一种移动高精度视觉掩膜曝光一体机制造技术

一种移动高精度视觉掩膜曝光一体机，包括多维度机械臂、平行光源、导光组件和CCD定位系统，导光组件为立体结构的导光体、平面结构的玻璃铬板或光学材料的掩膜，或者为导光体与玻璃铬板或导光体与掩膜的组合；导光体具有相对设置的导入光面和导出光面，平行光源产生的平行光经导入光面射入导光体，然后经导出光面平行射出；当导光组件为导光体时，导光体的导入光面与导出光面分别根据需要曝光的图像加工成相应形状；当导光组件为导光体与玻璃铬板或导光体与掩膜的组合时，导光体贴附连接在平行光源的出光面上，玻璃铬板或掩膜对应贴附连接在导光体的导出光面上。本实用新型专利技术的移动高精度视觉掩膜曝光一体机可对流水线上的待曝光物进行自动连续曝光作业，移动效率高，作业效率高。率高。率高。

【技术实现步骤摘要】
一种移动高精度视觉掩膜曝光一体机


[0001]本技术涉及掩膜曝
，具体涉及一种移动高精度视觉掩膜曝光一体机。

技术介绍

[0002]普通的掩膜曝光工艺，其一般是先制作一张有图案的掩膜菲林，然后将掩膜菲林手工覆盖到待曝光的UV油墨层上，使用肉眼对好位置，并用胶带固定好掩膜菲林，再用曝光源将图案曝光。然而，其存在的技术问题有：非平面曝光掩膜菲林依靠手工对位，难度大，且精度低，效率低；非平面曝光不好控制曝光源；而且，菲林反复操作容易损坏。
[0003]为了满足更高要求的生产需求，有必要对现有掩膜曝光工艺及相关设备进行改进。

