【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种基板收纳设备，包括： 收纳容器，将基板以在上下方向上隔开间隔地配置的状态保持多张； 收纳架，具有收纳前述收纳容器的多个收纳部； 前述收纳容器的入库出库部； 收纳容器搬运装置，在前述收纳架的前方的移动空间内沿架横宽方向行进，并且，在前述入库出库部和前述收纳部之间搬运前述收纳容器； 控制机构，控制前述收纳容器搬运装置的动作； 其特征在于， 前述收纳容器形成为整体具有四边形的截面的筒状，即具有其一端侧的第１开口、和在水平方向上与前述第１开口隔开间隔的另一端侧设置的第２开口，前述第１开口构成为用于输入输出前述基板的输入输出口，具备装备在...
【技术特征摘要】
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