机械丝杠润滑工具和半导体设备制造技术

本实用新型专利技术提供了一种机械丝杠润滑工具和半导体设备，所述机械丝杠润滑工具包括延长杆、夹持件和输送管路，所述延长杆的一端与所述夹持件相连，所述输送管路设于所述延长杆和所述夹持件内；所述延长杆上设有与所述输送管路相连通的加液口，所述夹持件上设有与所述输送管路相连通的出液口；所述夹持件用于抵接在机械丝杠上，以使得通过所述加液口加入的润滑剂能够经所述输送管路从所述出液口流出至所述机械丝杠上。本实用新型专利技术提供的机械丝杠润滑工具既能够有效地对所述机械丝杠添加润滑剂进行维护，又能够使得所述润滑剂均匀涂抹于机械丝杆上，从而能够对半导体设备中一些隐蔽的机械丝杠进行更好的保养，保证设备的正常运行，达到生产最大化。达到生产最大化。达到生产最大化。

【技术实现步骤摘要】
机械丝杠润滑工具和半导体设备


[0001]本技术涉及半导体设备
，尤其涉及一种机械丝杠润滑工具和半导体设备。

技术介绍

[0002]芯片制造中所使用的半导体设备中一般都设有机械丝杆，随着设备使用时间的增加，机械丝杆会越来越不顺滑，如果不能得到很好的维护，在设备运行一定时间后，会出现机械丝杠阻力过大，不仅容易导致机械丝杠损坏，还容易造成设备宕机，给生产造成影响。
[0003]然而，很多机械丝杆位置都比较隐蔽，在维护过程中给设备工程师造成了极大的困扰，因此，有必要设计一款能够有效对比较隐蔽的机械丝杠进行维护的机械丝杠润滑工具。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种机械丝杠润滑工具和半导体设备，以解决现有技术中存在的部分机械丝杆的位置比较隐蔽，不利于进行维护的问题。
[0005]为解决上述技术问题，本技术提供一种机械丝杠润滑工具，包括延长杆、夹持件和输送管路，所述延长杆的一端与所述夹持件相连，所述输送管路设于所述延长杆和所述夹持件内；
[0006]所述延长杆上设有与所述输送管路相连通的加液口，所述夹持件上设有与所述输送管路相连通的出液口；
[0007]所述夹持件用于抵接在机械丝杠上，以使得通过所述加液口加入的润滑剂能够经所述输送管路从所述出液口流出至所述机械丝杠上。
[0008]可选的，所述延长杆为可伸缩式结构，所述延长杆包括套接的第一连接杆和第二连接杆，所述第一连接杆套设于所述第二连接杆的外部，所述第二连接杆能够沿所述第一连接杆的轴向往复移动。/>[0009]可选的，所述延长杆内还设有用于存储所述润滑剂的储液罐，所述储液罐与所述加液口和所述输送管路相连通。
[0010]可选的，所述机械丝杠润滑工具还包括设于所述储液罐内的活塞以及与所述活塞相连的推杆，所述推杆的至少一部分伸出至所述延长杆的外部。
[0011]可选的，所述延长杆和所述夹持件内布置有输送管，所述输送管的内腔构成所述输送管路。
[0012]可选的，所述夹持件包括第一夹持部和第二夹持部，所述第一夹持部和所述第二夹持部分别与所述延长杆相连，且所述第一夹持部和所述第二夹持部能够相互靠近和远离。
[0013]可选的，所述第一夹持部靠近所述第二夹持部的一端设有第一弧口，所述第二夹持部靠近所述第一夹持部的一端设有与所述第一弧口相对设置的第二弧口。
[0014]可选的，所述出液口包括若干第一出液口和若干第二出液口，所述若干第一出液口位于所述第一弧口上，所述若干第二出液口位于所述第二弧口上。
[0015]可选的，所述第一出液口和所述第二出液口均为多个，多个所述第一出液口等间隔设置于所述第一弧口上，多个所述第二出液口等间隔设置于所述第二弧口上。
[0016]本技术还提供一种半导体设备，包括如上所述的机械丝杠润滑工具。
[0017]与现有技术相比，本技术提供的机械丝杠润滑工具包括延长杆、夹持件和输送管路，所述延长杆的一端与所述夹持件相连，所述输送管路设于所述延长杆和所述夹持件内；所述延长杆上设有与所述输送管路相连通的加液口，所述夹持件上设有与所述输送管路相连通的出液口；所述夹持件用于抵接在机械丝杠上，以使得通过所述加液口加入的润滑剂能够经所述输送管路从所述出液口流出至所述机械丝杠上，由此，在使用所述机械丝杠润滑工具进行机械丝杠的维护时，将所述夹持件抵接在机械丝杠上，并夹持所述机械丝杠，预先通过所述加液口加入的润滑剂能够从所述夹持件上的出液口流出至所述机械丝杠上，从而有效地对所述机械丝杠添加润滑剂进行维护。此外，还可以通过所述延长杆控制所述夹持件沿机械丝杠轴向往复移动，既有利于对所述机械丝杠进行整体的维护，又能够使得所述润滑剂涂抹均匀，减少浪费。而由于本技术提供的半导体设备包括如上所述的机械丝杠润滑工具，因此，本技术提供的半导体设备包括如上所述的机械丝杠润滑工具的所有优点，从而能够对半导体设备中一些隐蔽的机械丝杠进行更好的保养，保证设备的正常运行，达到生产最大化。
