一体化柔性微纳电感及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种一体化柔性微纳电感及其制备方法，涉及基于激光刻蚀方法的非晶纳米晶微纳电感器件的制备。制备方法包括：制备非晶纳米晶合金；基于高精度高功率激光刻蚀加工方法，按照应用场景、形状及尺寸的需求，对所述非晶纳米晶合金进行与磁芯结构直接结合的一体化激光精细刻蚀加工，制备得到微纳尺度的一体化柔性电感器件。体化柔性电感器件。体化柔性电感器件。

【技术实现步骤摘要】
一体化柔性微纳电感及其制备方法


[0001]本专利技术涉及电感制备
，具体涉及一种一体化柔性微纳电感及其制备方法。

技术介绍

[0002]第三代半导体材料发展迅猛，5G/5G+手机、基站、卫星通信领域及电动车行业的高速发展，未来高性能集成电路、柔性电路板、柔性器件的制作和工作环境要求开发和制备具有低损耗、高频、高功率密度的电感等电子元器件，同时对器件的尺寸、形状、集成性、柔性、一体成型性提出了更高的要求。
[0003]非晶合金是金属熔体经过快速凝固而得到的结构无序的亚稳材料。非晶强磁性软磁合金具有高饱和磁感应强度，由于不存在由晶体结构引起的磁晶各向异性，具有非常高磁导率低矫顽力的软磁性能；此外、非晶合金具有高屈服强度、高硬度、超高的弹性极限，柔韧性好、抗腐蚀性强的优点。纳米晶软磁合金由于非晶和纳米晶粒的软磁耦合效果，具备更加优异的软磁性能(高磁导率和低矫顽力，显示极低的铁损)和更高的饱和磁感应强度。
[0004]目前，面向传统电感等微小器件的制备与加工，与本专利技术最相近似的实现方案主要包括以下几种方案：基于粉末压制成型的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种一体化柔性微纳电感的制备方法，其特征在于，包括：制备非晶纳米晶合金；基于高精度高功率激光刻蚀加工方法，按照应用场景、形状及尺寸的需求，对所述非晶纳米晶合金进行与磁芯结构直接结合的一体化激光精细刻蚀加工，制备得到微纳尺度的一体化柔性电感器件。2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述非晶纳米晶合金包括块体、带状、丝状、粉末。3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，具体包括步骤：1)制备非晶纳米晶合金与磁芯结构，输出
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待加工毛胚；2)根据电感器件的几何信息，产生激光加工的CAM代码；3)控制激光，对毛坯工件进行精细加工成型；4)进行封装；5)机型检验。4.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：王军强，张文武，张岩，曹小文，向明亮，许巍，霍军涛，
申请(专利权)人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所，
类型：发明
国别省市：