【技术实现步骤摘要】
基板处理装置
[0001]本技术涉及一种基板处理装置。
技术介绍
[0002]在专利文献1中公开有一种具备配置在上下方向上的多层的基板处理装置。对于该基板处理装置,第1层具备使用预定的处理液而进行基板的处理的第1处理部,第2层具备对基板进行温度处理的第2处理部。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1:日本特开平10
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189420号公报
技术实现思路
[0006]技术要解决的问题
[0007]本技术提供一种对生产率的提高有效的基板处理装置。
[0008]用于解决问题的方案
[0009]本技术的一技术方案的基板处理装置具备:基板出入部,其从外部接收第1状态的基板,并向外部送出第2状态的基板;第1群组的处理部,其包括进行互不相同的处理的两个处理部,对所述第1状态的基板进行用于将所述第1状态变为所述第2状态的一系列的处理;第2群组的处理部,其包括进行互不相同的处理的两个处理部,对所述第1状态的基板进行与由所述第1群组的处理部进行的一系列的处理同样的一系列的处理;第1输送部,其从所述基板出入部向所述第1群组的处理部输送所述第1状态的基板,并从所述第1群组的处理部向所述基板出入部输送利用所述第1群组的处理部而成为了所述第2状态的基板;以及第2输送部,其从所述基板出入部向所述第2群组的处理部输送所述第1状态的基板,并从所述第2群组的处理部向所述基板出入部输送利用所述第2群组的处理部而成为了所述第2状态的基板。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种基板处理装置,其特征在于,该基板处理装置具备:基板出入部,其从外部接收第1状态的基板,并向外部送出第2状态的基板;第1群组的处理部,其包括进行互不相同的处理的两个处理部,对所述第1状态的基板进行用于将所述第1状态变为所述第2状态的一系列的处理;第2群组的处理部,其包括进行互不相同的处理的两个处理部,对所述第1状态的基板进行与由所述第1群组的处理部进行的一系列的处理同样的一系列的处理;第1输送部,其从所述基板出入部向所述第1群组的处理部输送所述第1状态的基板,并从所述第1群组的处理部向所述基板出入部输送利用所述第1群组的处理部而成为了所述第2状态的基板;以及第2输送部,其从所述基板出入部向所述第2群组的处理部输送所述第1状态的基板,并从所述第2群组的处理部向所述基板出入部输送利用所述第2群组的处理部而成为了所述第2状态的基板。2.根据权利要求1所述的基板处理装置,其特征在于,所述第1群组的处理部包括也属于所述第2群组的处理部的共用处理部和不属于所述第2群组的处理部的独立处理部,所述共用处理部的生产率比所述独立处理部的生产率大。3.根据权利要求2所述的基板处理装置,其特征在于,所述共用处理部包括进行由所述第1输送部输送的基板的检查和由所述第2输送部输送的基板的检查的检查单元。4.根据权利要求1所述的基板处理装置,其特征在于,所述第1群组的处理部包括也属于所述第2群组的处理部的第1共用处理部,所述第1共用处理部包括:第1保持单元,其保持由所述第1输送部输送的基板;第2保持单元,其在水平方向上配置于与所述第1保持单元的位置不同的位置,保持由所述第2输送部输送的基板;以及供液单元,其能够向保持于所述第1保持单元的基板和保持于所述第2保持单元的基板供给处理液。5.根据权利要求4所述的基板处理装置,其特征在于,所述第1群组的处理部还包括也属于所述第2群组的处理部的第2共用处理部,所述第2共用处理部的至少一部分在所述第1保持单元与所述第2保持单元之间的位置处重叠于所述第1共用处理部之上或之下。6.根据权利要求1~5中任一项所述的基板处理装置,其特征在于,所述基板出入部具有:第1收容部和第2收容部,其在水平方向上配置于互不相同的位置;以及基板分配部,其将所述第1状态的基板收容于所述第1收容部和所述第2收容部中的任一者,所述第1输送部从所述第1收容部送出所述第1状态的基板,并向所述第1收容部送入所述第2状态的基板,
所述第2输送部从所述第2收容部送出所述第1状态的基板,并向所述第2收容部送入所述第2状态的基板。7.根据权利要求6所述的基板处理装置,其特征在于,所述基板分配部具有:第1送入送出单元,其向所述第1收容部送入所述第1状态的基板,并从所述第1收容部送出所述第2状态的基板;以及第2送入送出单元,其向所述第2收容部送入所述第1状态的基板,并从所述第2收容部送出所述第2状态的基板。8.根据权利要求6所述的基板处理装置,其特征在于,所述第1收容部包括进行所述第1状态的基板和所述第2状态的基板中的至少一者的检查的第1检查单元,所述第2收容部包括进行所述第1状态的基板和所述第2状态的基板中的至少一者的检查的第2检查单元。9.根据权利要求1~5中任一项所述的基板处理装置,其特征在于,所述第1输送部具有:第1保持臂,其用于保持基板;第1基座,其支承所述第1保持臂;以及第1升降致动器,其使所述第1基座升降,所述第...
【专利技术属性】
技术研发人员:上山昇太,丸山光昭,大薗启,中岛清次,酒田洋司,
申请(专利权)人:东京毅力科创株式会社,
类型:新型
国别省市:
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