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本发明公开了一种一体化柔性微纳电感及其制备方法，涉及基于激光刻蚀方法的非晶纳米晶微纳电感器件的制备。制备方法包括：制备非晶纳米晶合金；基于高精度高功率激光刻蚀加工方法，按照应用场景、形状及尺寸的需求，对所述非晶纳米晶合金进行与磁芯结构直接结...
该专利属于中国科学院宁波材料技术与工程研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院宁波材料技术与工程研究所授权不得商用。

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