技术实现思路

[0004]基于此，本技术提供了一种移动高精度视觉掩膜曝光一体机，以解决现有技术的掩膜曝光设备依靠手工对位，难度大，且精度低，效率低的技术问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供了一种移动高精度视觉掩膜曝光一体机，包括自由移动的多维度机械臂，以及一体连接在所述多维度机械臂的前端的平行光源、导光组件和CCD定位系统，其中：
[0006]所述导光组件贴附连接在所述平行光源的出光面上，所述平行光源产生的平行光经所述导光组件射出并对待曝光物的感光涂层进行爆光，所述CCD定位系统用于对曝光位置进行定位；
[0007]所述导光组件为立体结构的导光体、平面结构的玻璃铬板或光学材料的掩膜，或者为所述导光体与所述玻璃铬板或所述导光体与所述掩膜的组合；
[0008]所述导光体具有相对设置的导入光面和导出光面两个导光面，所述平行光源产生的平行光经所述导入光面导入到所述导光体，然后经所述导出光面平行射出；
[0009]当所述导光组件为导光体时，所述导光体的导入光面与导出光面分别根据需要曝光的图像加工成相应形状；
[0010]当所述导光组件为所述导光体与所述玻璃铬板或所述导光体与所述掩膜的组合时，所述导光体贴附连接在所述平行光源的出光面上，所述玻璃铬板或掩膜对应贴附连接在所述导光体的导出光面上。
[0011]作为本技术的进一步优选技术方案，所述平行光源的出光面上未贴附导光组件的区域采用吸光材料遮蔽。
[0012]作为本技术的进一步优选技术方案，所述导光体上除导入光面和导出光面的其它壁面均涂覆有吸光涂层。
[0013]作为本技术的进一步优选技术方案，所述导光体的导光面为平面或曲面。
[0014]作为本技术的进一步优选技术方案，所述导光体与所述掩膜的材质为烯丙基
二甘醇二碳酸酯、亚克力、聚碳酸酯、不饱合聚酯、聚氨酯或光学玻璃。
[0015]作为本技术的进一步优选技术方案，多维度机械臂的前端可同时安装多个平行光源，且每个平行光源对应至少一个导光体组件。
[0016]作为本技术的进一步优选技术方案，所述平行光源为汞灯光源或UV波段的LED光源。
[0017]作为本技术的进一步优选技术方案，所述多维度机械臂具有至少四轴，以实现带动平行光源、导光组件及CCD定位系统360度自由旋转，以及升降和水平移动。
[0018]作为本技术的进一步优选技术方案，所述多维度机械臂包括竖向升降模组和水平横移模块组，所述水平横移模块组与所述竖向升降模组呈十字交叉设置，所述竖向升降模组用于带动所述水平横移模块组升降运动，所述平行光源、导光组件及CCD定位系统成一体连接在所述水平横移模块组上并由所述水平横移模块组驱动水平移动。
[0019]作为本技术的进一步优选技术方案，所述一体机还包括主控系统，所述多维度机械臂、平行光源及CCD定位系统均受控于所述主控系统，在主控系统的控制下，多维度机械臂根据CCD定位系统的定位信息将平行光源准确移动到曝光位进行曝光作业。
[0020]本技术的移动高精度视觉掩膜曝光一体机，通过采用上述技术方案，曝光作业中，由多维度机械臂带动导光组件迅速准确地移动到被曝光面上，通过CCD定位系统锁定曝光位置后，可将导光组件的曝光面紧贴待曝光涂层，然后根据要求对感光涂层进行曝光，曝光完成后迅速回到指定位置，以实现自动化生产作业，不仅曝光精度高，而且生产效率高；本技术可应用于流水线，对流水线上的待曝光物的水平面及非水平面进行自动连续曝光作业，移动效率高，作业效率高，而传统的菲林曝光做不到，即提高了精度和效率，降低了生产成本。
附图说明
[0021]下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。
[0022]图1为移动高精度视觉掩膜曝光一体机提供的一实例的结构示意图；
[0023]图2为移动高精度视觉掩膜曝光一体机提供的另一实例的结构示意图；
[0024]图3为导光体与平行光源相连提供的一实例的结构示意图；
[0025]图4为环形的图案的示意图；
[0026]图5为导光体提供的一实例的结构示意图；
[0027]图6为导光体上涂覆吸光涂层后的结构示意图；
[0028]图7为玻璃铬板与平行光源相连提供的一实例的结构示意图；
[0029]图8为本技术的移动高精度视觉掩膜曝光一体机进行水平面曝光的示意图；
[0030]图9为本技术的移动高精度视觉掩膜曝光一体机进行垂直面曝光的示意图。
[0031]图中：101、多维度机械臂，201、导光组件，202、导光体，203、吸光涂层，204、玻璃铬板，301、平行光源，302、吸光材料，401、CCD定位系统，501、待曝光物。
[0032]本技术目的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
[0033]下面将结合附图以及具体实施方式，对本技术做进一步描述。较佳实施例中
所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等用语，仅为便于叙述的明了，而非用以限定本技术可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更
技术实现思路
下，当亦视为本技术可实施的范畴。
[0034]如图1至图9所示，本技术提供了一种移动高精度视觉掩膜曝光一体机，其包括自由移动的多维度机械臂101，以及一体连接在所述多维度机械臂101的前端的平行光源301、导光组件201和CCD定位系统401。
[0035]所述导光组件201贴附连接在所述平行光源301的出光面上，所述平行光源301产生的平行光经所述导光组件201射出并对待曝光物501的感光涂层进行爆光，所述CCD定位系统401用于对曝光位置进行定位，所述平行光源301为汞灯光源或UV波段的LED光源。
[0036]所述平行光源301的出光面上未贴附导光组件201的区域采用吸光材料302遮蔽，优选吸光材料302在平行光源301的出光面便于清理掉以便重新涂刷，以使同一平行光源301可配合不同结构及尺寸的导光组件201。
[0037]所述导光组件201为立体结构的导光体202、平面结构的玻璃铬板204或光学材料的掩膜，或者为所述导光体202与所述玻璃铬板204或本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种移动高精度视觉掩膜曝光一体机，其特征在于，包括自由移动的多维度机械臂，以及一体连接在所述多维度机械臂的前端的平行光源、导光组件和CCD定位系统，其中：所述导光组件贴附连接在所述平行光源的出光面上，所述平行光源产生的平行光经所述导光组件射出并对待曝光物的感光涂层进行爆光，所述CCD定位系统用于对曝光位置进行定位；所述导光组件为立体结构的导光体、平面结构的玻璃铬板或光学材料的掩膜，或者为所述导光体与所述玻璃铬板或所述导光体与所述掩膜的组合；所述导光体具有相对设置的导入光面和导出光面两个导光面，所述平行光源产生的平行光经所述导入光面导入到所述导光体，然后经所述导出光面平行射出；当所述导光组件为导光体时，所述导光体的导入光面与导出光面分别根据需要曝光的图像加工成相应形状；当所述导光组件为所述导光体与所述玻璃铬板或所述导光体与所述掩膜的组合时，所述导光体贴附连接在所述平行光源的出光面上，所述玻璃铬板或掩膜对应贴附连接在所述导光体的导出光面上。2.根据权利要求1所述的移动高精度视觉掩膜曝光一体机，其特征在于，所述平行光源的出光面上未贴附导光组件的区域采用吸光材料遮蔽。3.根据权利要求1所述的移动高精度视觉掩膜曝光一体机，其特征在于，所述导光体上除导入光面和导出光面的其它壁面均涂覆有吸光涂层。4.根据权利要求1所述的移动高精度视觉掩膜曝光一体机，其特征在于，所述导光体的导光面为平面或曲面。5...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘文彤，
申请(专利权)人：惠州市七泉智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：