一种真空镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术提供一种真空镀膜设备，在镀膜室内设置有镀膜架，在搬运室内设置有换料机械手和搬运架，换料机械手同时执行与镀膜架的第一换料动作和与搬运架的第二换料动作，降低了换料耗时，提高了真空镀膜工作效率。提高了真空镀膜工作效率。提高了真空镀膜工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜设备


[0001]本技术属于镀膜
，具体涉及一种真空镀膜设备。

技术介绍

[0002]真空蒸发镀膜是真空镀膜技术中开发时间最早，应用领域最广的一种薄膜沉积方法，近年来随着长寿命电阻蒸发源、电子束蒸发源、激光束蒸发源等在真空蒸发镀膜技术中的应用，使这一技术的发展更趋完善，目前仍然在真空镀膜技术中占有相当重要的地位。
[0003]镀膜过程中，需要将待镀膜工件(基片)装载在镀膜室内的镀膜架上，关闭镀膜室门抽真空镀膜，镀膜结束后再将镀膜架上的已镀膜工件卸载。上述动作称为换料，现有的换料方式耗时长，直接影响真空镀膜设备的工作效率。

技术实现思路

[0004]因此，本技术的目的在于克服现有技术存在的不足，而提供一种能够降低换料耗时，提高工作效率的真空镀膜设备。
[0005]本技术的目的是通过如下技术方案来完成的，一种真空镀膜设备，一种真空镀膜设备，包括镀膜室和搬运室，所述镀膜室和搬运室通过换料口连通，所述换料口处设置有镀膜室门，所述镀膜室内设置有镀膜架，所述搬运室还设置有搬运室门，其特征在于：所述搬运室内设置有换料机械手和搬运架，所述换料机械手位于所述换料口与所述搬运架之间，以适于在所述换料口处与所述镀膜架执行第一换料动作，以及在靠近所述搬运架处与所述搬运架执行第二换料动作；所述换料机械手包括：一对挂持机构，用于挂持工件；伸缩机构，包括第一伸缩部和第二伸缩部，所述第一伸缩部和第二伸缩部分别连接一对挂持机构，以适于带动一对所述挂持机构彼此远离地伸出或彼此靠近地缩回；回转机构，用于支承所述伸缩机构，以适于带动所述伸缩机构作回转运动；升降机构，用于支承所述伸缩机构，以适于带动所述伸缩机构作升降运动；支承机构，以适于将所述回转机构支承于所述搬运室。
[0006]本技术设置有与镀膜室连通的搬运室，在搬运室内设置机械手，机械手利用一对夹持机构、伸缩机构、回转升降机构和支承机构相互配合，可以同时执行在换料口处与镀膜架的第一换料动作、以及在靠近搬运架处与搬运架的第二换料动作，降低了换料耗时，提高了真空镀膜工作效率。
[0007]进一步地，本技术的真空镀膜设备，所述回转机构包括回转筒，所述回转筒转动支承于所述支承机构，所述回转筒一端固定连接于所述伸缩机构。
[0008]进一步地，本技术的真空镀膜设备，所述回转机构还包括第一电机、第一齿轮和第二齿轮，所述第一电机、固定连接于所述支承机构，所述第一电机的输出轴固定连接所述第一齿轮，所述第一齿轮与所述第二齿轮啮合，所述第二齿轮固定连接于所述回转筒的另一端。
[0009]进一步地，本技术的真空镀膜设备，所述支承机构包括第一法兰和第二法兰，
所述回转筒转动支承于所述第一法兰，所述第二法兰开设有导向孔，所述搬运室固定连接有导向盘，所述导向盘的导向盘导向柱穿设于对应的所述导向孔，所述第二法兰外周还设置有第一波纹管。
[0010]进一步地，本技术的真空镀膜设备，所述升降机构包括气缸和升降杆，所述气缸固定连接于所述搬运室，所述升降杆一端转动连接于所述伸缩机构，另一端固定连接于所述气缸。
[0011]进一步地，本技术的真空镀膜设备，所述伸缩机构还包括基体、第一伸缩部和第二伸缩部，所述第一伸缩部和第二伸缩部分别设置于所述基体两侧，所述基体转动支承有转轴，所述转轴上设置有第三齿轮，所述第一伸缩部和第二伸缩部上分别设置有沿伸缩方向延伸的齿条，所述第三齿轮与所述齿条啮合，以适于驱动所述第一伸缩部和第二伸缩部沿相反方向进行伸缩运动。
[0012]进一步地，本技术的真空镀膜设备，所述伸缩机构包括第二电机和转轴，所述第二电机与所述转轴传动连接，所述转轴转动支承于所述回转筒内，所述转轴一端传动连接于所述伸缩机构。
[0013]进一步地，本技术的真空镀膜设备，所述伸缩部通过枢轴枢接所述挂持机构，所述搬运室内还设置有角度对准机构，以适于在执行所述第一换料动作时调整所述挂持机构绕所述枢轴枢转至与所述镀膜架适配的第一换料角度，以及在执行所述第二换料动作时调整所述挂持机构绕所述枢轴枢转至与所述搬运架适配的第二换料角度。
