下载压力传感器密封性检测装置的技术资料

文档序号:31968301

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本实用新型公开了一种压力传感器密封性检测装置,包括台架、检测架、示踪气体收集部件、示踪气体检测部件和排风组件,检测架可沿上下向移动安装于台架;示踪气体收集部件设于检测架,示踪气体收集部件形成有收集腔,收集腔的顶壁形成有连通检测口,收集腔的底...
该专利属于武汉飞恩微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉飞恩微电子有限公司授权不得商用。

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