一种用于工作台Z轴方向宏动的运动装置制造方法及图纸

本发明专利技术的实施例提供了一种用于工作台Z轴方向宏动的运动装置，包括：工作台；四个校正模块，所述校正模块与所述工作台相连接，所述校正模块包括可发生柔性形变的柔性结构；以及四个驱动模块，所述驱动模块的顶部与所述校正模块一一对应连接，各所述驱动模块底部与宏动台相连接；其中，四个所述驱动模块的投影的连线构成四边形，各所述驱动模块驱动对应的所述校正模块沿Z轴方向移动；当任意两个所述驱动模块驱动对应的所述校正模块沿Z轴方向移动时，所述柔性结构发生柔性形变，实现所述工作台的位置调整。位置调整。位置调整。

【技术实现步骤摘要】
一种用于工作台Z轴方向宏动的运动装置


[0001]本专利技术涉及精密仪器的
，特别是涉及一种用于工作台Z轴方向宏动的运动装置。

技术介绍

[0002]芯片产业是各国先进技术集智集优的结晶。在芯片生产中，半导体材料的生产技术在我国仍然处于初级阶段，对该领域的研究从未停止。光刻机是用于集成电路和微型电子器件制造的超精密加工设备，制造和维护需要高度的光学和电子工业基础，我国目前应用于制造设计光刻机的能力仍然处于落后阶段，随着半导体技术和电子产业的不断发展，相关企业对光刻机的要求也越来越高。
[0003]光刻机的工作台分系统是光刻机的关键分系统之一，几乎所有的应用场景都涉及到工作台的应用。工作台分系统包括运动台系统、测量系统、控制系统以及和其他光刻机之间的接口。工作台分系统包括长行程模块和短行程模块，长行程模块主要实现工作台的宏动功能，带动工作台在平面内实现X、Y、Rz方向的运动，与短行程模块(微动)共同完成晶圆的曝光，带动工作台进行曝光工位和晶圆交接工位的转换。短行程模块主要实现工作台的微动功能，包括Z、Rx、Ry方向的运动，与长行程模块共同完成晶圆的曝光，在晶圆交接工位与外部机械手完成晶圆的交接工作。
[0004]然而，现有的工作台在微动运动的过程中，存在当Z轴方向宏动补偿和长短行程模块装配时，无法同时保持的高精度和刚度的技术问题。

