一种曝光掩模板的固定方法技术

技术编号:3192899 阅读:189 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术涉及一种曝光掩模板的固定方法。其特点是,该方法步骤为:第一:玻璃板底部放置曝光掩模板,曝光掩模板通过四周的胶带与玻璃板紧密贴合;第二:在玻璃板的边缘处打一个小孔;第三:在小孔处装一根管子,并将管子和玻璃板密封连接;第四:再将管子的另一端与抽真空装置连接;第五:启动抽真空装置,玻璃板和曝光掩模板之间形成一个真空区域。采用管子一端与玻璃板密封连接,另一端与抽真空装置相连,在生产过程中,始终保持抽真空状态,即玻璃板和曝光掩模板之间为一个真空区域,即使由于曝光掩模板粘贴不平或发热变形,曝光掩模板也不会下垂,有效避免曝光图形变形而造成对产品质量的影响。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种液晶显示器件生产的
,尤其涉及。
技术介绍
在液晶显示器件生产过程中,有一个曝光工序,它是用一张由菲林制成的曝光掩模板覆在已涂满感光胶的ITO玻璃上,通过紫外光照射,使部分感光胶受光。对于曝光掩模板的固定,现有技术中一般采用胶带1将曝光掩模板2粘贴在玻璃板3上的方式进行,如图1所示。该方法存在的问题是由于曝光掩模板自身重量或当其工作时间较长而变热时,曝光掩模板会变形下垂,如图2所示,造成曝光出来的图形变形,最终影响产品的质量。
技术实现思路
本专利技术是提供一种可避免曝光掩模板变形下垂,提高产品合格率的。本专利技术的技术方案是这样的,其特点是,该方法步骤为第一玻璃板底部放置曝光掩模板,曝光掩模板通过四周的胶带与玻璃板紧密贴合;第二在玻璃板的边缘处打一个小孔; 第三在小孔处装一根管子,并将管子和玻璃板密封连接;第四再将管子的另一端与抽真空装置连接;第五启动抽真空装置,玻璃板和曝光掩模板之间形成一个真空区域。本专利技术有益效果采用管子一端与玻璃板密封连接,另一端与抽真空装置相连,在生产过程中,始终保持抽真空状态,即玻璃板和曝光掩模板之间为一个真空区域,即使由于曝光掩模板粘贴不平或发热变形,曝光掩模板也不会下垂,有效避免曝光图形变形而造成对产品质量的影响。附图说明图1是现有技术的结构示意图;图2是现有技术的曝光图形变形的示意图;图3是本专利技术结构示意图。具体实施例方式下面结合附图与实施例对本专利技术作进一步的说明。图3所示,其特点是,该方法步骤为第一玻璃板3底部放置曝光掩模板2,曝光掩模板2通过四周的胶带1与玻璃板3紧密贴合;第二在玻璃板3的边缘处打一个小孔;第三在小孔处装一根管子4,并将管子4和玻璃板3密封连接;第四再将管子的另一端与抽真空装置连接;第五启动抽真空装置,玻璃板3和曝光掩模板2之间形成一个真空区域。在玻璃板3的边缘处打一个小孔,在小孔中装一根管子4,并将管子和玻璃板的连接处密封以免漏气。管子的另一端与抽真空装置相连。在生产过程中,始终保持抽真空状态。这样,由于玻璃板和曝光掩模板之间为一个真空区域,即使由于曝光掩模板粘贴不平或发热变形,掩模板也不会下垂,即可避免曝光图形变形而造成对产品质量的影响。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种曝光掩模板的固定方法,其特征在于,该方法步骤为:第一:玻璃板(3)底部放置曝光掩模板(2),曝光掩模板(2)通过四周的胶带(1)与玻璃板(3)紧密贴合;第二:在玻璃板(3)的边缘处打一个小孔;第三:在小孔处装一根 管子(4),并将管子(4)和玻璃板(3)密封连接;第四:再将管子的另一端与抽真空装置连接;第五:启动抽真空装置,玻璃板(3)和曝光掩模板(2)之间形成一个真空区域。

【技术特征摘要】
1.一种曝光掩模板的固定方法,其特征在于,该方法步骤为第一玻璃板(3)底部放置曝光掩模板(2),曝光掩模板(2)通过四周的胶带(1)与玻璃板(3)紧密贴合;第二在玻璃板(3)的边缘处打一...

【专利技术属性】
技术研发人员:孙明
申请(专利权)人:上海海晶电子有限公司
类型:发明
国别省市:31[中国|上海]

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