压力传感器密封性检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种压力传感器密封性检测装置，包括台架、检测架、示踪气体收集部件、示踪气体检测部件和排风组件，检测架可沿上下向移动安装于台架；示踪气体收集部件设于检测架，示踪气体收集部件形成有收集腔，收集腔的顶壁形成有连通检测口，收集腔的底壁形成有收集口，收集口用于向下罩设于至基板上方；示踪气体检测部件包括设于检测架的采气部，采气部伸入至连通检测口，用以采集收集腔内的气体；排风组件设于检测架，排风组件用以排出收集腔内的气体，以清除收集腔内的示踪气体，避免收集腔内的示踪气体累积，造成误报、误测，从而提高压力传感器密封性检测的准确性，并且能够避免因报警频繁导致停线排查耽误生产进度。够避免因报警频繁导致停线排查耽误生产进度。够避免因报警频繁导致停线排查耽误生产进度。

【技术实现步骤摘要】
压力传感器密封性检测装置


[0001]本技术涉及压力传感器检测
，特别涉及压力传感器密封性检测装置。

技术介绍

[0002]MEMS压力传感器应用于汽车电子领域，主要用于测量气囊压力、燃油压力、发动机机油压力、进气管道压力及轮胎压力等，因此，MEMS压力传感器的密封性检测尤其重要。
[0003]目前，压力传感器在密封性检测的时候，由于示踪气体探测仪对示踪气体非常敏感，如果接连出现多次压力传感器泄漏，那么吸气口附近的空气中示踪气体的浓度增加，当测试下一个压力传感器时，即使下一个压力传感器没有泄漏，空气中残留的示踪气体也可能促发示踪气体探测仪报警，导致误测。