技术实现思路

[0005]为了解决上述问题，本专利技术的目的是提供一种用于工作台Z轴方向宏动的运动装置，用于解决现有的工作台在微动运动的过程中，存在当Z轴方向宏动补偿和长短行程模块装配时，无法同时保持的高精度和刚度的技术问题。
[0006]为解决上述技术问题，本专利技术的实施例采用了如下技术方案：
[0007]本实施例提供了一种用于工作台Z轴方向宏动的运动装置，包括：
[0008]工作台；
[0009]四个校正模块，所述校正模块与所述工作台相连接，所述校正模块包括可发生柔性形变的柔性结构；以及
[0010]四个驱动模块，所述驱动模块的顶部与所述校正模块一一对应连接，各所述驱动模块的底部用于与宏动台相连接；
[0011]其中，四个所述驱动模块的投影的连线构成四边形，各所述驱动模块驱动对应的所述校正模块沿Z轴方向宏动，实现所述工作台的位置调整。
[0012]进一步地，四个所述驱动模块分为两组，两组所述驱动模块对称分布于所述宏动台的两个对立的侧壁面上。
[0013]进一步地，所述四边形为正方形，在宏动台的同一侧壁面上的两个所述驱动模块，
沿该侧壁面的竖直方向轴对称分布。
[0014]进一步地，所述校正模块为柔性支架，所述柔性结构为所述柔性支架的一部分。
[0015]进一步地，其中两个位于所述正方形的一条对角线上的柔性支架为第一组柔性支架，所述第一组柔性支架同宏动台的X运动方向相配合，使得所述柔性结构的形变范围在Z
‑
X平面内；
[0016]其余两个位于所述正方形的另一条对角线上的柔性支架为第二组柔性支架，所述第二组柔性支架与宏动台的Y运动方向相配合，使得所述柔性结构的形变范围在Z
‑
Y平面内。
[0017]进一步地，还包括：
[0018]测量模块，所述测量模块安装在所述工作台与所述宏动台之间，用于测量工作台的Z轴方向运动位置。
[0019]进一步地，所述测量模块包括：
[0020]绝对式直线光栅尺，所述绝对式直线光栅尺安装在所述工作台的底部；
[0021]绝对式直线光栅读数头，所述绝对值直线光栅尺可相对所述绝对式直线光栅读数头移动，所述绝对式直线光栅读数头用于识别读取所述绝对式直线光栅尺的数值。
[0022]进一步地，还包括：
[0023]限位模块，所述限位模块安装在所述工作台的上表面上，用于将所述工作台的Z轴方向运动限定在预置范围内。
[0024]进一步地，所述限位模块包括：
[0025]连接盘，所述连接盘安装在所述工作台上；
[0026]底板，所述底板的顶部和所述连接盘的底部相连接；
[0027]导向杆，所述导向杆穿设在所述底板和所述连接盘上，且随所述连接盘和底板移动；
[0028]顶板，所述导向杆可相对所述顶板移动，所述顶板用于所述将所述工作台的Z轴方向运动限定在预置范围内。
[0029]进一步地，所述限位模块为三个，三个所述限位模块围绕所述工作台的几何中心排布设置。
[0030]相比于现有技术，本专利技术的实施例的有益效果在于：
[0031]本专利技术的实施例的一种用于工作台Z轴方向宏动的运动装置，包括工作台、四个校正模块和四个驱动模块，通过四个所述驱动模块分别驱动对应的校正模块沿Z轴方向宏动，四个所述校正模块同步带动所述工作台沿Z轴宏动，其中，当任意两个所述驱动模块驱动对应的所述校正模块沿Z轴方向宏动时，所述柔性结构发生柔性形变，实现所述工作台1的位置调整；从而通过柔性形变提高了工作台装配时的装配精度，同时也保证了整体结构的刚度要求，进而有效地解决了现有的工作台在微动运动的过程中，当Z轴方向宏动补偿和长短行程模块装配时，无法同时保持的高精度和刚度的技术问题。
附图说明
[0032]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本
申请的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
[0033]图1是本专利技术实施例提供的一种用于工作台Z轴方向宏动的运动装置的结构示意图；
[0034]图2是本专利技术实施例提供的一种用于工作台Z轴方向宏动的运动装置的仰视图；
[0035]图3是本专利技术实施例提供的一种用于工作台Z轴方向宏动的运动装置的俯视图；
[0036]图4是本专利技术实施例提供的一种用于工作台Z轴方向宏动的运动装置的驱动模块和校正模块的结构示意图；
[0037]图5是本专利技术实施例提供的一种用于工作台Z轴方向宏动的运动装置的限位模块的结构示意图；
[0038]图6是本专利技术实施例提供的一种用于工作台Z轴方向宏动的运动装置的限位模块的另一结构示意图；
[0039]其中：
[0040]1、工作台；2、驱动模块；3、测量模块；4、校正模块；401、柔性结构；5、限位模块；51、顶板；52、连接盘；53、底板；54、导向杆。
具体实施方式
[0041]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0042]在本申请实施例的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于工作台Z轴方向宏动的运动装置，其特征在于，包括：工作台；四个校正模块，所述校正模块与所述工作台相连接，所述校正模块包括可发生柔性形变的柔性结构；以及四个驱动模块，所述驱动模块的顶部与所述校正模块一一对应连接，各所述驱动模块的底部与宏动台相连接；其中，四个所述驱动模块的投影的连线构成四边形，各所述驱动模块驱动对应的所述校正模块沿Z轴方向宏动；当任意两个所述驱动模块驱动对应的所述校正模块沿Z轴方向宏动时，所述柔性结构发生柔性形变，实现所述工作台的位置调整。2.根据权利要求1所述的用于工作台Z轴方向宏动的运动装置，其特征在于，四个所述驱动模块分为两组，两组所述驱动模块对称分布于所述宏动台的两个对立的侧壁面上。3.根据权利要求2所述的用于工作台Z轴方向宏动的运动装置，其特征在于，所述四边形为正方形，在宏动台的同一侧壁面上的两个所述驱动模块，沿该侧壁面的竖直方向轴对称分布。4.根据权利要求3所述的用于工作台Z轴方向宏动的运动装置，其特征在于，所述校正模块为柔性支架，所述柔性结构为所述柔性支架的一部分。5.根据权利要求4所述的用于工作台Z轴方向宏动的运动装置，其特征在于，其中两个位于所述正方形的一条对角线上的柔性支架为第一组柔性支架，所述第一组柔性支架同宏动台的X轴运动方向相配合，使得所述柔性结构的形变范围在Z
‑
X平面内；其余两个位于所述正方形的另一条对角线上的柔性支架为第二组柔性支架，所述第二组柔性支架与宏动台的Y轴运动方向相配合，使得所述柔性结构的形变范围在Z
‑
Y平面内。6....

【专利技术属性】
技术研发人员：赵鹏越，赵博，吴剑威，郑健，王继尧，晏祯卓，谭久彬，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：