【技术实现步骤摘要】
一种倾斜式的晶圆片冲水花篮
[0001]本技术涉及一种倾斜式的晶圆片冲水花篮。
技术介绍
[0002]现有2英寸晶圆片冲水花篮一般由两部分组成，圆形过滤槽和手拿支杆。前者放置晶圆片，后者使手握支杆者可360
°
旋转清洗。
[0003]现有的平底冲水花篮底板与支杆呈垂直几何关系，从化学液中提取出来后，晶圆片与水流呈90
°
冲洗，冲击力过大，容易损伤基地材料；若花篮放置培养皿中冲洗，水流未直接冲洗晶圆片，容易导致化学液残留晶圆片上，或培养皿不洁净容易引入脏污，冲洗效果不佳。
技术实现思路
[0004]鉴于现有技术的不足，本技术所要解决的技术问题是提供一种倾斜式的晶圆片冲水花篮，不仅结构合理，而且冲洗效果好。
[0005]为了解决上述技术问题，本技术的技术方案是：一种倾斜式的晶圆片冲水花篮，包括倾斜放置冲洗台，所述冲洗台内部中空，其冲洗端面为圆形且端面上开设若干圆孔与内部相通，所述冲洗台下端面水平并与增高垫固连支撑，所述冲洗台沿冲洗端面外周间隔朝外凸出有若干凸块；远离...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种倾斜式的晶圆片冲水花篮，其特征在于：包括倾斜放置冲洗台，所述冲洗台内部中空，其冲洗端面为圆形且端面上开设若干圆孔与内部相通，所述冲洗台下端面水平并与增高垫固连支撑，所述冲洗台沿冲洗端面外周间隔朝外凸出有若干凸块；远离冲洗台端面一端的冲洗台上固连有竖向上延伸的支杆。2.根据权利要求1所述的一种倾斜式的晶圆片冲水花篮，其特征在于：所述冲洗台一体成型，下端面呈椭圆状，所述增高垫竖向设置且截面呈椭圆状与冲洗台对接。3.根据权利要求2所述的一...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄惠莺，薛正群，邓彪，
申请(专利权)人：福建中科光芯光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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