本实用新型专利技术公开了一种超薄片产品的辅助镀膜装置，包括：基片工装；设置在所述基片工装内的基片；设置在所述基片上的重压套圈；以及设置在所述重压套圈和所述基片之间的四个压环。所述基片工装上中部向下竖直开设有环形的第一固定槽，所述第一固定槽内固定有环形的基片底座；所述基片底座上中部向下竖直开设有第二固定槽，所述第二固定槽内安装固定有所述基片。能够有效解决超薄片镀膜产品由于受热产生形变的问题。形变的问题。形变的问题。
【技术实现步骤摘要】
一种超薄片产品的辅助镀膜装置
[0001]本技术涉及一种超薄片产品的辅助镀膜装置。
技术介绍
[0002]超薄片待镀膜基片由于受加热影响会发生形变，导致镀膜过程中监控信号失效，通常光谱曲线和理想设计会有较大偏差；因此降低改善超薄片镀膜产品受加热影响时的形变量，提升镀膜过程监控控制精度，从而获得同设计较为接近的理想光谱曲线就较为重要。
技术实现思路
[0003]本技术的目的在于克服现有技术的缺陷而提供一种超薄片产品的辅助镀膜装置，能够有效解决
技术介绍
中超薄片镀膜产品由于受热产生形变的问题。
[0004]实现上述目的的技术方案是：一种超薄片产品的辅助镀膜装置，包括：
[0005]基片工装；
[0006]设置在所述基片工装内的基片；
[0007]设置在所述基片上的重压套圈；以及
[0008]设置在所述重压套圈和所述基片之间的四个压环。
[0009]进一步的，所述基片工装上中部向下竖直开设有环形的第一固定槽，所述第一固定槽内固定有环形的基片底座；所述基片底座上中部向下竖直开设有第二固定槽，所述第二固定槽内安装固定有所述基片。
[0010]进一步的，所述基片底座上向下开设有四个第一螺纹孔，四个所述第一螺纹孔以所述基片底座的中心点为基点均匀分布。
[0011]进一步的，所述基片底座上设有所述重压套圈，所述重压套圈上向下开设有四个第一固定孔，四个所述第一固定孔的中心分别与四个所述第一螺纹孔的中心各自对应且在同一竖直方向上。
[0012]进一步的，还包括：四个第一螺钉，所述第一螺钉穿过所述第一固定孔并与所述螺纹孔螺纹连接；所述基片底座和所述重压套圈之间连接有四个第一弹簧，所述第一弹簧套接在所述第一螺钉上。
[0013]进一步的，所述重压套圈底部向上开设有环形的第三固定槽；所述重压套圈上向下开设有第二螺纹孔，四个所述第二螺纹孔以所述重压套圈的中心点为基点均匀分布，所述第二螺纹孔与所述第三固定槽连通。
[0014]进一步的，所述压环底面中部向上开设有环形的第四固定槽，所述压环顶面中部向下开设有第二固定孔，所述第二固定孔与所述第四固定槽连通；四个所述压环活动放置在所述基片和所述重压套圈之间，四个所述压环的中心点分别和四个所述第二螺纹孔的中心点各自对应且在同一竖直方向上。
[0015]进一步的，还包括：四个第二螺钉，所述第二螺钉钉头部放置在第四固定槽内，螺纹部穿过所述第二固定孔并与所述第二螺纹孔螺纹连接；四个所述重压套圈和所述压环之
间分别连接有第二弹簧，所述第二弹簧分别套接第二螺钉上。
[0016]本技术的有益效果是：通过设置基片底座，用于固定基片并限制基片变形；通过设置重压套圈，重力压住基片有效抑制基片的形变量并为金属材质散热较好可有效防止压环受热变形老化；通过设置特氟龙制的压环，用于与基片形成软接触，避免损坏基片并用于过度下压的作用力，可起到缓冲作用；通过设置第一螺钉和第一弹簧，用于分解重压套圈的下压重力并保护基片产品；通过设置第二螺钉和第二弹簧，用于分解镀膜过程中随着镀膜时间的增长基片形变量增大的作用力。
附图说明
[0017]图1是本技术超薄片产品的辅助镀膜装置的剖视图；
[0018]图2是本技术超薄片产品的辅助镀膜装置的俯视图。
[0019]附图标记：1、基片工装，101、第一固定槽，2、基片，3、基片底座，301、第二固定槽，302、第一螺纹孔，4、重压套圈，401、第一固定孔，402、第三固定槽，403、第二螺纹孔，5、压环，501、第四固定槽，502、第二固定孔，6、第一螺钉，7、第一弹簧，8、第二螺钉，9、第二弹簧。
具体实施方式
[0020]下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相正对地重要性。
[0021]下面将结合附图对本技术作进一步说明。
[0022]参考图1
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2，本技术是一种超薄片产品的辅助镀膜装置，包括：
