一种砷化镓多晶焊道保护装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及多晶合成领域，具体公开一种砷化镓多晶焊道保护装置，用于放置封管，所述封管包括石英帽、石英管，所述石英帽和石英管焊接固定，焊接处形成焊道，所述焊道保护装置包括用于容纳所述封管的保护管和加热控温装置，所述保护管一端开口，焊道靠近所述保护管开口端放置，所述加热控温装置包括感应加热线圈和温度控制器，所述感应加热线圈缠绕在焊道相对的保护管外壁，所述温度控制器和感应加热线圈串联设置。在进行水平梯度凝固法合成的GaAs多晶时，使用本实用新型专利技术的砷化镓多晶焊道保护装置，焊管完毕后将封管放进焊道保护装置中，调节里面温度恒温在300~400℃，这样就可以避免方石英的产生从而保护了焊道，大大提高了合成的成功率。合成的成功率。合成的成功率。

【技术实现步骤摘要】
一种砷化镓多晶焊道保护装置


[0001]本技术涉及多晶合成领域，具体涉及一种砷化镓多晶焊道保护装置。

技术介绍

[0002]砷化镓是二元化合物，砷的蒸气压较高，且镓和砷容易氧化，故合成砷化镓多晶并不容易。目前工业上应用最为广泛的是水平梯度凝固法合成的GaAs多晶，水平梯度凝固法所需要的设备简单，合成过程中，密封在石英管内的砷和镓不受外界环境的影响；合成过程，再利用定向凝固对多晶进行提纯，得到比原料纯度更高的GaAs多晶。现有工艺是将砷和镓放进氮化硼舟里面，再进行抽真空封管。而封管是使用石英帽和石英管，利用氢氧焰在高温下将石英管和石英帽焊接在一起。
[0003]在高温时石英玻璃向方石英转变体积变化较小，因此石英玻璃长时间在高温情况下使用不存在问题。而当温度下降时，由于石英玻璃和方石英热膨胀系数不同，在下降至约300℃时，方石英会出现裂纹，焊道就会出现裂痕。如果进入合成炉时候出现裂痕就会开管重新生产，浪费物料和人工。如果进入合成炉后出现裂痕就会，导致多晶料会变成废料，造成更大损失。

技术实现思路

[0004]针对现有技术中存本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种砷化镓多晶焊道保护装置，用于放置封管，所述封管包括石英帽、石英管，所述石英帽和石英管焊接固定，焊接处形成焊道，其特征在于，所述焊道保护装置包括用于容纳所述封管的保护管和加热控温装置，所述保护管一端开口，焊道靠近所述保护管开口端放置，所述加热控温装置包括加热线圈和控制加热线圈加热的温度控制器，所述加热线圈缠绕在焊道相对的保护管外壁。2.如权利要求1所述的一种砷化镓多晶焊道保护装置，其特征在于，所述温度控制器和加热线圈串联设置。3.如权利要求1所述的一种砷化镓多晶焊道保...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗小龙，周铁军，王金灵，易明辉，
申请(专利权)人：广东先导微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：