下载基板收纳装置的技术资料

文档序号:3172613

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本发明提供一种基板收纳装置。该基板收纳装置(10)通过在刚体板(15)的上面叠层多个收容体(20)而形成。收容体(20)包括具有弹性和准导电性的缓冲材料部(21)、和由框状体构成的载荷承受部(22),在缓冲材料部(21)的上面设置有纤维素制...
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