一种晶圆边缘用物理清洗装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种晶圆边缘用物理清洗装置，包括电机、第一齿型轮、齿型带、伸缩杆、L型板，所述电机的输出轴上安装有所述第一齿型轮，所述第一齿型轮的一侧安装有第二齿型轮，所述第二齿型轮与所述第一齿型轮通过所述齿型带连接，所述第二齿型轮安装在空心轴上，所述空心轴的下端安装有转动接头，所述第二齿型轮的上方且连接于所述空心轴设置有第二固定座。本发明专利技术整体结构简单，操作使用方便可靠，利用上毛刷、下毛刷以及侧毛刷对晶圆的边缘进行清洗，清洗的效果好，智能化程度高，具有较强的推广使用价值。推广使用价值。推广使用价值。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆边缘用物理清洗装置


[0001]本专利技术涉及清洗装置
，特别是涉及一种晶圆边缘用物理清洗装置。

技术介绍

[0002]随着集成电路工艺的发展，晶圆规格逐渐向大尺寸发展，晶圆尺寸的扩大相应的引起晶圆边缘面积的扩大，对晶圆边缘缺陷的控制显得更加重要，所谓晶圆边缘缺陷，是指薄膜在晶圆边缘积累到一定程度之后，在内部应力或者外力的作用下发生剥落，如果掉到晶圆上的器件区，就成为影响产品良率的缺陷，严重的缺陷甚至导致产品的报废，因此，需要一种晶圆边缘用物理清洗装置来消除这种不良影响。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种晶圆边缘用物理清洗装置。
[0004]本专利技术通过以下技术方案来实现上述目的：
[0005]一种晶圆边缘用物理清洗装置，包括电机、第一齿型轮、齿型带、伸缩杆、L型板，所述电机的输出轴上安装有所述第一齿型轮，所述第一齿型轮的一侧安装有第二齿型轮，所述第二齿型轮与所述第一齿型轮通过所述齿型带连接，所述第二齿型轮安装在空心轴上，所述空心轴的下端安装有转动接头，所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆边缘用物理清洗装置，其特征在于：包括电机(1)、第一齿型轮(2)、齿型带(3)、伸缩杆(4)、L型板(5)，所述电机(1)的输出轴上安装有所述第一齿型轮(2)，所述第一齿型轮(2)的一侧安装有第二齿型轮(18)，所述第二齿型轮(18)与所述第一齿型轮(2)通过所述齿型带(3)连接，所述第二齿型轮(18)安装在空心轴(23)上，所述空心轴(23)的下端安装有转动接头(16)，所述第二齿型轮(18)的上方且连接于所述空心轴(23)设置有第二固定座(22)，所述第二固定座(22)的上方安装有第一固定座(21)，所述第二固定座(22)与所述第一固定座(21)之间设置有壳体(6)，所述壳体(6)的两侧对称安装有两个所述L型板(5)，两个所述L型板(5)上均安装有所述伸缩杆(4)，两个所述伸缩杆(4)的伸缩轴上均安装有骨架(12)，两个所述骨架(12)的内侧均安装有侧毛刷(13)，在所述空心轴(23)的顶端且在两个所述骨架(12)之间安装有吸盘(24)，在所述壳体(6)的上端斜对角对称安装有两个第一转角气缸(7)，两个所述第一转角气缸(7)的顶部安装有喷杆(9)，两个所述喷杆(9)的下端均设置有喷头(17)，所述喷杆(9)远离所述喷头(17)的一端安装有导流管(8)，所述吸盘(24)的后方且在所述壳体(6)的内侧安装有第二转角气缸(10)，所述第二转角气缸(10)转杆的下端安装有下毛刷(11)，所述吸盘(24)的前方安装有第三转角气缸(14)，所述第三转角气缸(14)的顶部安装有上毛刷(15)，所述壳体(6)的内侧一角安装有废管接头(19)，所述废管接头(19)的下端安装有排废管(20)。2.根据权利要求1所述的一种晶圆边缘用物理清洗装置，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱诚，李刚，王建，
申请(专利权)人：无锡亚电智能装备有限公司，
类型：发明
国别省市：