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用于基板处理设施的基板处理方法，在保管在收纳架时以及由收纳容器搬运装置搬运时，将收纳容器的盖设为关闭状态，利用风扇过滤单元进行通风；并且在基板输入输出部中由基板搬运装置搬运基板时，将收纳容器的盖设为打开状态，利用风扇过滤单元进行通风。...
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