【技术实现步骤摘要】
一种新型机械臂
本专利技术涉及晶圆取放机械手
,特别是涉及一种新型机械臂。
技术介绍
现有技术中取放晶圆的机械手均是托举式的一体式结构,比如与机械臂的连接端为一体的扁平片状,前端部是圆环形、双叉形,在前端部与连接端相对的边缘设置凸块,凸块可以贴合到晶圆的边缘,从而将晶圆固定在机械手上。但是,由于晶圆通常存储在晶圆盒中,晶圆之间的间隔只有4mm左右,而机械手在由晶圆之间伸入时不能触碰晶圆的任意一面,以避免损伤晶圆,因而,对于凸块部分的厚度要求严格,同时,凸块的精细结构要求较高,在生产制造时成品率较低,导致生产成本高昂,而且,具有凸块的机械手在获取晶圆后的翻转过程中,晶圆容易脱落。由此可见,上述现有的机械手在结构与使用上,显然仍存在有不便与缺陷,而亟待加以进一步改进。如何能创设一种新型机械臂,实属当前重要研发课题之一。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种新型机械臂,使其稳定取放晶圆且不触碰晶圆表面,同时对加工精度要求低,成本低廉,从而克服现有的机械手的不足。为解决上述技术问题,本专利技术提供一种新型机械臂,包括基础部、第一叉指和第二叉指,所述第一叉指和第二叉指包括柄部和端部,所述柄部均呈长条状,在柄部的下端向外延伸形成钩状的端部,第一叉指和第二叉指平行并列布置,第一叉指和第二叉指的柄部上端与基础部转动连接,使得第一叉指和第二叉指均能够以柄部为轴转动。作为本专利技术的一种改进,所述第一叉指和第二叉指的端部内缘呈内凹的圆弧状。进一步地,所述第一 ...
【技术保护点】
1.一种新型机械臂,其特征在于,包括基础部、第一叉指和第二叉指,所述第一叉指和第二叉指包括柄部和端部,所述柄部均呈长条状,在柄部的下端向外延伸形成钩状的端部,第一叉指和第二叉指平行并列布置,第一叉指和第二叉指的柄部上端与基础部转动连接,使得第一叉指和第二叉指均能够以柄部为轴转动。/n
【技术特征摘要】
1.一种新型机械臂,其特征在于,包括基础部、第一叉指和第二叉指,所述第一叉指和第二叉指包括柄部和端部,所述柄部均呈长条状,在柄部的下端向外延伸形成钩状的端部,第一叉指和第二叉指平行并列布置,第一叉指和第二叉指的柄部上端与基础部转动连接,使得第一叉指和第二叉指均能够以柄部为轴转动。
2.根据权利要求1所述的一种新型机械臂,其特征在于,所述第一叉指和第二叉指的端部内缘呈内凹的圆弧状。
3.根据权利要求1所述的一种新型机械臂,其特征在于,所述第一叉指和第二叉指的端部在未转动状态下相背设置,在转动状态下第一叉指和第二叉指能够同步转动。
4.根据权利要求1所述的一种新型机械臂,其特征在于,所述第一叉指和第二叉指的柄部之间的距离为50mm~110mm。
5.根据权利要求1所述的一种新型机械臂,其特征在于,所述第一叉指和第二叉指的柄部呈圆柱状、方柱状或扁平条块状。<...
【专利技术属性】
技术研发人员:张庆钊,陈百捷,姚广军,王镇清,
申请(专利权)人:芯导精密北京设备有限公司,
类型:发明
国别省市:北京;11
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