可移动转移腔室和包含可移动转移腔室的衬底处理设备制造技术

一种衬底处理设备包含：复数个模块，其沿着一第一方向而安置，所述复数个模块中的每一者具有一可含有一衬底的内部空间；和一转移单元，其在所述复数个模块之间转移所述衬底，所述转移单元包含沿着所述第一方向而安置的至少一个轨道和沿着所述至少一个轨道而移动的至少一个可移动转移腔室，其中所述至少一个可移动转移腔室在移动时气压上与外部隔离。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种可移动转移腔室，且更明确地说，涉及一种用于大型衬底的可移动转移腔室，和一种包含可移动转移腔室的衬底处理设备。
技术介绍
半导体装置的设备已被广泛开发。例如，在公开案号为US2002/0024611的美国专利申请案中，揭示了一种直径为300毫米的晶片的制造设备。在半导体装置的制造设备中，转移装置的轨道安置在箱体的中心部分中，且复数个处理台沿着轨道两侧而安置。转移装置由轨道支撑并沿着轨道移动。另外，转移装置的高度为可控制的，且转移装置包含具有衬底固定器的衬底转移构件。衬底固定器可突出到越过轨道并使用臂组合件。衬底转移构件通过衬底固定器而连接到其中具有晶片的复数个处理台。从臂组合件前方的输送盒将晶片供应给转移装置。制造设备由箱体围绕，且输送盒连接到箱体。转移装置安置在复数个处理台之间。由于箱体围绕的空间与周围空气隔离，所以防止转移装置与复数个处理台之间转移的晶片受到污染。然而，改进箱体的隔离和防污染能力的高度真空受经济和结构条件限制。箱体的结构使得其内部气体由于高度真空空间与周围空气之间的压力差而缓慢地排出。另外，在无污染的情况下将衬底从输送盒转移到空间中的可能性，和在通过转移装置转移衬底的同时保持空间中的清洁度的可能性也受到限制。明确地说，无法将制造设备应用于平板显示器(FPD)的大型衬底。由于大型衬底可具有数平方米的面积，所以制造设备的尺寸不可控制。用于大型衬底的制造设备在时间和成本上存在局限性，因为其花费许多时间来获得用于大型衬底的高度真空空间。因此，处理时间延长，且制造成本增加。
技术实现思路
因此，本专利技术针对于一种可移动转移腔室和一种包含可移动转移腔室的设备，其实质上消除由于相关技术的局限性和缺点而引起的问题中的一个或一个以上问题。本专利技术的目的在于提供一种在高度真空条件下含有大型衬底的可移动转移腔室，和一种包含可移动转移腔室的衬底处理设备。本专利技术的另一目的在于提供一种具有简化结构的可移动转移腔室，和一种包含可移动转移腔室的衬底处理设备，其中最小化衬底的转移时间。本专利技术的另一目的在于提供一种可移动转移腔室和一种衬底处理设备，其中由于闸门阀而获得模块之间的即时对接和模块之间衬底的即时转移。以下描述中将陈述本专利技术的附加特征和优点，且从描述中将部分地了解所述附加特征和优点，或可通过实践本专利技术来学习。通过书面描述和本专利技术权利要求书以及附图中明确指出的结构，将实现并达成本专利技术的目的和其他优点。为了实现这些和其他优点，且根据如具体表达和广义上描述的本专利技术的意图，一种衬底处理设备包含复数个模块，其沿着第一方向而安置，所述复数个模块中的每一者具有可含有衬底的内部空间；和转移单元，其在所述复数个模块之间转移所述衬底，所述转移单元包含沿着所述第一方向而安置的至少一个轨道和沿着所述至少一个轨道而移动的至少一个可移动转移腔室，其中所述至少一个可移动转移腔室在移动时气压上与外部隔离。在所述衬底处理设备中，所述复数个模块中的每一者包含转移孔，且所述至少一个可移动转移腔室包含对应于所述转移孔的打开部分。另外，所述至少一个可移动转移腔室可接近所述复数个模块中的一者，使得所述打开部分接触所述转移孔。所述打开部分和所述转移孔中每一者具有使得所述衬底穿过的尺寸。在所述衬底处理设备中，所述至少一个可移动转移腔室包含第一和第二可移动转移腔室，且所述至少一个轨道包含第一和第二轨道。