技术实现思路

[0004]本技术的主要目的是提出一种压力传感器密封性检测装置，旨在解决示踪气体探测仪的吸气口附近空气中残留的示踪气体可能会促发示踪气体探测仪报警，导致误测的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提出一种压力传感器密封性检测装置，所述压力传感器内形成有气体通道，在所述气体通道的上端罩设有基板，所述基板朝向所述气体通道的一侧设有压敏元件，所述压力传感器密封性检测装置包括：
[0006]台架；
[0007]检测架，可沿上下向移动安装于所述台架；
[0008]示踪气体收集部件，设于所述检测架，所述示踪气体收集部件形成有收集腔，所述收集腔的顶壁形成有连通检测口，所述收集腔的底壁形成有收集口，所述收集口用于向下罩设于至所述基板上方；
[0009]示踪气体检测部件，包括设于所述检测架的采气部，所述采气部伸入至所述连通检测口，用以采集所述收集腔内的气体；以及，
[0010]排风组件，设于所述检测架，用以排出所述收集腔内的示踪气体。
[0011]可选地，所述示踪气体收集部件包括：
[0012]连接部，设于所述检测架，所述连接部形成有上下向延伸的第一腔室；以及，
[0013]收集部，设于所述连接部下方，所述收集部形成有上下向延伸的第二腔室，所述第二腔室的上开口对应所述第一腔室的下开口设置；
[0014]固定部，设于所述连接部上方，所述固定部形成有上下向延伸的第三腔室，所述第三腔室的下开口对应所述第一腔室的上开口设置；
[0015]其中，所述第一腔室、所述第二腔室和所述第三腔室共同构成所述收集腔，所述第二腔室的下开口构成所述收集口，所述第三腔室的上开口构成所述连通检测口，所述第三腔室的侧壁抵紧于所述采气部的外侧面设置。
[0016]可选地，所述固定部包括沿水平向相对设置的两个固定板，两个固定板设于所述连接部的上方，两个所述固定板的侧面夹持所述采气部的外侧面。
[0017]可选地，所述收集口的端面安装有环形密封垫。
[0018]可选地，所述收集腔的侧壁面自所述收集口向上呈内缩设置。
[0019]可选地，所述压力传感器密封性检测装置还包括隔离罩，所述隔离罩设于所述检测架且围设于所述收集口外，用以防止所述示踪气体扩散，所述隔离罩的侧壁形成有排气口；
[0020]所述排风组件包括吸风机，所述吸风机的吸风口连通所述隔离罩的排气口。
[0021]可选地，所述收集部为沿上下向延伸的吸气管，所述吸气管的下端伸入至所述连通检测口；
[0022]所述示踪气体检测部件还包括：
[0023]检测主体，设于所述台架；
[0024]传输管，一端连接于所述检测主体；以及，
[0025]过滤件，设于所述检测架，所述过滤件连接于所述传输管的另一端，所述吸气管的上端连接于所述过滤件，所述吸气管采集的气体经所述过滤件过滤后传输至检测主体，以检测被采集气体中所述示踪气体的浓度。
[0026]可选地，所述检测架和所述台架之间设有检测架驱动机构，所述检测架驱动机构包括滑台气缸，所述滑台气缸的缸体和滑台其中之一设于所述台架，另一设于所述检测架。
[0027]可选地，所述台架设有可沿左右向移动地第一安装架，所述检测架设于所述第一安装架。
[0028]可选地，所述压力传感器密封性检测装置还包括示踪气体加载部件，所述示踪气体加载部件包括示踪气体加载部，所述示踪气体加载部可沿上下向移动地设于所述台架，用于向上移动至对接所述气体通道的进气口。
[0029]本技术的技术方案提出了一种压力传感器密封性检测装置，在进行密封性检测的时候，先向气体通道内通入示踪气体，如果压力传感器没有泄漏，那么收集腔内没有示踪气体，采气部未检测到示踪气体，因此示踪气体检测部件不会报警。如果压力传感器发生泄漏，那么收集腔内会有一定浓度的示踪气体，采气部检测到示踪气体后即会报警。如果接连发生几次泄漏，或者检测时间较长，会导致收集腔内的示踪气体浓度上升而促发示踪气体检测部件报警。而在连续测试的情况下，无法判断示踪气体检测部件报警是由于正在检测的压力传感器泄漏导致，还是由于收集腔内累积的示踪气体促发导致，容易造成误测。本技术的压力传感器密封性检测装置包括排风组件，排风组件用以当示踪气体检测部件检测到压力传感器泄漏后，排出收集腔内的气体，以清除收集腔内的示踪气体，避免收集腔内的示踪气体累积，造成误报、误测，从而提高压力传感器密封性检测的准确性，并且能够避免因报警频繁导致停线排查耽误生产进度。
附图说明
[0030]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提
下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
[0031]图1为本技术提供的压力传感器密封性检测装置的一实施例的结构示意图；
[0032]图2为图1所示的压力传感器密封性检测装置的又一角度的结构示意图；
[0033]图3为图1所示的压力传感器密封性检测装置中示踪气体收集部件的结构示意图；
[0034]图4为图3所示的示踪气体收集部件的剖视图。
[0035]附图标号说明：
[0036][0037]本技术目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
[0038]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0039]需要说明，若本技术实施例中有涉及方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后
……
)，则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
[0040]另外，若本技术实施例中有涉及“第一”、“第二”等的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种压力传感器密封性检测装置，所述压力传感器内形成有气体通道，在所述气体通道的上端罩设有基板，所述基板朝向所述气体通道的一侧设有压敏元件，其特征在于，所述压力传感器密封性检测装置包括：台架；检测架，可沿上下向移动安装于所述台架；示踪气体收集部件，设于所述检测架，所述示踪气体收集部件形成有收集腔，所述收集腔的顶壁形成有连通检测口，所述收集腔的底壁形成有收集口，所述收集口用于向下罩设于至所述基板上方；示踪气体检测部件，包括设于所述检测架的采气部，所述采气部伸入至所述连通检测口，用以采集所述收集腔内的气体；以及，排风组件，设于所述检测架，用以排出所述收集腔内的示踪气体。2.如权利要求1所述的压力传感器密封性检测装置，其特征在于，所述示踪气体收集部件包括：连接部，设于所述检测架，所述连接部形成有上下向延伸的第一腔室；以及，收集部，设于所述连接部下方，所述收集部形成有上下向延伸的第二腔室，所述第二腔室的上开口对应所述第一腔室的下开口设置；固定部，设于所述连接部上方，所述固定部形成有上下向延伸的第三腔室，所述第三腔室的下开口对应所述第一腔室的上开口设置；其中，所述第一腔室、所述第二腔室和所述第三腔室共同构成所述收集腔，所述第二腔室的下开口构成所述收集口，所述第三腔室的上开口构成所述连通检测口，所述第三腔室的侧壁抵紧于所述采气部的外侧面设置。3.如权利要求2所述的压力传感器密封性检测装置，其特征在于，所述固定部包括沿水平向相对设置的两个固定板，两个固定板设于所述连接部的上方，两个所述固定板的侧面夹持所述采气部的外侧面。4.如权利要求1所述的压力传感器密封性检测装置，其特征在于，所述收集口的端...

【专利技术属性】
技术研发人员：王小平，曹万，唐文，齐擎，陈列，向忠明，
申请(专利权)人：武汉飞恩微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：