一种载物台装置，具备使保持着工件的工件载物台在Ｚ轴方向（高度方向）上移动的载物台移动机构，其特征在于， 上述载物台移动机构具备： 沿着Ｚ轴方向被设置、以至少２根以一点为轴可摆动的状态被配设于载物台基座的３根滚珠螺杆； 相对于上述３根各滚珠螺杆可倾斜地被安装、使上述工件载物台在Ｚ轴方向上移动的板；及 限制上述滚珠螺杆相对于载物台基座的移动的滚珠螺杆限位装置。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及经由将掩模图案转印到工件上的曝光装置或形成图案的掩模而照射光的液晶面板等贴合装置等中所使用的载物台装置，更详细而言涉及具备使载置工件的载物台相对于载物台面向垂直方向(Z轴方向)移动的Z方向移动机构的载物台装置。
技术介绍
图11是表示经由形成有图案的掩模将曝光光照射在涂敷有感光剂的工件上，将掩模的图案转印到工件上的曝光装置或液晶面板的贴合工序中，经由形成有遮光部的掩模，仅对于涂敷有粘着剂的区域照射紫外线，使粘着剂硬化贴合2片面板的装置。以下，将上述的曝光或利用光进行粘着剂的硬化等处理称为光处理。 光照射部30具有光源(灯)32及反射来自灯32的光的反射镜31，射出光处理所需的波长的光。 形成有图案的掩模M被保持在掩模载物台40上，光处理的工件W则被保持在工件载物台20上。 工件载物台20由保持着工件W的工件吸附板21、使工件吸附板21朝着XYθ方向(工件吸附板的平面内正交的Z方向及围绕正交于该平面的轴的旋转、图中左右跟前深处方向及围绕光轴的旋转)移动的XYθ移动机构22、将掩模M和工件W的间隔设定在预所期望的值的间隙设定机构23、及使工件吸附板21朝着Z轴方向(相对于工件吸附板的面正交的方向、图中上下方向)移动的Z移动机构24所构成。 工件吸附板21在表面形成有吸附工件W的真空吸附槽(未图示)。 接近掩模和工件进行曝光的近接式曝光或液晶面板贴合的情况下，掩模和工件的间隔(间隙G)通常是设定在0～10μm的范围，工件吸附板的Z移动机构所要求的位置精度为±1～10μm。 为了掩模和工件的对位，相对于XYθ(平面)方向所要求的位置精度大约为±1μm。 另一方面，考虑对于工件吸附板的工件的搬送或光处理后的工件的搬出，或者装置的维护等时，有必要将间隙G开设在50mm左右。 因此，工件载物台的Z移动机构必须要50mm左右的移动距离，相对于Z方向为±1～10μm的移动精度和相对于XYθ方向±1μm左右的定位精度。 作为上述工件载物台的Z移动机构，已知的有例如日本专利文献1或者日本专利文献2所记载的。专利文献1、2所记载的是通过具有斜面的楔形载物台左右移动，使工件吸附板在上下方向上移动。 日本特开平7-37794号公报[专利文献2]日本特开平9-86888号公报专利文献1、2记载的Z移动机构虽然可以使工件载物台上下方向精度良好地移动，但是部件数多而构造复杂，组装等费时且制造成本高。上下方向的移动距离比较小，工件载物台的Z轴方向的移动距离较大时，运用上困难。 另一方面，使用滚珠螺杆使载物台朝着Z方向移动的Z移动机构也为人所熟知。图12是表示使用滚珠螺杆的Z移动机构的构成例。 载物台基座50上沿着高度(Z轴方向)方向设置滚珠螺杆24a，在滚珠螺杆24a的移动体(螺母)24b上安装板24c。并且，通过未图示的电动机等驱动滚珠螺杆24a，使板24c在上下(Z)方向上移动。 如图11表示，在上述板24c上，经XYθ移动机构、间隙设定机构设有工件吸附板等，构成工件载物台。 图12所示的结构，部件数少，构造单纯，并且，也可充分确保Z轴方向的移动行程。 但是，使用在大型化的液晶面板或印刷基板等的贴合曝光等的装置中，工件载物台也大型化。工件载物台大型化时，构成载放到板24c上的工件载物台的部件的重量也会增加。图12表示的构造中，由于是以悬臂支撑着板24c，因此板24c上的重量增加时，平衡不良，会降低Z方向的定位精度。 并且，由包含板24c的工件载物台的本身重量，如图12所示对于滚珠螺杆24a会有力矩力的产生。力矩力作用在滚珠螺杆24a时，动作不能顺畅而成为导致故障的原因。 因此，为了使板24c的平衡良好，提升Z方向的定位精度，也可以不是悬臂式，而是例如使用3根滚珠螺杆支撑着板24c的3处，同时将3根滚珠螺杆同步驱动，使板24c上下动作。 