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本申请是专利申请号为CN201910898266.5的专利申请的分案申请。本发明公开了一种边缘缺陷检测装置及方法，包括：载物台，用于承载待测物；光源单元，用于提供检测光束，检测光束至少照射至待测物的待测边缘上；物镜，用于收集检测光束经待测边...
该专利属于上海御微半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海御微半导体技术有限公司授权不得商用。

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