一种用于对硅片盒中的硅片进行夹取的机械手及系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种用于对硅片盒中的硅片进行夹取的机械手及系统，硅片盒包括由沿竖向排成两列的条状的支承件构成的多个支承件组，每个支承件组包括处于同一水平面中的两个支承件，硅片通过抵接不同列的两个支承件被支承，机械手包括：用于沿着支承件的延伸方向伸入到相邻的两个支承件组之间的间隙以夹取硅片的手部；设置在手部上以随手部一起伸入到间隙中的发射器和接收器，发射器用于朝着接收器发射信号，接收器用于接收发射器发射的信号；其中，在手部伸入到间隙中的过程中，当间隙存在有被处于不同水平面中的两个支承件支承的倾斜硅片时，发射器和接收器位于倾斜硅片的不同侧，使得发射器发射的信号被倾斜硅片遮挡而无法传输至接收器。而无法传输至接收器。而无法传输至接收器。

【技术实现步骤摘要】
一种用于对硅片盒中的硅片进行夹取的机械手及系统


[0001]本技术涉及半导体硅片生产领域，尤其涉及一种用于对硅片盒中的硅片进行夹取的机械手及系统。

技术介绍

[0002]直拉法拉制的单晶硅片在被线切割后便可以获得多个硅片，在后续的加工过程中，硅片会被临时存放在硅片盒中以便于运输等操作，在需要使用或加工时从硅片盒中取出。
[0003]通常利用传送手臂将硅片从硅片盒中取出，在这一过程中，需要硅片以正确的方式承载于硅片盒中，而当硅片以错误方式承载于硅片盒中的情况下，在传送手臂伸入到硅片盒中以夹取硅片时，传送手臂会对硅片产生碰撞或挤压，导致硅片的损伤甚至导致硅片的破碎，对硅片生产过程产生极大影响。

