本申请提供一种清洁装置及检测设备。清洁装置包括安装板、吹气组件及集气组件。吹气组件连接于安装板，吹气组件包括吹扫件及喷嘴，喷嘴安装于吹扫件，喷嘴用于通过吹扫件朝待处理件的待处理区域提供气体。集气组件连接于安装板，集气组件包括集气件及吸嘴，吸嘴安装于集气件，吸嘴用于通过集气件收集吹扫过待处理区域的气体，吹气组件和集气组件中的至少一个可相对安装板运动。本申请的清洁装置及检测设备中，吹气组件及集气组件均安装于安装板，且吹气组件及集气组件中的至少一个可相对安装板运动，从而实现吹气组件和集气组件的灵活调节，便于对待处理区域进行灵活可调的清扫，实现灵活的吹气效果和吸气效果，有效提高清洁装置的清洁效率。置的清洁效率。置的清洁效率。
【技术实现步骤摘要】
清洁装置及检测设备
[0001]本申请涉及半导体检测
，更具体而言，涉及一种清洁装置及检测设备。
技术介绍
[0002]光学检测具有高灵敏性、高精度以及非接触等特点，在半导体工艺检测行业占有越来越重要的地位。光学检测中采用光源照射在待处理件(如晶圆)表面，并通过工业照相机拍摄待处理件的微观特征，生成图像信息，然后将该图像信息传给图像处理系统以实现待处理件特征的自动识别。为了减少待处理件表面的颗粒可能带来的误检，一般通过“一吹一吸”将颗粒带走，达到对待处理件表面的清洁。但此种方法存在弊端，即喷气装置和集气装置的调节方式较为死板，无法进行灵活的调节，尤其是当待处理件与喷气装置和集气装置之间的位置有变动时，采用上述方法中的吹气和吸气方式并不能很好的对待处理件的待处理区域进行吹扫，极大地降低了工作效率。
技术实现思路
[0003]本申请实施方式提供一种清洁装置及检测设备。
[0004]本申请实施方式的清洁装置包括安装板、吹气组件及集气组件。所述吹气组件连接于所述安装板，所述吹气组件包括吹扫件及喷嘴，所述喷嘴安装于所述吹扫件，所述喷嘴用于通过所述吹扫件朝待处理件的待处理区域提供气体。所述集气组件连接于所述安装板，所述集气组件包括集气件及吸嘴，所述吸嘴安装于所述集气件，所述吸嘴用于通过所述集气件收集吹扫过所述待处理区域的所述气体，所述吹气组件和所述集气组件中的至少一个可相对所述安装板运动。
[0005]在某些实施方式中，所述吹气组件能够相对所述安装板直线移动；所述集气组件能够相对所述安装板直线移动。其中，在所述吹气组件和所述集气组件中的至少一个相对所述安装板移动的过程中，至少部分所述集气组件与所述吹气组件相对。
[0006]在某些实施方式中，所述吹气组件能够相对所述安装板直线移动；所述集气组件能够环绕所述待处理区域的中心相对所述安装板曲线移动。其中，在所述吹气组件和所述集气组件中的至少一个相对所述安装板移动的过程中，至少部分所述集气组件与所述吹气组件相对。
[0007]在某些实施方式中，所述吹气组件能够环绕所述待处理区域的中心相对所述安装板曲线移动；所述集气组件能够相对所述安装板直线移动。其中，在所述吹气组件和所述集气组件中的至少一个相对所述安装板移动的过程中，至少部分所述集气组件与所述吹气组件相对。
[0008]在某些实施方式中，所述吹气组件能够环绕所述待处理区域的中心相对所述安装板曲线移动；所述集气组件能够环绕所述待处理区域的中心相对所述安装板曲线移动。其中，在所述吹气组件和所述集气组件中的至少一个相对所述安装板移动的过程中，至少部分所述集气组件与所述吹气组件相对。
[0009]在某些实施方式中，所述吹气组件和所述集气组件均能够相对所述安装板左右转动或俯仰转动，其中，在所述吹气组件和所述集气组件中的至少一个相对所述安装板转动的过程中，至少部分所述集气组件与所述吹气组件相对。
[0010]在某些实施方式中，所述喷嘴以预设的喷气方式朝所述待处理区域提供气体。及所述吸嘴以预设的吸气方式收集吹扫过所述待处理区域的所述气体。
[0011]在某些实施方式中，所述喷气方式包括喷气速度、喷气模式和喷气方向中的一种或多种组合；和/或所述吸气方式包括吸气速度、吸气模式和吸气方向中的一种或多种组合；其中，所述喷气速度和所述吸气速度包括匀速和变速，所述喷气模式和所述吸气模式包括连续性喷气/吸气和间歇性喷气/吸气，所述喷气方向和所述吸气方向包括方向固定及方向可调，所述间歇性喷气/吸气包括间断时间固定式喷气/吸气和间断时间变化式喷气/吸气。
[0012]在某些实施方式中，所述吹扫件包括相背的第一侧和第二侧，所述喷嘴安装于所述第一侧，所述吹气组件还包括挡板，所述挡板位于所述第二侧，所述挡板与所述吹扫件为一体结构。
[0013]在某些实施方式中，所述吹扫件包括相背的第一侧和第二侧，所述喷嘴安装于所述第一侧，所述吹气组件还包括挡板，所述挡板位于所述第二侧，所述挡板与所述吹扫件为分体结构。
[0014]在某些实施方式中，当所述挡板与所述吹扫件为分体结构时，所述挡板能够沿所述气体从所述吹扫件吹出后的气体路径移动或转动。
[0015]在某些实施方式中，所述第一侧上开设有开孔，所述开孔用于与所述喷嘴配合，所述开孔的数量包括多个，多个所述开孔间隔设置。
[0016]在某些实施方式中，所述集气件包括迎风部，所述迎风部设有多个吸气口，多个所述吸气口等间距排布。
[0017]在某些实施方式中，所述集气件包括迎风部，所述迎风部设有多个吸气口，多个所述吸气口变间距排布。
[0018]在某些实施方式中，所述吸气口与所述吸嘴配合，所述吸嘴的数量包括多个，多个所述吸嘴均不相同。
