一种用于传送晶圆机械臂的传动结构及其机械臂制造技术

本发明专利技术公开了一种用于传送晶圆机械臂的传动结构，包括第一驱动齿轮、第一连杆、第一传动齿轮、第二驱动齿轮。第一连杆的两端分别与第一连杆摆盘和第二连杆摆盘连接，第一连杆的中间端与第一驱动齿轮连接；第一传动齿轮固定安装在第一驱动齿轮与第二驱动齿轮之间，且分别与第一驱动齿轮、第二驱动齿轮啮合，第一驱动齿轮通过啮合带动第一传动齿轮转动，第一传动齿轮通过啮合带动第二驱动齿轮转动，第二驱动齿轮与副臂固定连接；主臂与副臂的传动比为2:1。通过本发明专利技术的传动结构保证机械臂主臂与副臂的运动轨迹保持在同一直线的水平运动，同时避免传统钢带或齿形带传动造成的磨损和更换问题，提高传动系统环境清洁度，延长传动结构及机械臂使用寿命。构及机械臂使用寿命。构及机械臂使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种用于传送晶圆机械臂的传动结构及其机械臂


[0001]本专利技术涉及机械传动领域，特别是涉及一种用于传送晶圆机械臂的传动结构及其机械臂。

技术介绍

[0002]目前各类机械臂的使用已经成为工业生产的主力装备，而保障机械臂运动的核心是传动结构。特别是在半导体生产中，通过机械臂实现晶圆的传送是非常重要的工艺流程和技术手段。一方面要求机械臂始终保持同一平面内的直线运动轨迹，另一方面对生产环境洁净度要求较高。
[0003]现有技术使用的传动结构通常是通过钢带、齿形带等方式构成，这种传动结构中不仅需要设置相应的张紧结构，而且钢带和齿形带易于磨损需要频繁更换。另一方面在传动过程中钢带或齿形带的磨损还会形成颗粒物，从而影响其工作环境的清洁度。
[0004]因此，现有的机械臂传动结构在结构设计与晶圆搬运过程的使用上，显然仍存在有不便与缺陷，而亟待加以进一步改进。