附图说明
[0018]图1为本技术一实施例提供的机械丝杠润滑工具的结构示意图；
[0019]图2为本技术一实施例提供的延长杆的结构示意图；
[0020]图3为本技术一实施例提供的储液罐的结构示意图；
[0021]图4为本技术一实施例提供的夹持件的结构示意图。
[0022]其中，附图标记如下：
[0023]100
‑
延长杆，110
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第一连接杆，120
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第二连接杆，210
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第一夹持部，211
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第一出液口，220
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第二夹持部，221
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第二出液口，300
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输送管路，400
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储液罐，410
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加液口，420
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活塞，430
‑
推杆。
具体实施方式
[0024]为使本技术的目的、优点和特征更加清楚，以下结合图1至图4对本技术提出的机械丝杠润滑工具和半导体设备作进一步详细说明。需要说明的是，附图采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的，并非用以限定本技术实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本技术所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本技术所揭示的
技术实现思路
能涵盖的范围内。
[0025]需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖
非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
[0026]在本技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以视具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0027]本技术的核心思想在于提供一种机械丝杠润滑工具和半导体设备，以实现方便快捷地对比较隐蔽的机械丝杠添加润滑剂进行维护的目的。
[0028]请参考图1，其示意性地给出了本技术一实施例提供的机械丝杠润滑工本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种机械丝杠润滑工具，其特征在于，所述机械丝杠润滑工具包括延长杆、夹持件和输送管路，所述延长杆的一端与所述夹持件相连，所述输送管路设于所述延长杆和所述夹持件内；所述延长杆上设有与所述输送管路相连通的加液口，所述夹持件上设有与所述输送管路相连通的出液口；所述夹持件用于抵接在机械丝杠上，以使得通过所述加液口加入的润滑剂能够经所述输送管路从所述出液口流出至所述机械丝杠上。2.根据权利要求1所述的机械丝杠润滑工具，其特征在于，所述延长杆为可伸缩式结构，所述延长杆包括套接的第一连接杆和第二连接杆，所述第一连接杆套设于所述第二连接杆的外部，所述第二连接杆能够沿所述第一连接杆的轴向往复移动。3.根据权利要求1所述的机械丝杠润滑工具，其特征在于，所述延长杆内还设有用于存储所述润滑剂的储液罐，所述储液罐与所述加液口和所述输送管路相连通。4.根据权利要求3所述的机械丝杠润滑工具，其特征在于，所述机械丝杠润滑工具还包括设于所述储液罐内的活塞以及与所述活塞相连的推杆，所述推杆的至少一部分伸出至所述延长杆的外部。5.根据权利要求1所述的机械丝...

【专利技术属性】
技术研发人员：林勇，谢宗其，
申请(专利权)人：广州粤芯半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：