[0014]进一步地，本技术的真空镀膜设备，所述角度对准机构包括导向块、导向件和弹性件，所述导向块设置于所述搬运室内且靠近所述搬运架，所述导向块形成有导向轮廓，所述导向件设置于所述挂持机构，所述导向件与所述导向轮廓在所述伸缩部伸缩过程中相互配合，以适于在执行所述第二换料动作时调整所述挂持机构绕所述枢轴枢转至所述第二换料角度；所述弹性件设置于所述挂持机构与所述伸缩部之间，以适于在所述伸缩部伸缩过程中将所述导向件压紧于所述导向轮廓，以及在执行所述第一换料动作时调整所述挂持机构绕所述枢轴枢转至与所述镀膜架适配的第一换料角度。
[0015]进一步地，本技术的真空镀膜设备，所述升降杆一端设置有凸台，所述升降杆一端伸入所述伸缩机构的回转座内并利用所述凸台和压力轴承实现转动连接于所述伸缩机构。
[0016]本技术通过上述技术方案，可以实现如下效果：
[0017]通过设置在搬运室内的机械手，同时执行与镀膜架的第一换料动作和与搬运架的第二换料动作，降低了换料耗时，提高了真空镀膜工作效率。
附图说明
[0018]图1为本技术真空镀膜设备整体的俯视示意图；
[0019]图2为本技术真空镀膜设备换料机械手的立体示意图；
[0020]图3为本技术真空镀膜设备挂持机构枢接部分的局部放大图示意图；
[0021]图4为本技术真空镀膜设备回转机构的断面示意图；
[0022]图5为本技术真空镀膜设备升降机构的断面示意图；
[0023]图6为本技术真空镀膜设备伸缩机构的断面示意图；
[0024]图7为本技术真空镀膜设备换料动作的立体示意图；
[0025]图8为本技术真空镀膜设备第一换料动作的俯视示意图。
[0026]图中附图标记表示为：
[0027]1‑
镀膜室，2
‑
搬运室，3
‑
换料口，4
‑
镀膜室门，5
‑
镀膜架，6
‑
换料机械手，61
‑
挂持机构，611
‑
固定框，612
‑
枢接部，62
‑
伸缩机构，621
‑
基体，622
‑
第一伸缩部，623
‑
第二伸缩部，624
‑
固定架，6251
‑
第三齿轮，6252
‑
齿条，626
‑
滑动副，627
‑
第二电机，628
‑
转轴，629
‑
回转座，6271
‑
第一基体固定架，6272
‑
第二基体固定架，63
‑
回转机构，63本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜设备，包括镀膜室(1)和搬运室(2)，所述镀膜室(1)和搬运室(2)通过换料口(3)连通，所述换料口(3)处设置有镀膜室门(4)，所述镀膜室(1)内设置有镀膜架(5)，所述搬运室(2)还设置有搬运室门，其特征在于：所述搬运室(2)内设置有换料机械手(6)和搬运架(7)，所述换料机械手(6)位于所述换料口(3)与所述搬运架(7)之间，以适于在所述换料口(3)处与所述镀膜架(5)执行第一换料动作，以及在靠近所述搬运架(7)处与所述搬运架(7)执行第二换料动作；所述换料机械手(6)包括：一对挂持机构(61)，用于挂持工件；伸缩机构(62)，包括第一伸缩部(622)和第二伸缩部(623)，所述第一伸缩部(622)和第二伸缩部(623)分别连接一对挂持机构(61)，以适于带动一对所述挂持机构(61)彼此远离地伸出或彼此靠近地缩回；回转机构(63)，用于支承所述伸缩机构(62)，以适于带动所述伸缩机构(62)作回转运动；升降机构(64)，用于支承所述伸缩机构(62)，以适于带动所述伸缩机构(62)作升降运动；支承机构(65)，以适于将所述回转机构(63)支承于所述搬运室(2)。2.如权利要求1所述的真空镀膜设备，其特征在于：所述回转机构(63)包括回转筒(631)，所述回转筒(631)转动支承于所述支承机构(65)，所述回转筒(631)一端固定连接于所述伸缩机构(62)。3.如权利要求2所述的真空镀膜设备，其特征在于：所述回转机构还包括第一电机(632)、第一齿轮(633)和第二齿轮(634)，所述第一电机(632)、固定连接于所述支承机构(65)，所述第一电机(632)的输出轴固定连接所述第一齿轮(633)，所述第一齿轮(633)与所述第二齿轮(634)啮合，所述第二齿轮(634)固定连接于所述回转筒(631)的另一端。4.如权利要求2或3所述的真空镀膜设备，其特征在于：所述支承机构(65)包括第一法兰(651)和第二法兰(652)，所述回转筒(631)转动支承于所述第一法兰(651)，所述第二法兰(652)开设有导向孔，所述搬运室(2)固定连接有导向盘(654)，所述导向盘(654)的导向盘导向柱(6542)穿设于对应的所述导向孔，所述第二法兰(652)外周还设置有第一波纹管。5.如权利要求1所述的真空镀膜设备，其特征在于：所述升降机构(64)包括气缸(641)和升降杆(644)，所述气缸(641)固定连接于所述搬运室(2)，所述升降杆(644)一端转动连接于所述伸缩机构(62)，另一端固定连接于所述气缸(6...

【专利技术属性】
技术研发人员：闫海涛，刘亮，
申请(专利权)人：布勒莱宝光学设备北京有限公司，
类型：新型
国别省市：