容器输送系统和测量容器技术方案

储料器（１）包括存储ＦＯＵＰ（２０）、多个净化单元（５０）、测量ＦＯＵＰ（３０）和堆垛机（６０）。存储ＦＯＵＰ（２０）在其中存储半导体晶片。测量ＦＯＵＰ（３０）在其中具有流量计。净化单元（５０）包括具有用于放置存储ＦＯＵＰ（２０）的多个净化台（５４）的净化搁架（５１），并且氮气被供给到放置在净化台（５４）上的存储ＦＯＵＰ（２０）中。堆垛机（６０）将存储ＦＯＵＰ（２０）输送到净化台（５４）上，并且在多个净化台（５４）之间输送测量ＦＯＵＰ（３０）。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种容器输送系统和测量容器，用以利用一种气体气 氛取代用于净化室的容器的内部以及输送该容器。
技术介绍
例如，在其内部气氛被净化的净化室中制造半导体元件。当在不 同过程之间输送用于形成元件的半导体基片时，其中储存半导体基片 的盒子被存储于可被输送的密封容器中以防止灰尘粘附到半导体基 片。密封容器的内部气氛利用一种惰性气体例如氮气来取代从而防止 由于半导体基片的自然氧化引起的氧化膜的生长。如上所述，盒子被置于充有氮气的密封容器中，并且密封容器被 输送和存储。然而，在等待输送期间和在存储期间，在密封容器中的 氮气浓度有时变得等于或者小于预定数值。在此情形中，具有降低的 氮气浓度的密封容器被输送到设于净化室中的气体供应装置中从而被 再次净化。然后，密封容器返回到原位置处。在专利文献-1中，作为这种类型的气体供应系统，提出一种包括 用于存储半导体晶片的可输送密封容器和用于供应/排放气体的气体供 应装置的系统。在可输送密封容器中形成用于将内部和外部相互连通 的两个气体流通管道。该气体供应装置包括与一个气体流通管道气密 性连通的气体供应通道和与另一个气体流通管道气密性连通的气体排 放通道。气体供应通道与用于供应气体的气体供应源连通。气体排放 通道与用于排放气体的处理装置连通。在该气体供应系统中，气体从 气体供应源经由气体供应通道和气体流通管道被供应到可输送密封容 器。此外，当用氮气填充密封容器并且密封容器中的压力变得等于或者大于预定压力时，气体经由气体排放管道和气体排放通道被排放到 处理装置。近来， 一般设置多个这种类型的气体供应装置并且在该多个气体 供应装置的每一个中对从气体供应源供应的气体流量进行控制。专利文献-l:日本专利申请公开No.8-203993 (图l)。在气体供应装置中，由于在该装置中的控制电路故障和气体供应 管道的堵塞，有时不能供给所需的气体流量。因此，提出通过在每一 个气体供应装置的气体供应通道中布置流量计对气体流量进行测量以 确认气体流量是否被适当地供应。然而，如果在气体供应装置的每一个气体供应通道中布置流量计， 则需要多个流量计。因此，成本变高。此外，在气体供应装置中需要 用于布置流量计的空间。
技术实现思路
本专利技术被实现用于解决以上问题。本专利技术的一个目的在于提供一 种能够降低成本和节约空间的容器输送系统和测量容器。根据本专利技术的一个方面，提供一种容器输送系统，包括存储容 器，它具有形成用于存储基片的空间的外罩和用于使得气体流入该空 间中的在该外罩中形成的开口；多个净化单元，每一个净化单元具有净化台和气体进口，存储容器放置在净化台上，气体进口用于在存储 容器被置于净化台上的情况下通过与开口连通而使得用于净化的气流从开口进入空间中；测量容器，它具有在被置于净化台上的情况下与 气体进口连通的气体通道以及用于测量经过气体通道从气体进口流入 的气体流量的流量测量单元；和输送单元，用于将存储容器输送到净 化台，并且在多个净化台之间输送测量容器。根据该容器输送系统，从净化单元的每一个流入存储容器的气体 流量可以通过利用输送单元输送到每一个净化台上的测量容器而被测 量。由此，无需在每一个净化单元中布置流量测量单元。因此，可以 降低成本并且可以节约空间。根据本专利技术的另一个方面，在容器输送系统中提供一种测量容器， 该容器输送系统包括存储基片的存储容器；多个净化单元，每一个 净化单元具有净化台和气体进口，存储容器放置在净化台上，气体进口用于使得气体流入由存储容器形成的空间中；以及输送存储容器和 测量容器的输送单元，所述测量容器包括在被置于净化台上的情况 下与气体进口连通的气体通道；和测量经过气体通道从气体进口流入 的气体流量的流量测量单元。根据该测量容器，能够通过连续地将测量容器移动到每一个净化 台上而测量从每一个净化单元流入存储容器中的气体流量。由此，无 需在每一个净化单元中提供流量测量单元。因此，可以降低成本并且可以节约空间。优选地，该测量容器还可具有存储由流量测量单元测得的气体流 量的存储单元。利用这种构造，因为由流量测量单元测得的气体流量 被存储，能够在以后掌握气体流量。