另外，所述第一和第二可移动转移腔室分别沿着所述第一和第二轨道独立移动。此外，所述第一和第二可移动转移腔室经安置成具有不同高度，且所述第一和第二轨道沿着与所述第一方向相交的第二方向彼此隔开，其中所述第二方向为水平方向，且所述第一和第二轨道彼此平行。此外，所述第一可移动转移腔室的中心部分由所述第一轨道支撑，且所述第二可移动转移腔室的边缘部分由所述第二轨道支撑。所述第一可移动转移腔室由所述第一轨道支撑并沿着所述第一轨道通过第一导引滑板移动，且所述第二可移动转移腔室由所述第二轨道支撑并沿着所述第二轨道通过第二导引滑板移动。所述第二可移动转移腔室的边缘部分通过子载架而连接到所述第二导引滑板，使得所述第二可移动转移腔室从所述第二导引滑板突出到所述复数个模块，其中所述子载架具有U形形状，使得U状的开口面向所述复数个模块。在所述衬底处理设备中，所述第一和第二可移动转移腔室相对于所述第一和第二轨道的高度分别可由所述第一和第二导引滑板调节。另外，所述第二方向为垂直方向，且所述第一和第二轨道经安置成具有不同高度并彼此平行。此外，所述第一和第二轨道在平面图中彼此重叠。所述第一和第二可移动转移腔室中的每一者在两个末端部分处均被支撑，且所述第一和第二可移动转移腔室分别安置在所述第一和第二轨道上方。在所述衬底处理设备中，所述第一和第二可移动转移腔室可分别安置在所述第一和第二轨道下方。另外，所述第一可移动转移腔室可安置在所述第一轨道上方，且所述第二可移动转移腔室安置在所述第二轨道下方。此外，空气在所述第一和第二可移动转移腔室的外部向下流动。在所述衬底处理设备中，第一和第二空气循环空间围绕所述第一和第二可移动转移腔室，且气压上经隔离以防止污染材料的循环。另外，第一和第二空气循环空间气压上被支撑所述第一和第二可移动转移腔室中的一者的子载架隔离，并安置在所述第一与第二可移动转移腔室之间。所述衬底处理设备进一步包括支撑柱，其支撑所述第一和第二轨道的两个末端部分。所述第一和第二轨道中的每一者包含沿着所述第一方向而安置的导轨，且所述第一和第二轨道分别由所述支撑柱通过第一和第二闸门支撑，从而越过所述导轨。另外，所述第一和第二闸门中的每一者中具有空穴，且所述第一和第二闸门中的每一者连接到外部空气供应源，且通过所述第一和第二闸门中的每一者来供应空气。所述衬底处理设备进一步包括支撑管，其中具有空气路径并连接所述第一和第二闸门中的一者；和中心地板，其连接到所述支撑管，其中围绕所述第一可移动转移腔室的第一空气循环空间被所述中心地板在气压上与围绕所述第二可移动转移腔室的第二空气循环空间隔离。在所述衬底处理设备中，所述复数个模块沿着第一和第二模块线配置成两条线，且所述第一和第二轨道安置在所述第一与第二模块线之间。另外，所述第一和第二可移动转移腔室分别包含第一和第二打开部分，且所述第一和第二打开部分分别面向所述第一与第二模块线。所述衬底处理设备进一步包括第一和第二导引车，其分别支撑所述第一和第二可移动转移腔室，其中所述第一导引车沿着所述第一轨道移动所述第一可移动转移腔室，且所述第二导引车沿着所述第二轨道移动所述第二可移动转移腔室。另外，所述第一导引车沿着所述第一轨道安置在所述第一可移动转移腔室的前部和后部，且所述第二导引车沿着所述第二轨道安置在所述第二可移动转移腔室的前部和后部。此外，所述第一和第二导引车通过线性驱动构件分别沿着所述第一和第二轨道移动。此外，所述第一和第二可移动转移腔室中的每一者可相对于所述第一和第二导引车而接近所述复数个模块中的一者。在所述衬底处理设备中，所述复数个模块包含复数个转移孔，且至少两个转移孔具有不同高度。另外，具有相同高度的至少两个转移孔的至少两个模块被相邻配置，且所述复数个模块根据所述复数个模块的每一者中的处理时间而配置。此外，所述复数个模块中的至少一者是转移并分配所本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种衬底处理设备，其包括：　　　　复数个模块，其沿着一第一方向而安置，所述复数个模块中的每一者具有一可含有一衬底的内部空间；和　　　　一转移单元，其在所述复数个模块之间转移所述衬底，所述转移单元包含沿着所述第一方向而安置的至少一个轨道和沿着所述至少一个轨道而移动的至少一个可移动转移腔室，　　　　其中所述至少一个可移动转移腔室在移动时气压上与一外部隔离。

