一种半自动固化炉惰性气体监测系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种半自动固化炉惰性气体监测系统，包括与各半自动固化炉内腔连通的监测分管路，与各监测分管路连接的监测主管路，设置在监测主管路端部的气体浓度检测传感器所述监测分管路上设置有用于控制气体通断的继电器开关，还设置有用于控制继电器开关通断的四路时间控制切换器；所述气体浓度检测传感器连接设置有报警装置。本实用新型专利技术能够通过一个气体浓度检测传感器实现对多个半自动固化炉内惰性气体浓度的监测并及时报警，从而保证石英晶体谐振器加工的质量，可广泛应用于石英晶体谐振器加工技术领域。英晶体谐振器加工技术领域。英晶体谐振器加工技术领域。

【技术实现步骤摘要】
一种半自动固化炉惰性气体监测系统


[0001]本技术涉及石英晶体元件制造领域，尤其是涉及一种半自动固化炉惰性气体监测系统。

技术介绍

[0002]石英晶体谐振器在制造过程中，需通过半自动固化炉使产品基座(PKG)与晶片结合在一起，从而保证它的电气特性。固化炉工作原理是产品通过皮带传送进入炉膛。通过六次不同温区的加热使基座与晶片(晶片上有银层)之间的导电胶充分反应，达到充分粘合的效果。每段温区通过贮热板加热；贮热板上有通孔；对贮热板上的通孔吹出的高温热氮气通过流性变速后到达产品表面，并且由于热传递将高温气体中热量交换至炉膛中，以保证设备内的不同加热温区内温度的均一性。
[0003]半自动固化炉在固化时，炉膛内需要封入惰性气体(氮气)来保护晶片(晶片上有银层)；防止晶片上的银层在高温固化过程中被氧化，产品的电气特性被破坏。
[0004]半自动固化炉在固化过程中，设备内部惰性气体(氮气)的浓度是没有监视的。当设备内部的惰性气体(氮气)的浓度达不到制作的工艺要求时，不仅基座(PKG)内部的元、器件会受损；使制品的电气特性被破坏。而且使晶片上的银层也会被氧化，导致发黄、发黑；影响产品外观。因此管控设备内部惰性气体(氮气)的浓度对制品的电气特性及外观起很重要的作用。且目前车间内一般都有多台半自动固化炉，为节省成本，需要设计一款同时对多台半自动固化炉内惰性气体进行监测的系统，以保证在生产加工过程中半自动固化炉内惰性气体的浓度，从而保证石英晶体谐振器加工的质量。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是提供一种半自动固化炉惰性气体监测系统，解决现有半自动固化炉内内氮气浓度无法监测的问题。
[0006]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种半自动固化炉惰性气体监测系统，包括与各半自动固化炉内腔连通的监测分管路，与各监测分管路连接的监测主管路，设置在监测主管路端部的气体浓度检测传感器所述监测分管路上设置有用于控制气体通断的继电器开关，还设置有用于控制继电器开关通断的四路时间控制切换器；所述气体浓度检测传感器连接设置有报警装置。
[0007]为便于观察气体浓度检测传感器是对哪一条监测分管路进行检测，所述监测分管路上还设置有监测气体通过的放气指示灯。
[0008]为减小检测的误差，同时，提高气体浓度检测传感器的使用寿命，所述监测主管路上还设置有微粒过滤器和用于过滤可燃性气体、油分和蒸汽的专用过滤器。
[0009]优选的，所述气体浓度检测传感器为惰性气体浓度检测传感器或氧浓度检测传感器。
[0010]进一步的，所述监测分管路在每个半自动固化炉上沿长度方向设置有多根。
[0011]本技术的有益效果：本技术通过一个气体浓度检测传感器即可实现车间内多个半自动固化炉内惰性气体浓度的间断性监测，当半自动固化炉内惰性气体浓度低于要求值时，报警装置即会报警，提醒操作人员进行查看并及时检修，从而提高石英晶体谐振器加工的质量。所述监测分管路上的时间继电器开关可设定通断的时间，合理分配时间间隔，使各监测分管路按一定顺序先后导通进行检测。所述放气指示灯能够使工作人员直观的看到目前检测的是那条监测分管路的气体浓度。
[0012]以下将结合附图和实施例，对本技术进行较为详细的说明。
附图说明
[0013]图1为本技术的结构示意图。
具体实施方式
[0014]实施例，如图1所示，一种半自动固化炉惰性气体监测系统，用于监测车间内各半自动固化炉10内腔中惰性气体的浓度，此处惰性气体为氮气。在正常使用情况下，氮气充满整个炉腔。该半自动固化炉惰性气体监测系统包括与各半自动固化炉10内腔连通的监测分管路1，与各监测分管路1连接的监测主管路2，设置在监测主管路2端部的气体浓度检测传感器3。
[0015]所述每个半自动固化炉对应至少设置一根监测分管路1，也可以沿长度方向设置有多根监测分管路1分别对各区域进行监测。所述监测分管路1上设置有用于控制气体通断的继电器开关4和放气指示灯6，所述放气指示灯6当有气体通过时即点亮。所述继电器开关4为二位二通电磁阀，并设置有控制继电器开关4通断的四路时间控制切换器9，通过四路时间控制切换器9控制每个时间继电器开关4的通断。所述四路时间控制切换器9为可编程时间继电器,可设定定时时间(步长)，每组时间内4路继电器开关，输出可任意设定为吸合或释放状态，4路继电器按设定(编程)的顺序动作，可实现4路负载联动、轮流运行、类似PLC的顺序控制等功能。四路时间控制切换器9分别单独控制信号线由低电平变为高电平(上升沿)时触发启动。高电平控制继电器开关4打开，放气指示灯6亮。低电平控制继电器开关4关闭，放气指示灯不亮。
[0016]所述气体浓度检测传感器3为惰性气体浓度检测传感器或氧浓度检测传感器。可以通过惰性气体浓度检测传感器直接检测惰性气体浓度，也可以通过氧浓度检测传感器检测气体中氧气的浓度，间接判断设备是否漏气和惰性气体浓度。所述气体浓度检测传感器3连接设置有报警装置5，当检测到惰性气体浓度低于设定值时，报警装置5报警，提醒工作人员及时解决。所述报警装置5可以是蜂鸣器、警报灯等设备。
[0017]为保证检测的准确性和提高气体浓度检测传感器3的使用寿命，所述监测主管路2上还设置有微粒过滤器7和用于过滤可燃性气体、油分和蒸汽的专用过滤器8。微粒过滤器7用于清除气体中的细小微粒。
[0018]以上结合附图对本技术进行了示例性描述。显然，本技术具体实现并不受上述方式的限制。只要是采用了本技术的方法构思和技术方案进行的各种非实质性的改进；或未经改进，将本技术的上述构思和技术方案直接应用于其它场合的，均在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半自动固化炉惰性气体监测系统，其特征在于：包括与各半自动固化炉内腔连通的监测分管路(1)，与各监测分管路(1)连接的监测主管路(2)，设置在监测主管路(2)端部的气体浓度检测传感器(3)；所述监测分管路(1)上设置有用于控制气体通断的继电器开关(4)，还设置有用于控制继电器开关(4)通断的四路时间控制切换器(9)；所述气体浓度检测传感器(3)连接设置有报警装置(5)。2.如权利要求1所述的半自动固化炉惰性气体监测系统，其特征在于：所述监测分管路(1)上还设置...

【专利技术属性】
技术研发人员：程浩，王文博，詹超，金春建，
申请(专利权)人：黄山东晶电子有限公司，
类型：新型
国别省市：