本发明专利技术涉及等离子机结构技术领域，尤其公开了一种在线式快速抽真空的真空等离子机；包括外机架，所述外机架设有内腔；所述内腔中设有负压储存仓，和设置在负压储存仓下侧面的等离子真空仓；所述内腔中还设有真空泵装置，所述真空泵装置上连接有真空止回路管；所述真空止回路管连接有第一支路管和第二支路管；所述负压储存仓和真空止回路管通过所述第一支路管连通，所述等离子真空仓和真空止回路管通过所述第二支路管连通，且所述第一支路管和第二支路管连通；所述真空等离子机还包括移动台，所述移动台上设有传送带；所述传送带上还设置有工件台；本发明专利技术的真空等离子机可极大缩减抽真空时长，极大提高工作效率。极大提高工作效率。极大提高工作效率。
【技术实现步骤摘要】
一种在线式快速抽真空的真空等离子机
[0001]本专利技术涉及等离子机结构
，尤其涉及一种在线式快速抽真空的真空等离子机。
技术介绍
[0002]目前，等离子清洗机在市场处于广泛的应用，等离子清洗机一般分为常压式等离子清洗机和真空式等离子清洗机，或称为等离子表面处理机，是一种全新的高科技技术，等离子体的(活性)组成包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洗机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。
[0003]目前，真空式等离子清洗机使用越来越广泛，传统的真空式等离子清洗机在使用过程中，需要运行一定的时间进行抽真空，而且抽真空的时间比较长，导致整个程序运行下来，需要操作人员较长时间的等待，工作效率较低，增加生产成本。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的是提供一种预设负压仓，可极大缩减抽真空时长，极大提高工作效率的在线式快速抽真空的真空等离子机。
[0005]为解决上述技术问题，本专利技术所采取的技术方案是：一种在线式快速抽真空的真空等离子机，包括外机架，所述外机架设有内腔；所述内腔中设有负压储存仓，和设置在负压储存仓下侧面的等离子真空仓；所述内腔中还设有真空泵装置，所述真空泵装置上连接有真空止回路管；所述真空止回路管连接有第一支路管和第二支路管；所述负压储存仓和真空止回路管通过所述第一支路管连通，所述等离子真空仓和真空止回路管通过所述第二支路管连通，且所述第一支路管和第二支路管连通；
[0006]所述真空等离子机还包括移动台，所述移动台上设有传送带；所述传送带上还设置有工件台；所述移动台的下方还设有气缸立柱导轨装置，所述移动台通过气缸立柱导轨装置上下升降；所述真空等离子机还包括水平移动装置，所述气缸立柱导轨装置安装在水平移动装置上，所述水平移动装置在水平面水平移动，驱动气缸立柱导轨装置水平移动，从而驱动所述移动台水平移动；
[0007]所述内腔中还设有等离子发生器，所述等离子发送器设有高压线，所述等离子真空仓内设有铜板，所述高压线射频连接至铜板上。
[0008]本专利技术有益效果包括：
[0009]1、通过设置负压仓，预先使负压仓保持负压状态；当需要对等离子真空仓抽真空时，负压仓和真空泵装置同时对等离子真空仓抽真空，极大的缩短抽真空的时间，极大提高工作效率。
[0010]2、由于本专利技术中，分为等离子真空仓和与负压储存仓，因此，每个仓的空间容量少二分之一，能到达快速抽真空的效率。
[0011]3、本专利技术中，在管道上还设有多个真空角阀，便于控制气流，防止等离子真空仓向负压仓回流。
[0012]4、等离子真空仓可为铝制真空仓体，作为负极一端与地线相连接，导电性较强，散热良好，在等离子工作时，能够瞬间释放电弧，达到等离子真空处理效果。
[0013]5、工件台可为铝板，为铝制导电氧化板，不易刮花碰伤，而且导电性较强，轻量化便于底下装有气缸立柱导轨装置便能轻易推动。
[0014]6、本专利技术中，采用工件台与等离子真空仓密闭融合的方式，无需人工打开真空仓门放料，使得上下料更方便，在操作上方便快捷。
附图说明
[0015]下面结合附图和具体实施方式对本专利技术作进一步详细的说明。
[0016]图1是本专利技术的在线式快速抽真空的真空等离子机的外部结构示意图；
[0017]图2是本专利技术的在线式快速抽真空的真空等离子机的内部结构示意图；
[0018]图3是本专利技术的在线式快速抽真空的真空等离子机的另一内部结构示意图；
[0019]图4是本专利技术的等离子真空仓和移动台的结构示意图；
[0020]图5是本专利技术的传送带的结构示意图；
[0021]图6是本专利技术的气缸立柱导轨装置的结构示意图。
具体实施方式
[0022]下面结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0023]在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本专利技术，但是本专利技术还可以采用其他不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本专利技术内涵的情况下做类似推广，因此本专利技术不受下面公开的具体实施例的限制。