[0023]基片工装1；
[0024]设置在所述基片工装1内的基片2；所述基片工装1上中部向下竖直开设有环形的第一固定槽101，所述第一固定槽101内固定有环形的基片底座3；所述基片底座3上中部向下竖直开设有第二固定槽301，所述第二固定槽301内安装固定有所述基片2；所述基片底座3上向下开设有四个第一螺纹孔302，四个所述第一螺纹孔302以所述基片底座3的中心点为基点均匀分布；通过设置所述基片底座3，用于固定所述基片2并限制所述基片2变形；
[0025]设置在所述基片2上的环形金属制的重压套圈4；通过设置所述重压套圈4，重力压住所述基片2有效抑制所述基片2的形变量并为金属材质散热较好可有效防止压环5受热变形老化；所述基片底座3上设有所述重压套圈4，所述重压套圈4上向下开设有四个第一固定孔401，四个所述第一固定孔401的中心分别与四个所述第一螺纹孔302的中心各自对应且在同一竖直方向上；还包括：四个第一螺钉6，所述第一螺钉6穿过所述第一固定孔401并与所述螺纹孔302螺纹连接；所述基片底座3和所述重压套圈4之间连接有四个第一弹簧7，所述第一弹簧7套接在所述第一螺钉6上；所述重压套圈4底部向上开设有环形的第三固定槽402；所述重压套圈4上向下开设有第二螺纹孔403，四个所述第二螺纹孔403以所述重压套圈4的中心点为基点均匀分布，所述第二螺纹孔403与所述第三固定槽402连通；通过设置所
述第一螺钉6和所述第一弹簧7，用于分解所述重压套圈5的下压重力并保护基片产品；
[0026]设置在所述重压套圈4和所述基片2之间的四个环形特氟龙制的压环5；通过设置特氟龙制的所述压环5，用于与所述基片2形成软接触，避免损坏所述基片2并用于过度下压的作用力，可起到缓冲作用；所述压环5底面中部向上开设有环形的第四固定槽501，所述压环5顶面中部向下开设有第二固定孔502，所述第二固定孔502与所述第四固定槽501连通；四个所述压环5活动放置在所述基片2和所述重压套圈4之间，四个所述压环5的中心点分别和四个所述第二螺纹孔403的中心点各自对应且在同一竖直方向上；还包括：四个第二螺钉8，所述第二螺钉8钉头部放置在第四固定槽501内，螺纹部穿过所述第二固定孔502并与所述第二螺纹孔403螺纹连接；四个所述重压套圈4和所述压环5之间分别连接有第二弹簧9，所述第二弹簧9分别套接第二螺钉8上；通过设置所述第二螺钉8和所述第二弹簧9，用于分解镀膜过程中随着镀膜时间的增长基片形变量增大的作用本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种超薄片产品的辅助镀膜装置，其特征在于，包括：基片工装(1)；设置在所述基片工装(1)内的基片(2)；设置在所述基片(2)上的重压套圈(4)；以及设置在所述重压套圈(4)和所述基片(2)之间的四个压环(5)。2.根据权利要求1所述的一种超薄片产品的辅助镀膜装置，其特征在于，所述基片工装(1)上中部向下竖直开设有环形的第一固定槽(101)，所述第一固定槽(101)内固定有环形的基片底座(3)；所述基片底座(3)上中部向下竖直开设有第二固定槽(301)，所述第二固定槽(301)内安装固定有所述基片(2)。3.根据权利要求2所述的一种超薄片产品的辅助镀膜装置，其特征在于，所述基片底座(3)上向下开设有四个第一螺纹孔(302)，四个所述第一螺纹孔(302)以所述基片底座(3)的中心点为基点均匀分布。4.根据权利要求3所述的一种超薄片产品的辅助镀膜装置，其特征在于，所述基片底座(3)上设有所述重压套圈(4)，所述重压套圈(4)上向下开设有四个第一固定孔(401)，四个所述第一固定孔(401)的中心分别与四个所述第一螺纹孔(302)的中心各自对应且在同一竖直方向上。5.根据权利要求4所述的一种超薄片产品的辅助镀膜装置，其特征在于，还包括：四个第一螺钉(6)，所述第一螺钉(6)穿过所述第一固定孔(401)并与所述螺纹孔(302)螺纹连接；所述基片...
【专利技术属性】
技术研发人员：祖兴宇，
申请(专利权)人：上海鸿辉光联通讯技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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