一种新型坩埚轴结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种新型坩埚轴结构，包括：上段轴，所述上段轴下部内设有安装空间，所述安装空间上方具有冷却腔；冷却水道块，所述冷却水道块连接在安装空间内，所述冷却水道块中部内设有流水通道，所述冷却水道块内于流水通道周边设有均布的冷却水道；下段轴，所述下段轴连接在安装空间下方，所述下段轴中部设有水管水道，所述水管水道上端设有缓冲水腔；水管，所述水管设置在水管水道内，所述水管的上端与流水通道连通。本实用新型专利技术的有益效果为：采用分段连接的方式，在坩埚轴中间加装冷却水道，通过水冷对坩埚轴上段进行重点冷却，同时分段的方式可以阻止高温向下段的传导，避免高温对整个坩埚轴的损害。温对整个坩埚轴的损害。温对整个坩埚轴的损害。

【技术实现步骤摘要】
一种新型坩埚轴结构


[0001]本技术属于单晶硅生产设备领域，具体涉及一种新型坩埚轴结构。

技术介绍

[0002]单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。坩埚轴作为单晶炉设备中的一个重要部件，起着支撑旋转坩埚的作用。坩埚在使用过程中温度极高，因此坩埚轴的冷却极为重要。
[0003]综上所述，为解决现有的技术问题，本技术设计了一种结构简单、可以对坩埚轴进行有效冷却的新型坩埚轴结构。

