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本发明涉及大批量和小批量电子设备制造装置的集成方法及其装置。在至少一个方面中，本发明提供了一种电子设备制造装置（Ｆａｂ），该装置使用能透明集成到使用大批量载具的现有Ｆａｂ中的小批量载具。制造执行系统（ＭＥＳ）可以与本发明的小批量Ｆａｂ相互作...
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