一种晶圆贴装供料设备制造技术

本申请提供一种晶圆贴装供料设备包括基座，所述基座具有首端和尾端；扩膜装置，可升降地连接于所述基座尾端；上压板组件，所述上压板组件设于所述基座上；薄膜载具，所述薄膜载具滑动连接于所述上压板组件；夹取装置，所述夹取装置滑动连接于所述基座上，并在所述首端至尾端的位置来回滑动；本申请中，通过将所述抓取装置与所述扩膜装置和所述上压板组件设置成一体结构，使得所述抓取装置有可以在所述上压板组件与所述扩膜装置之间移动穿梭，且规避了所述上压板组件需要开口放料的问题，保证了扩膜张力的均衡性，同时解决了传统设计中将所述夹取装置外置设计的问题，减少了所述抓取装置占用空间，提高了所述晶圆贴装供料设备的工作效率。工作效率。工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆贴装供料设备


[0001]本技术涉及一种供料设备，尤其是一种晶圆贴装供料设备。

技术介绍

[0002]现有技术中晶圆贴装自动供料均由外部的夹取放料的模式进行操作，会在晶圆压板上开个缺口供夹料装置进出，当晶圆在扩膜时压板下压与扩膜环相互作用进行扩膜时，缺口处的晶环蓝膜受到的扩膜张力不均衡，影响了扩晶良率，且夹取放料装置均需外置，增大了设备占用空间。