技术实现思路

[0004]本技术为解决现有的技术问题，设计了一种结构简单、可以对坩埚轴进行有效冷却的新型坩埚轴结构。
[0005]本技术的目的可通过以下技术方案来实现：
[0006]一种新型坩埚轴结构，包括：
[0007]上段轴，所述上段轴下部内设有安装空间，所述安装空间上方具有冷却腔；
[0008]冷却水道块，所述冷却水道块连接在安装空间内，所述冷却水道块中部内设有流水通道，所述冷却水道块内于流水通道周边设有均布的冷却水道；
[0009]下段轴，所述下段轴连接在安装空间下方，所述下段轴中部设有水管水道，所述水管水道上端设有缓冲水腔；
[0010]水管，所述水管设置在水管水道内，所述水管的上端与流水通道连通。
[0011]进一步的，所述上段轴上部内设有倒圆台形的连接槽。
[0012]进一步的，所述冷却腔为圆台形，所述冷却水道块上端为圆台形。
[0013]进一步的，所述冷却水道块侧面下部与冷却水道下开口之间设有排水凹陷。
[0014]进一步的，所述下段轴的上端通过连接凸出与安装空间连接，所述下段轴上端侧面与上段轴下端面之间设有密封圈。
[0015]相比现有技术，本技术结构设置合理：1、采用分段连接的方式，在坩埚轴中间加装冷却水道，通过水冷对坩埚轴上段进行重点冷却，同时分段的方式可以阻止高温向下段的传导，避免高温对整个坩埚轴的损害；2、水管采用了上下均固定的方式，使得水管更稳定，不会因水管的晃动产生异响。
附图说明
[0016]图1为本新型坩埚轴结构整体结构示意图；
[0017]图2为上段轴结构示意图；
[0018]图3为冷却水道块结构示意图；
[0019]图4为下段轴结构示意图；
[0020]参见图1至图4，其中：1、上段轴；11、安装空间；12、冷却腔；13、连接槽；14、密封圈；2、冷却水道块；21、流水通道；22、冷却水道；23、排水凹陷；3、下段轴；31、水管水道；32、缓冲水腔；33、连接凸出；4、水管。
具体实施方式
[0021]下面结合实施例，对本技术的技术方案作进一步的阐述。在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0022]在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。
[0023]实施例一：
[0024]一种新型坩埚轴结构，包括：
[0025]上段轴1，所述上段轴1下部内设有安装空间11，所述安装空间11上方具有冷却腔12；
[0026]冷却水道块2，所述冷却水道块2连接在安装空间11内，所述冷却水道块2中部内设有流水通道21，所述冷却水道块2内于流水通道21周边设有均布的冷却水道22；
[0027]下段轴3，所述下段轴3连接在安装空间11下方，所述下段轴3中部设有水管水道31，所述水管水道31上端设有缓冲水腔32；
[0028]水管4，所述水管4设置在水管水道31内，所述水管4的上端与流水通道21连通。
[0029]具体的，坩埚轴作为单晶炉设备中的一个重要部件，起着支撑旋转坩埚的作用。坩埚在使用过程中温度极高，因此坩埚轴的冷却极为重要。上段轴1上方与坩埚连接，下段轴3下方与支撑旋转结构连接，从而实现对坩埚的支撑及旋转；在使用时，冷却水从水管4注入，从下方向上流入流水通道21，并从流水通道21上方流入冷却腔12，对上段轴1的上部进行冷却，再从冷却腔12流入冷却水道22，通过冷却水道块2与安装空间11内壁的接触，对上段轴1侧向冷却，冷却水从冷却水道22流出后进入缓冲水腔32，再从水管水道31与水管4之间排出，缓冲水腔32可以减少水流速度并减小水流对水管4的冲击，避免水管振动。本技术的优点在于：1、采用分段连接的方式，在坩埚轴中间加装冷却水道，通过水冷对坩埚轴上段进行重点冷却，同时分段的方式可以阻止高温向下段的传导，避免高温对整个坩埚轴的损害；2、水管采用了上下均固定的方式，使得水管更稳定，不会因水管的晃动产生异响。
[0030]实施例二：
[0031]实施例二与实施例一的区别在于，所述上段轴1上部内设有倒圆台形的连接槽13。
[0032]具体的，上段轴1通过连接槽13与坩埚进行连接，连接更加稳定牢固。
[0033]实施例三：
[0034]实施例三与实施例一的区别在于，所述冷却腔12为圆台形，所述冷却水道块2上端为圆台形。
[0035]具体的，圆台形的冷却腔12可以改变流水通道21中向上流出的水流方向，减少水流对冷却腔12的冲击，减少紊流，配合冷却水道块2圆台形的上端，可以使水流顺利进入冷却水道22内，减小水流的阻力。
[0036]实施例四：
[0037]实施例四与实施例一的区别在于，所述冷却水道块2侧面下部与冷却水道22下开口之间设有排水凹陷23。
[0038]具体的，排水凹陷23可以使水流排出冷却水道22、进入缓冲水腔32时，水流的速度是逐渐减缓的，避免水流直接冲击到缓冲水腔32内的水而造成振动。
[0039]实施例五：
[0040]实施例五与实施例一的区别在于，所述下段轴3的上端通过连接凸出33与安装空间11连接，所述下段轴3上端侧面与上段轴1下端面之间设有密封圈14。
[0041]具体的，连接凸出33提高了下段轴3与上段轴1之间的连接强度，密封圈14可以使上段轴1与下段轴3之间的连接保持密封，避免冷却水从连接处渗出。
[0042]本文中所描述的仅为本技术的优选实施方式，但本技术的保护本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型坩埚轴结构，其特征在于，包括：上段轴，所述上段轴下部内设有安装空间，所述安装空间上方具有冷却腔；冷却水道块，所述冷却水道块连接在安装空间内，所述冷却水道块中部内设有流水通道，所述冷却水道块内于流水通道周边设有均布的冷却水道；下段轴，所述下段轴连接在安装空间下方，所述下段轴中部设有水管水道，所述水管水道上端设有缓冲水腔；水管，所述水管设置在水管水道(31)内，所述水管的上端与流水通道连通。2.根据权利要求1所述的一种新型坩...

【专利技术属性】
技术研发人员：周波，
申请(专利权)人：浙江晶阳机电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：