【技术特征摘要】
KR 2006-6-12 10-2006-0052510;DE 2005-8-18 102005031.一种衬底处理设备，其包括复数个模块，其沿着一第一方向而安置，所述复数个模块中的每一者具有一可含有一衬底的内部空间；和一转移单元，其在所述复数个模块之间转移所述衬底，所述转移单元包含沿着所述第一方向而安置的至少一个轨道和沿着所述至少一个轨道而移动的至少一个可移动转移腔室，其中所述至少一个可移动转移腔室在移动时气压上与一外部隔离。2.根据权利要求1所述的设备，其中所述复数个模块中的每一者包含一转移孔，且所述至少一个可移动转移腔室包含一对应于所述转移孔的打开部分。3.根据权利要求2所述的设备，其中所述至少一个可移动转移腔室可接近所述复数个模块中的一者，使得所述打开部分接触所述转移孔。4.根据权利要求2所述的设备，其中所述打开部分和所述转移孔中的每一者具有一使得所述衬底穿过的尺寸。5.根据权利要求1所述的设备，其中所述至少一个可移动转移腔室包含第一和第二可移动转移腔室，且所述至少一个轨道包含第一和第二轨道。6.根据权利要求5所述的设备，其中所述第一和第二可移动转移腔室分别沿着所述第一和第二轨道独立移动。7.根据权利要求5所述的设备，其中所述第一和第二可移动转移腔室经安置成具有不同高度。8.根据权利要求7所述的设备，其中所述第一和第二轨道沿着一与所述第一方向相交的第二方向彼此间隔开。9.根据权利要求8所述的设备，其中所述第二方向为一水平方向，且所述第一和第二轨道彼此平行。10.根据权利要求9所述的设备，其中所述第一可移动转移腔室的一中心部分由所述第一轨道支撑，且所述第二可移动转移腔室的一边缘部分由所述第二轨道支撑。11.根据权利要求10所述的设备，其中所述第一可移动转移腔室由所述第一轨道支撑并沿着所述第一轨道通过一第一导引滑板移动，且所述第二可移动转移腔室由所述第二轨道支撑并沿着所述第二轨道通过一第二导引滑板移动。12.根据权利要求11所述的设备，其中所述第二可移动转移腔室的所述边缘部分通过一子载架而连接到所述第二导引滑板，使得所述第二可移动转移腔室从所述第二导引滑板突出到所述复数个模块。13.根据权利要求12所述的设备，其中所述子载架为一U状，使得所述U状的一开口面向所述复数个模块。14.根据权利要求11所述的设备，其中所述第一和第二可移动转移腔室相对于所述第一和第二轨道的高度可分别由所述第一和第二导引滑板调节。15.根据权利要求8所述的设备，其中所述第二方向为一垂直方向，且所述第一和第二轨道经安置成具有不同高度并彼此平行。16.根据权利要求15所述的设备，其中所述第一和第二轨道在一平面图中彼此重叠。17.根据权利要求15所述的设备，其中所述第一和第二可移动转移腔室中的每一者在两个末端部分处均被支撑。18.根据权利要求15所述的设备，其中所述第一和第二可移动转移腔室分别安置在所述第一和第二轨道上方。19.根据权利要求15所述的设备，其中所述第一和第二可移动转移腔室分别安置在所述第一和第二轨道下方。20.根据权利要求15所述的设备，其中所述第一可移动转移腔室安置在所述第一轨道上方，且所述第二可移动转移腔室安置在所述第二轨道下方。21.根据权利要求15所述的设备，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：克劳斯赫格勒，
申请(专利权)人：周星工程股份有限公司，阿西斯自动系统股份有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]