高架行进和输送装置制造方法及图纸

一种高架行进和输送系统（１），设有用于沿着轨道（１０）行进的输送台车（２０）。该台车具有适于把持被输送物体（８０）的把持机构（２２）、适于将所述把持机构向下移动到用于被输送物体的装载端口（９２）的升降机构（２４），以及传感器（３０），用于在伪平面内发射光束，并且接收所发射光束的反射光。该系统还设有：监视器件（４７），用于基于由该传感器所接收到的反射光监视在所发射光束的发射方向中存在的障碍物；以及选择器件（４１），用于通过选择发射方向和／或选择所述监视器件的监视区域而建立一种状态，使得如果所述输送台车在行进中，则在沿着行进方向的前方存在的障碍物被监视，并且建立另一种状态，使得如果所述把持机构向下移动，则从所述输送台车向下存在的障碍物被所述监视器件监视。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种高架行进和输送装置，用于如此抓持被输送物体， 即该设备能够沿着被输送物体上下移动，并且用于沿着安装在工厂等 中的天花板上或其附近的轨道行进。这里，被输送物体表示一种 产品、中间产品、部件、物品、工件、部分制成品、商品等，或者表 示用于容纳这种产品的盒子或者容器等，该盒子或者容器已经被或者 将被该装置进行输送。
技术介绍
例如在半导体器件的制造设备中，利用高架行进和输送装置。该 装置设有输送台车。输送台车通过沿着安装在天花板上或其附近的轨 道或者导轨行进而在不同的半导体制造装置之间行进，同时输送台车利用能够沿着FOUP (Front Opening Unified Pod:前端开启式晶圆传送 盒)上下移动的把持器抓持或者把持在其中容纳半导体晶片的FOUP。 半导体制造装置的主体置于轨道之下及其附近中，从而半导体制造装 置的装载端口位于轨道正下方。因此，输送台车在半导体制造装置的 装载端口上方停止，在其上装载或者放置从现在起将被输送的FOUP， 然后沿着把持器向下移动从而把持FOUP，并且然后沿着把持器向上移 动，从而输送台车能够回收或者占据FOUP。已经回收FOUP的输送台 车行进到另一个半导体制造装置以用于执行下一过程。在另一方面， 输送台车在半导体制造装置的装载端口的上方停止，并且然后沿着当 前正在把持FOUP的把持器向下移动，从而输送台车能够将FOUP装 载到装载端口上。在上述高架行进和输送装置的输送台车中，沿着行进方向在前表 面处装备向前监视传感器，它沿着行进方向向前发射光束并且接收其 反射光，从而在沿着轨道行进时探测沿着行进方向在前面的障碍物，如日本专利申请公开文件No.2002-132347(特别是其图2)中所公开地。 在另一方面，在输送台车中，装备向下监视传感器，其发射用于在输 送台车之下扫描的光束并且接收其反射光，从而探测在输送台车之下 的障碍物，如日本专利申请公开文件No.2001-213588 (特别是其图l) 中所公开地。由此，当从半导体制造装置的装载端口取起FOUP时， 和/或当将FOUP装载到装载端口上时，可能防止把持器接触位于把持 器的上下移动路径中的障碍物。
技术实现思路
如上所述，在高架行进和输送装置的输送台车中，要求装备很多 传感器，例如用于探测沿着行进方向的前方障碍物的向前监视传感器， 用于探测输送台车之下的障碍物的向下监视传感器等。因此，这产生 一个问题，即输送台车的结构变得复杂，并且成本增加。因此本专利技术的一个目的在于提供一种高架行进和输送装置，其能 够以较低的成本探测沿着输送台车的行进方向的前方障碍物和位于输 送台车之下的障碍物。通过一种高架行进和输送系统能够实现本专利技术的上述目的，所述 系统包括安装在天花板上或其附近的轨道；用于沿着所述轨道行进 并且由其引导的输送台车，所述输送台车具有(i)适于把持被输送物 体的把持机构，(ii)适于将所述把持机构向下移动到用于被输送物体 的装载端口的升降机构，以及(iii)传感器，其用于在垂直的并且平行 于所述输送台车的行进方向的伪平面的表面中发射光束，并且用于接 收所发射光束的反射光；监视器件，用于基于由所述传感器所接收到 的反射光监视在所发射光束的发射方向中存在的障碍物；以及选择器 件，用于通过选择发射方向和/或选择所述监视器件的监视区域而(i) 建立一种状态，使得如果所述输送台车在行进中，则沿着行进方向存 在的前方障碍物被所述监视器件监视，并且(ii)建立另一种状态，使得如果所述把持机构向下移动，则从所述输送台车向下存在的障碍物 被所述监视器件监视。根据本专利技术，选择器件以如下所述方式控制传感器。即，当输送 台车行进时，沿着输送台车的行进方向向前发射光束。在把持机构向 下移动时，从输送台车向下发射光束。在任一情形中，监视器件沿着 发射方向进行监视。可替代地，传感器的光束总是沿着包括输送台车 的向前行进方向和从输送台车向下的方向被发射(其中光束的发射方 向可被连续地转变)。此时，选择器件控制监视器件以(i)当输送台 车行进时，沿着光束的发射方向进行监视，该光束沿着输送台车的行 进方向向前发射，并且(ii)当把持机构向下移动时，沿着光束的发射 方向进行监视，该光束从输送台车向下发射。