技术实现思路

[0003]为了克服现有技术中的缺点和不足，本申请旨在解决现有技术中心晶圆贴装供料设备结构复杂的问题。
[0004]本申请提供了一种晶圆贴装供料设备，包括基座，所述基座具有首端和尾端；扩膜装置，可升降地连接于所述尾端；上压板组件，所述上压板组件设于所述基座上；薄膜载具，所述薄膜载具滑动连接于所述上压板组件；夹取装置，所述夹取装置滑动连接于所述基座上，并在所述首端至尾端的位置来回滑动；当所述夹取装置滑动至所述首端时，所述薄膜载具滑动至与所述扩膜装置正对的位置，所述夹取装置与所述薄膜载具分离，所述上压板组件下降，所述扩膜装置上升至靠近所述薄膜载具的位置进行扩膜工作；当所述扩膜装置下降远离所述薄膜载具时，所述上压板组件上升，所述夹取装置夹取所述薄膜载具，并从所述首端滑动至所述尾端，以将所述薄膜载具送离所述上压板组件。
[0005]其中，所述夹取装置包括夹持悬臂、悬臂固定件、夹取机构，所述悬臂固定件沿着所述首端至所述尾端的方向与所述基座滑动连接，所述夹持悬臂安装于所述悬臂固定件上，所述夹取机构安装于所述夹持悬臂上，所述夹取机构用以夹持所述薄膜载具。
[0006]其中，所述夹取装置还包括第一驱动机构，所述第一驱动机构安装于所述基座上，所述第一驱动机构控制所述夹取装置夹取所述薄膜载具且所述第一驱动机构驱动所述夹取装置沿所述首端至所述尾端的方向移动。
[0007]其中，所述上压板组件包括顶板、盖板、多个第一滑轮和一对承载件，所述顶板设于所述基座上，多个所述第一滑轮固定于所述顶板朝向所述基座的一侧，所述盖板安装在所述顶板上，且多个所述第一滑轮与所述盖板转动连接，所述承载件安装在所述盖板朝向所述基座的一侧，所述承载件具有抵持面，所述薄膜载具抵接于所述抵持面上，所述抵持面平行于所述夹取装置的运动方向，所述承载件用于承接所述薄膜载具。
[0008]其中，所述上压板组件还包括导向件，所述导向件固定于所述顶板朝向所述基座的一面，所述导向件设于所述顶板靠近所述尾端的一侧，所述导向件与所述承载件设置在同一水平线上。
[0009]其中，所述晶圆贴装供料设备还包括升降装置和第二驱动机构，所述升降装置安装在所述基座上，所述第二驱动机构安装于所述基座上，所述第二驱动机构控制所述升降
装置带动所述上压板组件上升或下降。
[0010]其中，所述扩膜装置包括扩膜器、内环座、外环座、多个第二滑轮和驱动所述内环座升降的传动组件，多个所述第二滑轮固定于所述基座背向所述上压板组件的一面，所述内环座安装在所述基座上，多个所述第二滑轮环设于所述外环座周侧，且多个所述第二滑轮与所述外环座转动连接，所述外环座环套设于所述内环座，所述扩膜器固定于所述内环座朝向所述上压板组件的一端，所述传动组件包括固定在所述外环座上的滚轮以及开设于所述内环座向上倾斜的旋转槽，所述外环座转动带动所述滚轮沿着所述旋转槽运动，以实现所述内环座升降。
[0011]其中，所述扩膜装置还包括第三驱动机构，所述第三驱动机构安装在所述基座上，所述第三驱动机构控制所述外环座转动。
[0012]其中，所述晶圆贴装供料设备还包括连接装置，所述连接装置的一端固定于所述盖板，所述连接装置的另一端固定于所述扩膜装置，以使得当所述扩膜装置转动时，所述扩膜装置带动所述盖板进行同步转动。
[0013]其中，所述晶圆贴装供料设备还包括卡持组件，所述卡持组件设于所述基座上，所述卡持组件用于限制所述内环座转动。
[0014]本申请中，通过将所述抓取装置与所述扩膜装置和所述上压板组件设置成一体结构，使得所述抓取装置有可以在所述上压板组件与所述扩膜装置之间移动穿梭，且规避了所述上压板组件需要开口放料的问题，保证了扩膜张力的均衡性，同时解决了传统设计中将所述夹取装置外置设计的问题，减少了所述抓取装置占用空间，提高了所述晶圆贴装供料设备的工作效率。
附图说明
[0015]图1为本申请提供的晶圆贴装供料设备结构示意图。
[0016]图2为本申请提供的晶圆贴装供料设备结构分解示意图。
[0017]图3为本申请提供的晶圆贴装供料设备结构另一种分示意图。
[0018]图4为本申请提供的上压板组件结构分解示意图。
[0019]图5为图4的局部放大示意图。
[0020]图6为本申请提供的晶圆贴装供料另一种分示意图。
[0021]图7为本申请提供的扩膜装置结构示意图。
[0022]图8为本申请提供的晶圆贴装供料另一种分示意图。
[0023]图9为本申请提供的晶圆贴装供料另一种分示意图。
具体实施方式
[0024]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本技术的一部分实施例，而不是全部实施例。基于本技术的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都应属于本技术保护的范围。
[0025]请参阅图1至图2，本申请提供了一种晶圆贴装供料设备1包括基座10，所述基座10具有首端11和尾端12；扩膜装置20，可升降地连接于所述尾端12；上压板组件30，所述上压
板组件30设于所述基座10上；薄膜载具50，所述薄膜载具50滑动连接于所述上压板组件30；夹取装置40，所述夹取装置40滑动连接于所述基座10上，并在所述首端11至尾端12的位置来回滑动；当所述夹取装置40滑动至所述首端11时，所述薄膜载具50滑动至与所述扩膜装置20正对的位置，所述夹取装置40与所述薄膜载具50分离，所述上压板组件30下降，所述扩膜装置20上升至靠近所述薄膜载具50的位置进行扩膜工作；当所述扩膜装置20下降远离所述薄膜载具50时，所述上压板组件30上升，所述夹取装置40夹取所述薄膜载具50，并从所述首端11滑动至所述尾端12，以将所述薄膜载具50送离所述上压板组件30。
[0026]具体的，所述基座10呈矩形块状，所述基座10的尾端12开设有第一收容槽10a，所述第一收容槽10a为圆形，所述扩膜装置20安装于所述第一收容槽10a内，所述扩膜装置20沿着所述收容槽的轴向方向进行可升降运动的扩膜工作，所述上压板组件30也沿着所述第一收容槽10a的轴向方向进行可升降运动，所述薄膜载具50设在所述上压板组件30与所述基座10之间，所述薄膜载具50为蓝膜钢圈，所述夹取装置40可抓取所述薄膜载具50于所述基座10的首端11滑动至所述基座10的尾端12。
[0027]当所述夹取装置40从物料仓（未图示）中夹取一个所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆贴装供料设备，其特征在于，包括：基座，所述基座具有首端和尾端；扩膜装置，可升降地连接于所述尾端；上压板组件，所述上压板组件设于所述基座上；薄膜载具，所述薄膜载具滑动连接于所述上压板组件；夹取装置，所述夹取装置滑动连接于所述基座上，并在所述首端至尾端的位置来回滑动；当所述夹取装置滑动至所述首端时，所述薄膜载具滑动至与所述扩膜装置正对的位置，所述夹取装置与所述薄膜载具分离，所述上压板组件下降，所述扩膜装置上升至靠近所述薄膜载具的位置进行扩膜工作；当所述扩膜装置下降远离所述薄膜载具时，所述上压板组件上升，所述夹取装置夹取所述薄膜载具，并从所述首端滑动至所述尾端，以将所述薄膜载具送离所述上压板组件。2.根据权利要求1所述晶圆贴装供料设备，其特征在于，所述夹取装置包括夹持悬臂、悬臂固定件、夹取机构，所述悬臂固定件沿着所述首端至所述尾端的方向与所述基座滑动连接，所述夹持悬臂安装于所述悬臂固定件上，所述夹取机构安装于所述夹持悬臂上，所述夹取机构用以夹持所述薄膜载具。3.根据权利要求2所述晶圆贴装供料设备，其特征在于，所述晶圆贴装供料设备还包括第一驱动机构，所述第一驱动机构安装于所述基座上，所述第一驱动机构控制所述夹取装置夹取所述薄膜载具且所述第一驱动机构驱动所述夹取装置沿所述首端至所述尾端的方向移动。4.根据权利要求1所述晶圆贴装供料设备，其特征在于，所述上压板组件包括顶板、盖板、多个第一滑轮和一对承载件，所述顶板设于所述基座上，多个所述第一滑轮固定于所述顶板朝向所述基座的一侧，所述盖板安装在所述顶板上，且多个所述第一滑轮与所述盖板转动连接，所述承载件安装在所述盖板朝向所述基座的一侧，所述承载件具有抵持面，所述薄膜载具抵接于所述抵持面上，所述抵持面平行于所述夹取装置的运动方向，所述承载件用于承接所述薄膜载具。5.根据权利要求4所述晶圆贴装供料设...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈鸣，陈洁，丁晓华，周翔，
申请(专利权)人：东莞市鹰眼在线电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：