[0024]如图1所示，为本专利技术的在线式快速抽真空的真空等离子机的外部结构示意图；如图2所示，为本专利技术的在线式快速抽真空的真空等离子机的内部结构示意图；如图3所示，为本专利技术的在线式快速抽真空的真空等离子机的另一内部结构示意图；如图4所示，为本专利技术的等离子真空仓和移动台的结构示意图；本专利技术的在线式快速抽真空的真空等离子机，包括外机架1，所述外机架1设有内腔；其特征在于，所述内腔中设有负压储存仓21，和设置在负压储存仓21下侧面的等离子真空仓22；所述内腔中还设有真空泵装置31，所述真空泵装置31上连接有真空止回路管32；所述真空止回路管32连接有第一支路管321和第二支路管322；所述负压储存仓21和真空止回路管32通过所述第一支路管321连通，所述等离子真空仓22和真空止回路管32通过所述第二支路管322连通，且所述第一支路管321和第二支路管322连通；
[0025]所述真空等离子机还包括移动台5，所述移动台5上设有传送带51；所述传送带51上还设置有工件台52；示例性的，本专利技术中，工件台52可为铝板，为铝制导电氧化板；所述移动台5的下方还设有气缸立柱导轨装置6，所述移动台5通过气缸立柱导轨装置6上下升降；
所述真空等离子机还包括水平移动装置，所述气缸立柱导轨装置6安装在水平移动装置上，所述水平移动装置在水平面水平移动，驱动气缸立柱导轨装置6水平移动，从而驱动所述移动台5水平移动。
[0026]作为优选的实施方案，所述等离子真空仓22下侧开口，所述工件台52为板状结构；通过水平移动装置，所述移动台5水平移动，驱使所述工件台52水平移动至所述真空仓22下方后，通过所述气缸立柱导轨装置6，驱动所述工件台52向上移动至所述真空仓22下侧开口处，使得所述等离子真空仓22和工件台52形成密闭空间；示例性的，所述等离子真空仓22为方形体结构，所述等离子真空仓22的下侧开口为方形结构，所述工件台52为方形结构，且所述工件台52和等离子真空仓22的下侧开口的尺寸相同。
[0027]本专利技术中，所述真空等离子机开启后，所述真空泵装置31通过真空止回路管32和第一支路管321，预先对所述负压储存仓21进行抽真空，使得所述负压储存仓21保持负压状态；因此，本专利技术中，在需要等离子真空仓进行工作之前，所述负压储存仓21是一直预先保持负压状态。
[0028]当需要等离子真空仓开始工作时，则通过移动水平移动装置；示例性的，本专利技术中，所述外机架1的下方设有底板71；所述水平移动装置位于所述底板71的底侧，所述水平移动装置为万向轮72。本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种在线式快速抽真空的真空等离子机，包括外机架(1)，所述外机架(1)设有内腔；其特征在于，所述内腔中设有负压储存仓(21)，和设置在负压储存仓(21)下侧面的等离子真空仓(22)；所述内腔中还设有真空泵装置(31)，所述真空泵装置(31)上连接有真空止回路管(32)；所述真空止回路管(32)连接有第一支路管(321)和第二支路管(322)；所述负压储存仓(21)和真空止回路管(32)通过所述第一支路管(321)连通，所述等离子真空仓(22)和真空止回路管(32)通过所述第二支路管(322)连通，且所述第一支路管(321)和第二支路管(322)连通；所述真空等离子机还包括移动台(5)，所述移动台(5)上设有传送带(51)；所述传送带(51)上还设置有工件台(52)；所述移动台(5)的下方还设有气缸立柱导轨装置(6)，所述移动台(5)通过气缸立柱导轨装置(6)上下升降；所述真空等离子机还包括水平移动装置，所述气缸立柱导轨装置(6)安装在水平移动装置上，所述水平移动装置在水平面水平移动，驱动气缸立柱导轨装置(6)水平移动，从而驱动所述移动台(5)水平移动；所述内腔中还设有等离子发生器(41)，所述等离子发生器(41)设有高压线，所述等离子真空仓(22)内设有铜板，所述高压线射频连接至铜板上。2.根据权利要求1所述的在线式快速抽真空的真空等离子机，其特征在于，所述等离子真空仓(22)下侧开口，所述工件台(52)为板状结构；通过水平移动装置，所述移动台(5)水平移动，驱使所述工件台(52)水平移动至所述等离子真空仓(22)下方后，通过所述气缸立柱导轨装置(6)，驱动所述工件台(52)向上移动至所述等离子真空仓(22)下侧开口处，使得所述等离子真空仓(22)和工件台(52)形成密闭空间。3.根据权利要求2所述的在线式快速抽真空的真空等离子机，其特征在于，所述等离子真空仓(22)为方形体结构，所述等离子真空仓(22)的下侧开口为方形结构，所述工件台(52)为方形结构，且所述工件台(52)和等离子真空仓(22)的下侧开口的尺寸相同。4.根据权利要求2所述的在线式快速抽真空的真空等离子机，其特征在于，所述真空等离子机开启后，所述真空泵装置(31)通过真空止回路管(32)和第一支路管(321)，预先对所述负压储存仓(21)进行抽真空，使得所述负压储存仓(21)保持负压状态；当所述工件台(52)与所述等离子真空仓(22)连接形成密闭空间后；所述真空泵装置(31)通过真空止回路管(32)和第二支路管(322)，对所述等离子真空仓(22)进行抽真空；同时，负压状态下的负压储存仓(21)，通过所述第一支路管(321)和第二支路管(322...
【专利技术属性】
技术研发人员：林小兰，甘华烽，谢东华，
申请(专利权)人：中山市普雷斯等离子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。