[0019]在某些实施方式中，所述吸气口与所述吸嘴配合，所述吸嘴的数量包括多个，多个所述吸嘴均相同。
[0020]在某些实施方式中，所述清洁装置还包括吹气管路，所述吹气管路包括正压气源、第一过滤件、第二过滤件、第一电磁阀及第一调速阀。所述正压气源用于为所述吹扫组件提供气体。所述第一过滤件用于对所述正压气源提供的气体进行洁净过滤。所述第二过滤件用于对通过所述第一过滤件后的气体进行洁净过滤。所述第一电磁阀的一端与所述第一过滤件连接，所述第一电磁阀的另一端与所述第二过滤件连接，并用于控制吹气管路的断开与连通。所述第一调速阀的一端与所述第二过滤件连接，所述第一调速阀的另一端与所述喷嘴连接，并用于控制通过所述第二过滤件后进入所述喷嘴的气体的流速。
[0021]在某些实施方式中，所述清洁装置还包括吸气管路，所述吸气管路包括负压气源、第二调速阀及第二电磁阀。所述负压气源用于为所述吸嘴提供负压。所述第二调速阀的一端与所述吸嘴连接，并用于控制通过所述吸嘴的气体的流速。所述第二电磁阀的一端与所
述第二调速阀连接，所述第二电磁阀的另一端与所述负压气源连接，所述第二电磁阀用于控制吸气管路的断开与连通。
[0022]本申请实施方式的检测设备包括检测装置及上述任意一实施方式所述的清洁装置。所述检测装置包括检测探头及光源，所述光源用于朝待处理件的待处理区域发射光束，所述光束经所述待处理区域后形成信号光，所述检测探头用于收集所述信号光，形成检测信息。所述清洁装置位于所述检测探头及所述待处理件之间，所述清洁装置用于去除所述待处理区域的异物。
[0023]在某些实施方式中，所述检测设备还包括固定结构，所述固定结构连接所述检测探头及所述安装板，外接的驱动件驱动所述固定结构以带动所述检测探头与安装板同步运动，所述安装板带动安装于所述安装板上的吹气组件及集气组件同步运动。
[0024]本申请的清洁装置及检测设备中，吹气组件及集气组件均安装于安装板，且吹气组件及集气组件中的至少一个可相对安装板运动，从而实现吹气组件和集气组件的灵活调节，便于对待处理区域进行灵活可调的清扫，实现灵活的吹气效果和吸气效果，有效提高清洁装置的清洁效率。
[0025]本申请的实施方式的附加方面和优点将在下面本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种清洁装置，其特征在于，包括：安装板；吹气组件，所述吹气组件连接于所述安装板，所述吹气组件包括吹扫件及喷嘴，所述喷嘴安装于所述吹扫件，所述喷嘴用于通过所述吹扫件朝待处理件的待处理区域提供气体；及集气组件，所述集气组件连接于所述安装板，所述集气组件包括集气件及吸嘴，所述吸嘴安装于所述集气件，所述吸嘴用于通过所述集气件收集吹扫过所述待处理区域的所述气体，所述吹气组件和所述集气组件中的至少一个可相对所述安装板运动。2.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述吹气组件能够相对所述安装板直线移动；或所述吹气组件能够环绕所述待处理区域的中心相对所述安装板曲线移动；及所述集气组件能够相对所述安装板直线移动；或所述集气组件能够环绕所述待处理区域的中心相对所述安装板曲线移动；其中，在所述吹气组件和所述集气组件中的至少一个相对所述安装板移动的过程中，至少部分所述集气组件与所述吹气组件相对。3.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述吹气组件和所述集气组件均能够相对所述安装板左右转动或俯仰转动，其中，在所述吹气组件和所述集气组件中的至少一个相对所述安装板转动的过程中，至少部分所述集气组件与所述吹气组件相对。4.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述喷嘴以预设的喷气方式朝所述待处理区域提供气体；及所述吸嘴以预设的吸气方式收集吹扫过所述待处理区域的所述气体。5.根据权利要求4所述的清洁装置，其特征在于，所述喷气方式包括喷气速度、喷气模式和喷气方向中的一种或多种组合；和/或所述吸气方式包括吸气速度、吸气模式和吸气方向中的一种或多种组合；其中，所述喷气速度和所述吸气速度包括匀速和变速，所述喷气模式和所述吸气模式包括连续性喷气/吸气和间歇性喷气/吸气，所述喷气方向和所述吸气方向包括方向固定及方向可调，所述间歇性喷气/吸气包括间断时间固定式喷气/吸气和间断时间变化式喷气/吸气。6.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述吹扫件包括相背的第一侧和第二侧，所述喷嘴安装于所述第一侧，所述吹气组件还包括挡板，所述挡板位于所述第二侧，所述挡板与所述吹扫件为一体结构；或者所述挡板与所述吹扫件为分体结构。7.根据权利要求6所述的清洁装置，其特征在于，当所述挡板与所述吹扫件为分体结构时，所述挡板能够沿所述气体从所述吹扫件吹出后的气体路径移动或转...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈鲁，范铎，张鹏斌，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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