镜元件能够围绕单个轴进行角运动。7.按照权利要求4的装置，其中一个或多个连接点通过扩展连接器连接到所述末级透镜元件。8.按照权利要求3的装置，其中所述第一运动控制器件是从由下列构成的组的一个或多个选择的计算机系统、电机、皮带系统、有螺纹或键控轴(keyed shaft)、齿轮系统、凸轮机构和由操作员控制的手动机构。9.按照权利要求4的装置，其中在所述近端透镜表面和所述水平支撑表面之间的相对水平速度足够小以保证由所述相对水平速度建立的湍流和气泡不引起所述装置的成像质量的大大变差。10.按照权利要求9的装置，其中所述末级透镜元件以不变的角速度围绕连接到所述框的轴旋转，并且相对于所述框的所述水平支撑表面的水平速度是不变的。11.按照权利要求9的装置，其中所述末级透镜元件以可变的角速度围绕连接到所述框的轴旋转，并且相对于所述框的所述水平支撑表面的水平速度是不变的。12.按照权利要求9的装置，其中所述末级透镜元件以不变的角速度围绕连接到所述框的轴旋转，并且相对于所述框的所述水平支撑表面的水平速度是可变的。13.按照权利要求9的装置，其中所述末级透镜元件以可变的角速度围绕连接到所述框的轴旋转，并且相对于所述框的所述水平支撑表面的水平速度是可变的。14.按照权利要求2的装置，其中从由下列构成的组中选择所述液体去离子水，全氟聚醚。15.按照权利要求1的装置，其中所述装置存在于封闭环境中，其中所述封闭环境的空气主要由从由下列构成的组中选择的一个或多个元素或成分构成氩，干氮，和空气。16.按照权利要求1的装置，其中所述装置存在于封闭环境中，其中所述封闭环境的空气包括一个或多个惰性光透明气体。17.按照权利要求1的装置，其中所述末级透镜元件的截面实质上是圆柱形的。18.按照权利要求1的装置，其中所述末级透镜元件包括第一弯曲区域和第二曲线区域，其中所述第一弯曲区域的曲度大于所述第二弯曲区域的曲度，并且所述第二弯曲区域实质上面向所述水平支撑表面。19.按照权利要求1的装置，其中所述末级透镜元件还包括第一弯曲区...

【专利技术属性】
技术研发人员：马克C哈基，戴维V霍拉克，查尔斯W科伯格第三，彼得H米切尔，
申请(专利权)人：国际商业机器公司，
类型：发明
国别省市：US[]