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本发明公开了一种晶圆边缘用物理清洗装置，包括电机、第一齿型轮、齿型带、伸缩杆、L型板，所述电机的输出轴上安装有所述第一齿型轮，所述第一齿型轮的一侧安装有第二齿型轮，所述第二齿型轮与所述第一齿型轮通过所述齿型带连接，所述第二齿型轮安装在空心轴...
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