此时，必须配置成使3根滚珠螺杆彼此平行，因为若滚珠螺杆不平行，则在板24c移动时，会对于滚珠螺杆在径向(相对于滚珠螺杆进给方向呈正交方向)施加负载而成为导致故障的原因。平行度明显偏差时，会使得板24c不能移动。 但是，将3根滚珠螺杆彼此平行地组装是非常地困难，装置越是大型化越是困难。 如上所述，使用滚珠螺杆的Z方向的移动机构，部件数较少且构造也比较单纯，但是在运用于载置大型工件的载物台装置时，会产生定位精度的降低或对于移动机构施加过度的负载而容易故障等种种问题。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述状况所研创而成，其目的在于提供一种载物台装置，其构造比较单纯，具有数十mm的移动距离，并且可实现数μm的位置精度，并且即使载置的工件的大型化，而伴随与此工件载物台也大型化，对于移动机构也不会造成过度负载，具备顺畅动作的Z方向的移动机构。 本专利技术如以下说明可以解决上述课题。 (1)在具备使保持着工件的工件载物台在正交于载物台面方向的Z轴方向(高度方向)上移动的载物台移动机构的载物台装置中，在该载物台移动机构中设有沿着Z轴方向设置、以至少2根以一点为轴可摆动的状态被配设于载物台基座的3根滚珠螺杆；相对于上述3根各滚珠螺杆可倾斜被地安装、使上述工件载物台在Z轴方向上移动的板；及限制上述滚珠螺杆相对于载物台基座的移动的滚珠螺杆限位装置。 (2)在具备使保持着工件的工件载物台在正交于载物台面方向的Z轴方向(高度方向)上移动的载物台移动机构的载物台装置中，该载物台移动机构设有沿着Z轴方向设置、以至少2根以一点为轴可摆动的状态配设于载物台基座的3根滚珠螺杆；对于上述3根各滚珠螺杆可倾斜地安装、使上述工件载物台在Z轴方向上移动的板；在上述板的内面、相对于其载物台面平行地配设的平行板簧经由该平行板簧安装在上述板上的驱动载物台；及限制驱动载物台相对于载物台基座的移动的驱动载物台限位装置。 专利技术效果本专利技术可获得以下的效果。 (1)由于3根滚珠螺杆内的至少2根是可摆动的，因此板在Z方向上移动时，通过滚珠螺杆的倾斜，对滚珠螺杆不会产生径向的负载，并且板是相对于滚珠螺杆可倾斜地被安装，因此即使滚珠螺杆倾斜，也不会产生使得滚珠螺杆或板或连结它们的构件挠曲的力。 因此，在滚珠螺杆或板、或者位于它们之间的构件上不会施加过大的负载，可以顺利地驱动滚珠螺杆。并且，由于不会施加过大的负载，因而可抑制故障等的发生。 另外，通过设置限制滚珠螺杆移动的滚珠螺杆限位装置，即使可摆动地安装滚珠螺杆，在掩模或工件的对位或光处理中仍然可以限制板向正交于Z轴的方向的移动。 (2)在板的内面，相对于该板面平行地安装平行板簧，经由该平行板簧安装驱动载物台，并且设置限制该驱动载物台移动的驱动载物台限位装置，由此可经由驱动载物台限制板在掩模和工件的对位或光处理中向正交于Z轴的方向的移动。 驱动载物台和板经由平行板簧而被安装，因此即使驱动载物台的移动被限制，仍可通过驱动滚珠螺杆而使得板在Z方向上多少的移动，不在XYθ方向上移动地进行微小的对位。 (3)不需要将3根滚珠螺杆形成严密的平行，因此装置的组装、调整容易。 并且，为了平行保持滚珠螺杆，不需要以高刚性构件构成支撑载物台基座或滚珠螺杆的构件。因此，可降低装置的大小、重量等，伴随与此可抑制装置的成本。附图说明图1是表示本专利技术第1实施例的构成本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种载物台装置，具备使保持着工件的工件载物台在Z轴方向(高度方向)上移动的载物台移动机构，其特征在于，上述载物台移动机构具备沿着Z轴方向被设置、以至少2根以一点为轴可摆动的状态被配设于载物台基座的3根滚珠螺杆；相对于上述3根各滚珠螺杆可倾斜地被安装、使上述工件载物台在Z轴方向上移动的板；及限制上述滚珠螺杆相对于载物台基座的移动的滚珠螺杆限位装置。2.一种载物台装置，具备使保持着工件的工件载物台在Z...
【专利技术属性】
技术研发人员：田中米太，
申请(专利权)人：优志旺电机株式会社，
类型：发明
国别省市：
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