一种外置聚能式PBN烘烤炉膛隔热装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于半导体晶体制造领域，具体公开了一种外置聚能式PBN烘烤炉膛隔热装置，隔热装置为两端密闭的管状结构，其外管壁与炉膛出口处内壁贴合，管状结构的两端分别为外端和内端，外端为盖板，盖板尺寸大于炉膛出口处尺寸，内端为平面或向炉膛出口方向内凹的球面结构，管状结构内腔的内端面上固定贴合有耐高温反射镜，在管状结构的内腔填充隔热介质，管状结构的内腔设有贯穿两端的通孔，管状结构的外端盖板设有提手。本实用新型专利技术隔热装置有效减少了炉膛内头、尾部温度差异，满足炉膛内不同位置PBN坩埚对温度的要求；提高PBN烘烤过程热量的利用率；进一步有效解决了外部氧气导致的炉膛内部温场波动，降低了外部季节性气候对长晶良品率的影响。晶良品率的影响。晶良品率的影响。

【技术实现步骤摘要】
一种外置聚能式PBN烘烤炉膛隔热装置


[0001]本技术涉及半导体晶体制造领域，具体涉及一种外置聚能式PBN烘烤炉膛隔热装置。

技术介绍

[0002]PBN在烘烤过程中，需要装入在洁净的石英炉膛中。而石英炉膛的结构必须有一个开口才能放得进PBN。在石英炉膛的底部，是半球形状密封状态，所以在其底部外的炉膛位置可以放置陶瓷纤维毯阻止热量散失。但是在石英炉膛的头部，是一个敞开的结构，不能使用陶瓷纤维填充阻止热量散失。如图1所示，在炉膛口出处，大量的热量散失，导致管炉膛口出处温度非常低，远远达不到PBN坩埚氧化需要的900℃，由于有效氧化炉温不足，导致PBN前段氧化程度不足，PBN异核栾晶概率大幅增加。同时，氧气在自然条件下对炉膛内部充氧，10月份以后气温普遍降温至约3~12℃，通过氧气管道输送的氧气收到自然环境气温的影响，会进一步影响到炉膛内部的温场温度，从而导致长晶良品率呈现季节趋势性下降。

技术实现思路

[0003]针对现有技术中存在的问题，本技术的目的是提供一种外置聚能式PBN烘烤炉膛隔热装置，该装置可减少使用过程中炉膛内头、尾本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种外置聚能式PBN烘烤炉膛隔热装置，所述隔热装置设置在炉膛出口处，其特征在于，所述隔热装置为高稳定性耐高温材料制成的两端密闭的管状结构，所述管状结构的外管壁与炉膛出口处内壁贴合设置，所述管状结构的两端分别为外端和内端，所述外端为盖板，所述盖板尺寸大于炉膛出口处尺寸，所述内端为平面结构或向炉膛出口方向内凹的球面结构，所述管状结构内腔的内端面上固定贴合有耐高温反射镜，在所述管状结构的内腔填充隔热介质，所述管状结构的内腔设有贯穿两端的通孔，所述管状结构的外端盖板设有提手。2.根据权利要求1所述的外置聚能式PBN烘烤炉膛隔热装置，其特征在于，所述耐高稳定性耐高温材料为高纯石英、金属铂。3.根据权利要求1所述的外置聚能式PBN烘烤炉膛隔热装置，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗爱斌，孟国浩，陈章水，宾启雄，周铁军，
申请(专利权)人：广东先导微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：