测量容器还可具有传送单元，用于将存储单元存储的气体流量传 输到外部设备。利用这种构造，使用者可以利用外部设备掌握从净化 单元流入存储容器的气体流量。此外，测量容器还可具有显示由流量测量单元测得的气体流量 的显示单元；捕捉显示单元的流量显示图像并且将流量显示图像转换 成图像数据的图像转换单元；以及将由图像转换单元转换的图像数据传输到外部设备的传送单元。根据该构造，通过基于图像数据显示从 净化单元流入的气体流量的图像，即使流量测量单元不具有气体流量 的存储单元和气体流量数据的传送单元，使用者也能够通过外部设备掌握从净化单元流入存储容器中的气体流量。当结合在下面简要描述的附图阅读时，从下面对本专利技术的优选实 施例的详细描述，可以更加清楚本专利技术的性质、用途和其它特征。附图说明图1是根据第一实施例的储料器的概略透视图2是根据第一实施例的储料器的概略纵向截面视图3是存储FOUP的纵向截面视图4是根据第一实施例的测量FOUP的纵向截面视图5是示出根据第一实施例的流量计的电子构造的框图6是根据第二实施例的测量FOUP的纵向截面视图；和图7是示出根据第二实施例的流量计的电子构造的框图。具体实施方式 第一实施例参考附图描述本专利技术的第一实施例。首先，参考图1和图2对作 为根据第一实施例的容器输送系统的储料器进行解释。图1是根据第 一实施例的储料器的概略透视图；图2是根据第一实施例的储料器的 概略纵向截面视图。如图l和图2所示，储料器l包括具有带很多台阶的存储搁架40 的外罩IO、多个净化单元50和堆垛机(输送单元)60。此外，储料器 1具有控制单元80、个人计算机100、流量控制器150和氮气供应源 200。存储搁架40沿着高度方向z具有五个台阶。在每一个存储搁架40中沿着纵向方向Y (在图2中的左右方向)形成具有相等间隔的凹部40a。在各个凹部40a的上部上，沿着纵向方向Y成直线地放置存储 FOUP (Front Open Unified Pod:前端开口整合盒)(存储容器)20 。净化单元50包括净化搁架51，净化搁架51具有沿着纵向方向Y 成直线地布置的多个净化台54，在其上放置经受净化的多个存储 FOUP20。每一个净化单元50包括供应管道52和在净化台54的下部 处的排气管道53。通过沿着纵向方向Y排列多个净化台54而获得净化搁架51，并 且净化搁架51被布置在沿着高度方向Z成直线地排列的存储搁架40 的下面。类似于存储搁架40，在净化搁架51上沿着纵向方向Y形成 具有相等间隔的凹部51a。目卩，在每一个净化台54上形成凹部51a，并 且存储FOUP20和测量FOUP (测量容器)30被放置在凹部51a的上 部上。供应管道52的一端经由流量控制器150与氮气供应源200连通， 流量控制器150用于控制作为被供给到存储FOUP20的气体的氮气的 流量。其另一端(气体进口)从净化台54的下表面侧突出到上表面侧 之上。由此，从氮气供应源200供给的氮气的流量被流量控制器150 控制，并且氮气经由供应管道52从净化台54的上表面流出。排本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种容器输送系统，包括：　　　　存储容器，它包括外罩和开口，该外罩形成用于存储基片的空间，该开口形成在该外罩中，用于使得气体流入该空间；　　　　多个净化单元，每一个净化单元包括净化台和气体进口，存储容器放置在净化台上，气体进口用于在存储容器被置于净化台上的情况下，通过与开口连通而使得用于净化的气流从开口进入空间中；　　　　测量容器，它包括在被置于净化台上的情况下与气体进口连通的气体通道，以及用于测量经过气体通道从气体进口流入的气体的流量的流量测量单元；和　　　　输送单元，用于将存储容器输送到净化台，并且在多个净化台之间输送测量容器。

【技术特征摘要】
JP 2006-12-22 2006-3454091.一种容器输送系统，包括存储容器，它包括外罩和开口，该外罩形成用于存储基片的空间，该开口形成在该外罩中，用于使得气体流入该空间；多个净化单元，每一个净化单元包括净化台和气体进口，存储容器放置在净化台上，气体进口用于在存储容器被置于净化台上的情况下，通过与开口连通而使得用于净化的气流从开口进入空间中；测量容器，它包括在被置于净化台上的情况下与气体进口连通的气体通道，以及用于测量经过气体通道从气体进口流入的气体的流量的流量测量单元；和输送单元，用于将存储容器输送到净化台，并且在多个净化台之间输送测量容器。2. —种容器输送系统中的测量容器，该容器输送系统包括存储 基片的存储容器；多...

【专利技术属性】
技术研发人员：村田正直，前泷进，
申请(专利权)人：日本阿西斯特技术株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]