技术实现思路

[0005]鉴于此，本专利技术提出一种用于传送晶圆机械臂的传动结构，主要包括第一驱动齿轮、第一连杆、第一传动齿轮、第二驱动齿轮；其中，
[0006]第一连杆的两端分别与第一连杆摆盘和第二连杆摆盘连接，第一连杆的中间端与第一驱动齿轮连接；第一传动齿轮固定安装在第一驱动齿轮与所第二驱动齿轮之间，且分别与第一驱动齿轮与第二驱动齿轮啮合；第一驱动齿轮通过啮合带动第一传动齿轮转动，第一传动齿轮通过啮合带动第二驱动齿轮转动；通过设定第一传动齿轮与第二驱动齿轮之间的直径比，使机械臂的主臂与副臂保持传动比为2:1。
[0007]为解决上述技术问题，本专利技术通过如下技术方案实现，具体为：
[0008]可选地，第一驱动齿轮、第一传动齿轮和第二驱动齿轮的中心在同一条直线上；第一驱动齿轮、第二驱动齿轮在同一平面内转动。此处设计主要用于保证在主臂及其副臂在不同传动比下转动时始终保持在各自所在平面内保持直线运动而不会发生运动轨迹偏离。
[0009]可选地，第一连杆包括第一定位孔、第一驱动齿轮包括第一定位销。第一定位销一端固定连接在第一驱动齿轮表面；第一定位孔套设在第一定位销上，使第一连杆与第一驱动齿轮转动连接。上述定位销可以使用例如六角螺钉等。
[0010]可选地，所述第一连杆包括第二定位孔、所述第二连杆摆盘包括第二定位销，所述第二定位销一端固定连接在所述第二连杆摆盘表面；所述第二定位孔套设在所述第二定位销上，使所述第一连杆与所述第二连杆摆盘转动连接。
[0011]可选地，第一连杆的数量为两支，且两支第一连杆长度相同；两支第一连杆与第一驱动齿轮的固定连接点关于第一驱动齿轮的中心对称布置；两支第一连杆与第二连杆摆盘的固定连接点关于第二驱动齿轮的中心对称布置。
[0012]进一步地，上述传动结构还包括主臂，采用薄壁壳体结构，其内部空间用于安装第一驱动齿轮、第一传动齿轮、第二驱动齿轮和第一连杆。
[0013]可选地，第二驱动齿轮的中心轴上连接有第二连杆摆盘，第二连杆摆盘的中心设有圆孔，圆孔套装在第二驱动齿轮的中心轴上；第二连杆摆盘为对称结构，其两端与两支第一连杆在第二定位销的固定连接位置处连接。
[0014]进一步地，两支第一连杆分别设有延长部，延伸部以第一连杆与第一驱动齿轮固定连接的位置为延长起点，向远离第一驱动齿轮的方向延伸；延伸部的终点位置开设有连接用通孔。
[0015]进一步地，上述传动结构还包括第一连杆摆盘，第一连杆摆盘为对称结构且中心设有圆孔，用于连接次级摆动用轴；第一连杆摆盘的两端与延伸部终点的通孔固定连接。
[0016]本专利技术还提供一种机械臂，用于晶圆传送，使用本专利技术所述的传动结构实现主臂带动其副臂的转动。
[0017]通过本专利技术的传动结构，使用齿轮与齿轮啮合的方式实现传动，可保证机械臂的主臂与副臂的运动轨迹始终保持在同一直线上的水平运动；同时对比传统传动方式，不发生任何磨损，有效的解决了传统的钢带或齿形带传动造成的磨损问题，延长各部件使用寿命，同时提高传动系统内环境的清洁度。
[0018]当然，实施本专利技术的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的全部有益效果。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图进行简单的介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0020]图1：本专利技术的传动结构优选实施例的结构示意图；
[0021]图2：本专利技术的传动结构优选实施例的第一连杆延伸部结构示意图。
[0022]附图中，各标记所代表的部件、结构、装置如下：
[0023]1‑
第一驱动齿轮；
[0024]11
‑
第一定位销；
[0025]2‑
第一连杆；
[0026]21
‑
延伸部；
[0027]3‑
第一传动齿轮；
[0028]4‑
第二驱动齿轮；
[0029]41
‑
第二定位销；
[0030]5‑
第二连杆摆盘；
[0031]6‑
第一连杆摆盘；
[0032]7‑
主臂。
具体实施方式
[0033]现在将参考附图更全面地描述示例实施例。然而，示例实施例能够以多种形式实
施，且不应被理解为限于在此阐述的实施例；相反，提供这些实施例使得本公开将全面和完整，并将示例实施例的构思全面地传达给本领域的技术人员。在图中相同的附图标记表示相同或类似的部分，因而将省略对它们的重复描述。
[0034]此外，所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施例中。在下面的描述中，提供许多具体细节从而给出对本公开的实施例的充分理解。然而，本领域技术人员将意识到，可以实践本公开的技术方案而没有特定细节中的一个或更多，或者可以采用其它的方法、组元、装置、步骤等。在其它情况下，不详细示出或描述公知方法、装置、实现或者操作以避免模糊本公开的各方面。
[0035]应理解，虽然本文中可能使用术语第一、第二等来描述各种结构，但这些结构不应受这些术语限制。这些术语乃用以区分一结构与另一结构。因此，下文论述的第一结构可称为第二结构而不偏离本公开概念的教示。如本文中所使用，术语“及/或”包括相关联的列出项目中的任一个及一或多者的所有组合。
[0036]本领域技术人员可以理解，附图只是示例实施例的示意图，附图中的模块或流程并不一定是实施本公开所必须的，因此不能用于限制本公开的保护范围。
[0037]下面结合附图对本专利技术中的具体实施方式的内容进行详细描述：
[0038]本专利技术提出一种用于传送晶圆机械臂的传动结构，主要包括第一驱动齿轮1、第一连杆2、第一传动齿轮3、第二驱动齿轮4；其中，如图1所示：
[0039]第一连杆2的两端分别与第一连杆摆盘6和第二连杆摆盘5固定连接第本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于传送晶圆机械臂的传动结构，所述传动结构包括第一驱动齿轮、第一连杆、第一传动齿轮、第二驱动齿轮，其特征在于：所述第一连杆的两端分别与第一连杆摆盘和第二连杆摆盘连接，第一连杆的中间端与所述第一驱动齿轮连接；所述第一传动齿轮固定安装在所述第一驱动齿轮与所述第二驱动齿轮之间，且分别与所述第一驱动齿轮与所述第二驱动齿轮啮合；所述第一驱动齿轮通过啮合带动所述第一传动齿轮转动，所述第一传动齿轮通过啮合带动第二驱动齿轮转动；通过设定所述第一传动齿轮、第二驱动齿轮的直径比，使机械臂的主臂与副臂的传动比为2:1。2.根据权利要求1所述的传动结构，其特征在于：所述第一驱动齿轮、第一传动齿轮和第二驱动齿轮的中心在同一条直线上；所述第一驱动齿轮、第二驱动齿轮在同一平面内转动。3.根据权利要求2所述的传动结构，其特征在于：所述第一连杆包括第一定位孔、所述第一驱动齿轮包括第一定位销，所述第一定位销一端固定连接在所述第一驱动齿轮表面；所述第一定位孔套设在所述第一定位销上，使所述第一连杆与所述第一驱动齿轮转动连接。4.根据权利要求3所述的传动结构，其特征在于：所述第一连杆包括第二定位孔、所述第二连杆摆盘包括第二定位销，所述第二定位销一端固定连接在所述第二连杆摆盘表面；所述第二定位孔套设在所述第二定位销上，使所述第一连杆与所述第二连杆摆盘转动连接。5.根据权利要求4所述的传动结构...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈百捷，张庆钊，姚广军，王镇清，
申请(专利权)人：芯导精密北京设备有限公司，
类型：发明
国别省市：