因此，通过仅仅一个传 感器，当输送台车行进时，能够执行对可能沿着行进方向存在的前方 障碍物的探测，并且当把持机构向下移动时，能够执行对从输送台车 向下可能存在的障碍物的探测。因此，能够以低成本实现对沿着行进 方向的前方障碍物的探测和从输送台车往下的障碍物的探测。在本专利技术的一个方面中，通过选择监视区域而不改变发射方向， 所述选择器件建立所述的一种或者另一种状态。根据这个方面，可能实现沿着行进方向的前方监视和下方监视， 而无需改变光束的发射方向。在本专利技术的另一个方面中，在由所述升降机构向下移动的所述把 持机构的路径上，该伪平面不与所述路径交迭。根据这个方面，通过釆用伪平面能够实现下方探测，该伪平面并 不交迭向下移动的把持机构的路径。该伪平面可以优选地设置在向下 移动的把持机构的路径的附近或者邻近该路径。在这个方面中，相对于所述把持机构的路径，该伪平面可以位于 具有装载端口的制造或者加工装置的主体的相对侧上。通过如此进行构造，当然能够监视在把持机构的相对侧(例如在 实施例中的近侧)上可能存在的障碍物。尤其是，可能避免把持机构 或者FOUP自身被探测成为下方监视区域中的障碍物，即使在把持机 构的向下运动期间继续进行下方监视。换言之，能够不仅在向下移动 的把持机构的运动之前，而且还可在其运动期间执行下方监视。而且， 因为无需监视把持机构所通过的整个区域，因此下方监视区域可被显 著减小并且能够简单地和容易地执行下方监视。在本专利技术的另一个方面中，所述传感器发射用于在伪平面中扫描 的光束，并且所述选择器件通过所述传感器选择被发射光束的扫描区 域或者通过所述监视器件选择监视区域而不改变扫描区域。根据这个方面，选择器件以如下方式控制传感器。即，当输送台 车行进时，扫描区域沿着输送台车的行进方向位于前方。当把持机构 向下移动时，扫描区域位于输送台车的下方。在任一情形中，监视器 件在扫描区域中进行监视。可替代地，扫描区域包括输送台车的向前 行进方向和从输送台车向下的方向。此时，选择器件控制监视器件以 (i)当输送台车行进时，在沿着输送台车的行进方向向前的扫描区域 中进行监视，并且(ii)当把持机构向下移动时，在从输送台车向下的 扫描区域中进行监视。因此，与监视器件沿着仅仅沿一个方向发射的 光束的发射方向进行监视的情形相比，可能监视更广或者更宽的范围。在涉及扫描区域的这个方面中，当所述输送台车行进时，在扫描 区域内，所述监视器件可以监视位于所述输送台车通过的路径中的障 碍物。通过以如此方式进行构造，可能避免当输送台车行进时位于输送台车的路径之外的探测物体被错误地探测为障碍物。在涉及扫描区域的这个方面中，当所述把持机构向下移动时，在 扫描区域内，所述监视器件可以监视位于所述把持机构向下移动的路 径中的障碍物。通过以如此方式进行构造，能够避免当把持机构向下移动时位于 把持机构的路径之外的探测物体被错误地探测为障碍物。当结合在下面简要描述的附图进行阅读时，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高架行进和输送系统，包括：安装在天花板上或其附近的轨道；用于沿着所述轨道行进并且由其引导的输送台车，具有（ｉ）适于把持被输送物体的把持机构，（ｉｉ）适于将所述把持机构向下移动到用于所述被输送物体的装载端口的升降机构，以及（ｉｉｉ）传感器，用于在垂直的并且平行于所述输送台车的行进方向的伪平面中发射光束，并且接收所述发射光束的反射光；监视器件，用于基于由所述传感器所接收到的反射光监视在所述发射光束的发射方向中存在的障碍物；以及选择器件，用于通过选择所述发射方向和／或选择所述监视器件的监视区域而（ｉ）建立一种状态，即如果所述输送台车在行进，则在沿着所述行进方向的前方存在的所述障碍物被所述监视器件监视，并且（ｉｉ）建立另一种状态，即如果所述把持机构向下移动，则从所述输送台车向下存在的所述障碍物被所述监视器件监视。

【技术特征摘要】
JP 2006-11-30 2006-3231971.一种高架行进和输送系统，包括安装在天花板上或其附近的轨道；用于沿着所述轨道行进并且由其引导的输送台车，具有(i)适于把持被输送物体的把持机构，(ii)适于将所述把持机构向下移动到用于所述被输送物体的装载端口的升降机构，以及(iii)传感器，用于在垂直的并且平行于所述输送台车的行进方向的伪平面中发射光束，并且接收所述发射光束的反射光；监视器件，用于基于由所述传感器所接收到的反射光监视在所述发射光束的发射方向中存在的障碍物；以及选择器件，用于通过选择所述发射方向和/或选择所述监视器件的监视区域而(i)建立一种状态，即如果所述输送台车在行进，则在沿着所述行进方向的前方存在的所述障碍物被所述监视器件监视，并且(ii)建立另一种状态，即如果所述把持机构向下移动，则从所述输送台车向下存在的所述障碍物被所述监视器件监视。2. 根据权利要求1的高架行进和输送系统，...

【专利技术属性】
技术研发人员：久德千三，
申请(专利权)人：日本阿西斯特技术株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]