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本实用新型涉及一种倾斜式的晶圆片冲水花篮，包括倾斜放置冲洗台，所述冲洗台内部中空，其冲洗端面为圆形且端面上开设若干圆孔与内部相通，所述冲洗台下端面水平并与增高垫固连支撑，所述冲洗台沿冲洗端面外周间隔朝外凸出有若干凸块；远离冲洗台端面一端的冲...
该专利属于福建中科光芯光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建中科光芯光电科技有限公司授权不得商用。

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