【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种基板收纳装置,特别涉及一种用于大型基板的搬 运的基板收纳装置。
技术介绍
以往,有如日本技术登录第3105536号公报(图1)所记载的 基板收纳装置。该基板收纳装置通过将由框体围成的基板的收容室在 平面方向上并排多个并配设成格子状,能够同时搬运多个基板。但是,上述基板收纳装置在搬运小型基板时可以适用,但要搬运 大型基板等时,不得不使各收容室的面积加大。因此,收纳装置整体 的面积变大,但是,由于在基板搬运时必须将收纳装置搭载在卡车等 的承载台上进行搬运,所以必须将收纳装置的面积控制在某种程度的 范围之内,这样,收容室的个数受到限制,结果,不能搬运大量的基
技术实现思路
本专利技术基于上述情况而完成,其目的在于提供一种能够搬运大量 大型基板的基板收纳装置。用于解决上述课题的手段是以下的专利技术。(1) 一种基板收纳装置,其特征在于,包括将基板包含在内部 的收容体;和刚体板,该刚体板以将多个上述收容体叠层在该刚体板 的上面的状态对多个上述收容体进行支撑,上述收容体包括保持上 述基板的缓冲材料部;和配置在上述缓冲材料部的周边,承受上述收 容体叠层时的载荷的 ...
【技术保护点】
一种基板收纳装置,其特征在于,包括:将基板包含在内部的收容体;和刚体板,该刚体板以将多个所述收容体叠层在该刚体板的上面的状态对多个所述收容体进行支撑,所述收容体包括:保持所述基板的缓冲材料部;和配置在所述缓冲材料部的周边,承受所述收容体叠层时的载荷的载荷承受部。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2005-10-7 295547/20051.一种基板收纳装置,其特征在于,包括将基板包含在内部的收容体;和刚体板,该刚体板以将多个所述收容体叠层在该刚体板的上面的状态对多个所述收容体进行支撑,所述收容体包括保持所述基板的缓冲材料部;和配置在所述缓冲材料部的周边,承受所述收容体叠层时的载荷的载荷承受部。2. 如权利要求1所述的基板收纳装置,其特征在于 所述载荷承受部被配置在所述缓冲材料部的整个周边。3. 如权利要求1或2所述的基板收纳装置,其特征在于 所述收容体的端部通过支撑件安装在所述刚体板上, 所述收容体被安装成在将多个所述收容体上下叠层的叠层状态、和通过将上侧的所述收容体展开而能够相对于下侧的所述收容体取出 和放入所述基板的展开状态之间能够转变。4. 如权利要求1或2所述的基板收纳装置,其特征在于 所述支撑件由环状的装订件构成。5. 如权利要求3所述的基板收纳装置,其特征在于 所述支撑件由环状的装订件构成。6. 如权利要求1或2所述的基板收纳装置,其特征在于 所述缓冲材料部具有准导电性。7. 如权利要求3所述的基板收纳装置,其特征在...
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