一种边缘缺陷检测装置及方法制造方法及图纸

本申请是专利申请号为CN201910898266.5的专利申请的分案申请。本发明专利技术公开了一种边缘缺陷检测装置及方法，包括：载物台，用于承载待测物；光源单元，用于提供检测光束，检测光束至少照射至待测物的待测边缘上；物镜，用于收集检测光束经待测边缘反射或散射后形成的处理光束；光程调制器，位于物镜与相机之间，用于对处理光束进行光程调制；主控模块，与光程调制器连接，用于调节光程调制器的光程调制性能；相机，用于根据光程调制器出射的信号光束形成待测边缘的图像，从而对缺陷进行更好的定位和识别。识别。识别。

【技术实现步骤摘要】
一种边缘缺陷检测装置及方法
[0001]本申请是专利申请号为CN201910898266.5，申请日为2019年9月23日，专利技术名称为“一种边缘缺陷检测装置及方法”的分案申请。


[0002]本专利技术涉及光学检测
，尤其涉及一种边缘缺陷检测装置及方法。

技术介绍

[0003]随着工业自动化、智能化的深入及普及，使用自动光学检测设备(Auto Optical Inspection,AOI)替代传统的人工目检，已成为技术发展趋势。AOI设备凭借其快速、精确的缺陷识别定位能力，在汽车、医药、交通、半导体等领域广泛使用。
[0004]目前，现有的AOI设备通常包括光学成像系统、载物台、物料传输系统等。其中光学成像系统包括照明单元、成像物镜和探测器等。照明单元负责提供所需辐射光，物镜用于收集待测面光信号，探测器负责将光转化为数字信号。
[0005]但其存在的问题是，由于高分辨率的物镜理论焦深窄，对于一些不平整的表面，例如硅片、玻璃等材料边缘存在倒角，这些不平整表面会是一个弧面或有一定的坡度，在使用传统光学成像系统成像过程本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种边缘缺陷检测装置，其特征在于，包括：载物台，用于承载待测物；光源单元，用于提供检测光束，所述检测光束至少照射至所述待测物的待测边缘上；其中，所述待测边缘至少包括两个待测点，所述待测边缘存在弧度或坡度；物镜，用于收集所述检测光束经所述待测边缘反射或散射后形成的处理光束；光程调制器，位于所述物镜和相机之间，用于对所述处理光束进行光程调制；所述光程调制器包括微反射镜阵列；所述微反射镜阵列包括多个微反射镜和背板，所述微反射镜通过伸缩杆连接于所述背板的第一表面上，所述伸缩杆的可伸缩方向垂直于所述第一表面；所述伸缩杆的长度与施加电压呈正相关或负相关关系；主控模块，与所述光程调制器连接，用于调节所述光程调制器的光程调制性能；所述相机用于根据所述光程调制器出射的信号光束形成所述待测边缘的图像。2.根据权利要求1所述的边缘缺陷检测装置，其特征在于，所述微反射镜阵列位于所述处理光束的光路上。3.根据权利要求1所述的边缘缺陷检测装置，其特征在于，所述主控模块通过对所述光程调制器各区域的电压进行至少一次调节操作，调节所述光程调制器的光程调制性能；所述相机用于在每次所述调节操作之前，获取一张所述待测边缘的检测图像；所述主控模块用于根据所述检测图像的清晰度，进行当次所述调节操作。4.根据权利要求1所述的边缘缺陷检测装置，其特征在于，所述主控模块通过对所述光程调制器各区域的电压进行至少一次调节操作，调节所述光程调制器的光程调制性能；所述边缘缺陷检测装置还包括高度传感器，所述高度传感器用于获取所述待测边缘的高度分布信息；所述主控模块用于根据所述高度分布信息，确定所述光程调制器各区域的目标电压，并将所述光程调制器各区域的电压调节至对应的目标电压。5.根据权利要求1所述的边缘缺陷检测装置，其特征在于，所述光源单元包括发光体、透镜和分光镜，所述发光体、所述透镜和所述分光镜依次排列于所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨朝兴，
申请(专利权)人：上海御微半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：