【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种用于基板处理设施的。技术背景这样的， 一边将收纳容器保管于收纳架上， 一边借助 收納容器搬运装置将保管的收纳容器搬运到基板处理装置各自的基板 输入输出部，所述收纳容器将在液晶显示器或等离子显示器中使用的玻 璃基板等基板以在上下方向上隔开间隔地排列的状态保持多张，由此， 利用多个基板处理装置对收纳在该收納容器中的基板依次进行涂敷、曝 光及显影等既定的处理，而制造处理完的基板，在相对于基板处理装置 搬运到基板输入输出部时，因基板处理装置的处理量的差别，在基板的时保管在收:架上。 '工 ' '、在这样的中，以往，具有搬运区域用的净化空气通风 机构，为了维持被基板搬运装置在基板输入输出部和基板处理装置之间 搬运基板的基板搬运区域的清净度而使净化空气进行通风，将收纳容器 形成为横向放倒姿势的四方筒状，将该收纳容器的一端侧的开口设为基 板输入输出用的输入输出口 ，在收纳容器的另一端侧的开口部上装备有 从收纳容器的另一端侧的开口朝向输入输出口通风的风扇过滤单元，在 由收纳容器搬运装置搬运时，利用风扇过滤单元进行通风，来维持基板的清净度，并且，在基板输...
【技术保护点】
一种基板处理方法，用于基板处理设施，前述基板处理设施包括：多个基板处理装置，用于处理基板；收纳容器，将前述基板以在上下方向上隔开间隔地排列的状态保持多张，前述收纳容器形成为整体具有四边形的截面的筒状，即具有其一端侧的第１开口、和在水平方向上与前述第１开口隔开间隔的另一端侧设置的第２开口，前述第１开口构成为用于输入输出前述基板的输入输出口，这里，前述收纳容器具有装备在前述收纳容器的前述第２开口的区域而从前述第２开口朝向前述第１开口通风的风扇过滤单元，进而在前述收纳容器的输入输出口部装备有对前述收纳容器的前述输入输出口进行开闭的盖，在关闭状态下一部分设为开口，且在打开状态下容许...
【技术特征摘要】
JP 2006-9-13 2006-2481711. 一种基板处理方法，用于基板处理设施，前述基板处理设施包括多个基板处理装置，用于处理基板；收纳容器，将前述基板以在上卞方向上隔开间隔地排列的状态保持 多张，前述收纳容器形成为整体具有四边形的截面的筒状，即具有其一 端侧的第1开口 、和在水平方向上与前述第1开口隔开间隔的另一端侧 设置的第2开口，前述第1开口构成为用于输入输出前述基板的输入输 出口，这里，前述收纳容器具有装备在前述收纳容器的前述第2开口的 区域而从前述第2开口朝向前述第1开口通风的风扇过滤单元，进而在 前述收纳容器的输入输出口部装备有对前述收纳容器的前述输入输出 口进行开闭的盖，在关闭状态下一部分设为开口 ，且在打开状态下容许 前述基板搬运装置搬运前述基板；收納架，具有收纳前述收纳容器的多个收納部；基板输入输出部，分别与多个前述基板处理装置对应；基板搬运装置，从位于前述基板输入输出部的前述收纳容器向前述 基板处理装置供给基板，并将从前述基板处理装置搬出的基板收纳到位 于前述基板输入输出部的前述收纳容器中；以及收纳容器搬运装置，将前述收纳容器搬运到前述多个基板处理装置 各自的前述基板输入输出部和前述收纳架的前述收納部；通过将前述收纳容器保管到前述收纳架上，并将保管的前述收纳容 器依次搬运到前述多个基板处理装置的前述基板输入输出部，而利用多 个前述基板处理装置依次处理前述基板，来制造处理完的基板，前述基 板处理方法包4舌以下步骤在保管在前述收纳架时以及由前述收纳容器搬运装置搬运时，将前 述收納容器的前述盖设为关闭...
【专利技术属性】
技术研发人员：森屋进，池畑淑照，
申请(专利权)人：株式会社大福，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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