技术实现思路

[0004]为解决上述技术问题，本技术实施例期望提供一种用于对硅片盒中的硅片进行夹取的机械手及系统，在机械手伸入到硅片盒中以夹取硅片时，能够及时地判断出硅片以错误方式承载于硅片盒中，以便及时中止作业过程，避免硅片损伤或硅片破碎等情况的发生。
[0005]本技术的技术方案是这样实现的：
[0006]第一方面，本技术实施例提供了一种用于对硅片盒中的硅片进行夹取的机械手，其中，所述硅片盒包括由沿竖向排成两列的条状的支承件构成的多个支承件组，每个支承件组包括处于同一水平面中的两个支承件，所述硅片通过抵接不同列的两个支承件被支承，所述机械手包括：
[0007]用于沿着所述支承件的延伸方向伸入到相邻的两个支承件组之间的间隙以夹取硅片的手部；
[0008]设置在所述手部上以随所述手部一起伸入到所述间隙中的发射器和接收器，所述发射器用于朝着所述接收器发射信号，所述接收器用于接收所述发射器发射的信号；
[0009]其中，在所述手部伸入到所述间隙中的过程中，当所述间隙存在有被处于不同水平面中的两个支承件支承的倾斜硅片时，所述发射器和所述接收器位于所述倾斜硅片的不同侧，使得所述发射器发射的信号被所述倾斜硅片遮挡而无法传输至所述接收器。
[0010]第二方面，本技术实施例提供了一种用于对硅片盒中的硅片进行夹取的系统，所述系统包括：
[0011]根据第一方面所述的机械手；
[0012]驱动器，所述驱动器用于驱动所述手部移动以伸入和离开所述间隙；
[0013]控制器，所述控制器用于在所述发射器发射的信号被所述倾斜硅片遮挡使得所述接收器无法接收到信号时向所述驱动器发送中止指令，所述中止指令用于使所述驱动器停
止对所述手部的驱动。
[0014]本技术实施例提供了一种用于对硅片盒中的硅片进行夹取的机械手及系统，当硅片以正确的方式承载于硅片盒中时，间隙不会被硅片占据，因此接收器总是能够接收到发射器发送的信号，而当硅片以错误的方式承载于硅片盒中时，间隙会被硅片占据，因此发射器发送的信号会被占据了间隙的硅片遮挡，导致接收器无法接收到信号，此时便可以判断出硅片以错误的方式被承载，由此中止手部的进一步动作以避免硅片的损伤或破碎。
附图说明
[0015]图1通过正视图示出了硅片盒以及根据本技术实施例的用于对硅片盒中的硅片进行夹取的机械手，其中机械手的手部伸入至不被硅片占据的间隙中；
[0016]图2同样通过正视图示出了硅片盒以及根据本技术实施例的用于对硅片盒中的硅片进行夹取的机械手，其中机械手的手部伸入至被硅片占据的间隙中；
[0017]图3为根据本技术实施例的机械手的示意性俯视图；
[0018]图4为根据本技术另一实施例的机械手的示意性俯视图；
[0019]图5为根据本技术实施例的手部的示意性俯视图；
[0020]图6为根据本技术实施例的用于对硅片盒中的硅片进行夹取的系统的组成部件示意图。
具体实施方式
[0021]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]参见图1和图2，本技术实施例提供了一种用于对硅片盒C中的硅片W进行夹取的机械手10，图1和图2中示例性地示出了位于硅片盒C中的6个硅片，其中，所述硅片盒C包括由沿竖向排成两列的条状的支承件B构成的多个支承件组G，其中图1和图2中示例性地示出了10个支承件组G，每个支承件组G包括处于同一水平面中的两个支承件B1和B2，所述硅片W通过抵接不同列的两个支承件B被支承，更详细地，硅片W可能被处于同一水平面中的两个支承件B（即支承件组G中的两个支承件B1和B2）支承，或者说被正确地支承，如在图1和图2中处于硅片盒C中间的4个硅片W，也可能被处于不同水平面中的两个支承件B支承，或者说被错误地支承，如在图1和图2中分别处于硅片盒C顶部和底部的两个硅片W，其中底部硅片W被竖向相邻的两个支承件B支承，而顶部硅片W被竖向间隔有1个支承件组G的两个支承件B支承，或者说顶部硅片W以比底部硅片W更为倾斜的方式被支承，所述机械手10可以包括：
[0023]用于沿着所述支承件B的延伸方向伸入到相邻的两个支承件组G之间的间隙O以夹取硅片W的手部11，在图1和图2的正视图中，支承件B的延伸方向即为与正视方向相同的方向，可以理解的是，手部11可以伸入到没有被硅片W占据的间隙O中，如在图1中示出的，手部11也可以伸入到被硅片占据的间隙O中，如在图2中示出的，另外参考图1可以理解的是，伸入到间隙O中的手部11可以对间隙O上方的硅片W进行夹取，也可以对间隙O下方的硅片W进
行夹取；
[0024]设置在所述手部11上以随所述手部11一起伸入到所述间隙O中的发射器12和接收器13，所述发射器12用于朝着所述接收器13发射信号，所述接收器13用于接收所述发射器12发射的信号；
[0025]其中，在所述手部11伸入到所述间隙O中的过程中，当所述间隙O存在有被处于不同水平面中的两个支承件B支承的倾斜硅片W时，如在图2中示出的，所述发射器12和所述接收器13位于所述倾斜硅片W的不同侧，使得所述发射器12发射的信号被所述倾斜硅片W遮挡而无法传输至所述接收器13。
[0026]通过以上描述可以看出，当硅片W以正确的方式承载于硅片盒C中时，间隙O不会被硅片W占据，因此接收器13总是能够接收到发射器12发送的信号，而当硅片W以错误的方式承载于硅片盒C中时，间隙O会被硅片W占据，因此发射器12发送的信号会被占据了间隙O的硅片W遮挡，导致接收器13无法接收到信号，此时便可以判断出硅片W以错误的方式被承载，由此中止手部11的进一步动作以避免硅片W的损伤或破碎。
[0027]对于手部11的具体形状以及发射器12和接收器13相对于手部11的位置而言，在本技术的优选实施例中，参见图3，所述手部11可以呈U形，在所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于对硅片盒中的硅片进行夹取的机械手，其中，所述硅片盒包括由沿竖向排成两列的条状的支承件构成的多个支承件组，每个支承件组包括处于同一水平面中的两个支承件，所述硅片通过抵接不同列的两个支承件被支承，其特征在于，所述机械手包括：用于沿着所述支承件的延伸方向伸入到相邻的两个支承件组之间的间隙以夹取硅片的手部；设置在所述手部上以随所述手部一起伸入到所述间隙中的发射器和接收器，所述发射器用于朝着所述接收器发射信号，所述接收器用于接收所述发射器发射的信号；其中，在所述手部伸入到所述间隙中的过程中，当所述间隙存在有被处于不同水平面中的两个支承件支承的倾斜硅片时，所述发射器和所述接收器位于所述倾斜硅片的不同侧，使得所述发射器发射的信号被所述倾斜硅片遮挡而无法传输至所述接收器。2.根据权利要求1所述的机械手，其特征在于，所述手部呈U形，在所述手部伸入到所述间隙中的过程中，所述倾斜硅片进入所述U形的凹口中，所述发射器和所述接收器设置在所述凹口的不同侧。3.根据权利要求2所述的机械手，其特征在于，所述发射器和所述接收器分别设置在所述U形的两个分支的末端处。4.根据权利要求2所述的机械手，其特征在于，在所述手部以所述U形的两个分支限定出的平面保持水平的方式伸入到所述间隙中。5.根据权利要求1至4中任一项所述的机械手，其特征在于，所述发射器用于发射激光信号，并且所述接收器为激光感应器。6.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩嘉豪，
申请(专利权)人：西安奕斯伟材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：