软模及其制造方法技术

本发明专利技术公开了一种软模及其制造方法。首先形成在基板上具有图案的母模。第一液态高聚物前体形成在母模上并随后被部分固化。具有高ＵＶ透射率的支撑膜粘接在部分固化的高聚物上。用连接剂处理粘接的支撑膜和部分固化的高聚物，并且在部分固化的高聚物和支撑膜上形成第二液态高聚物前体。第二液态高聚物前体和部分固化的高聚物被随后固化以形成模。完全固化的模从母模剥离以形成在一个表面上具有预定形状的软模。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于精细图案的软模，特别是涉及一种其中提供有支撑膜以改善耐用性的。
技术介绍
通常，通过将橡胶(液态高聚物前体，liquid high polymer precursor)注入到模中以使模具有图案来制造软模。软模用于通过使用特定的材料在基板上形成倒置的图案。例如，软模用于在液晶显示器件的滤色片基板上形成滤色片，或者在有机电致发光(EL)器件中形成电极。以下将参照附图描述现有技术制造软模的工序。图1A至图1C示出了现有技术制造软模的工序步骤的截面图。如图1A所示，制备母模A以在软模的表面上形成预定形状。通过在绝缘基板10上沉积绝缘材料来形成母模A以形成在前层。然后，通过光刻工序对该在前层构图以形成期望图案12。如图1B所示，当完成母模A时，预聚物状态的弹性聚合物(弹性橡胶)溶液注入在母模A上以形成预聚物层14。然后，如图1C所示，其中预聚物层14被完全固化的聚合物层被称为软模16。软模16从母模(图1B中的‘A’)剥离，从而制造其表面上具有预定形状的软模。如上所述制造的软模使用在软平版印刷、软模成型、毛细管力平版印刷以及共平面印刷的不同领域中。对于基于在不同领域中本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种软模，包括：具有９５％或更高的紫外线透射率的支撑膜；以及包围该支撑膜的模，该模具有包含图案的表面。

【技术特征摘要】
KR 2005-6-24 10-2005-00551921.一种软模，包括具有95％或更高的紫外线透射率的支撑膜；以及包围该支撑膜的模，该模具有包含图案的表面。2.根据权利要求1所述的软模，其特征在于，所述模的厚度为大约1.5mm至6mm。3.根据权利要求1所述的软模，其特征在于，所述模具有基本上平坦的表面，所述支撑膜在所述模中与其基本上平坦的表面基本上平行地设置，并且所述支撑膜具有基本上均匀的厚度。4.根据权利要求1所述的软模，其特征在于，所述模包含完全固化的弹性聚合物或等同于完全固化的弹性聚合物的高聚物。5.根据权利要求4所述的软模，其特征在于，所述模包含聚二甲基硅氧烷、聚亚安酯或聚酰亚胺至少其中之一。6.一种软模的制造方法，所述方法包括在母模上形成第一模材料，所述母模在基板上具有图案；部分固化所述第一模材料；将支撑膜粘接在部分固化的第一模材料上；在部分固化的第一模材料和支撑膜上形成第二模材料；完全固化第二模材料和部分固化的第一模材料以形成软模；以及将软模从母模剥离，该剥离的软模在表面上具有倒置的图案。7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述支撑膜具有95％或更高的紫外线透射率。8.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，还包括当在所述部分固化的第一模材料和支撑膜上形成第二模材料之前，用连接剂处理支撑膜和部分固化的第一模材料。9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，用所述连接剂处理支撑膜的轮廓和部分固化的第一模材料的角部。10.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，还包括在用所述连接剂处理支撑膜和部分固化的第一模材料之前，用底漆处理支撑膜和部分固化的第一模材料。11.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述第一模材料包含第一液态高聚物前体并且所述第二模材料包含第二液态高聚物前体。12.根据权利要求11所述的方法，其特征在于，通过注入预聚物状态的弹性聚合物溶液或等同于弹性聚合物溶液的高聚物材料形成所述第一液态高聚物前体。13.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡基成，曹奎哲，金珍郁，李昌熙，
申请(专利权)人：乐金显示有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]