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本实用新型涉及多晶合成领域，具体公开一种砷化镓多晶焊道保护装置，用于放置封管，所述封管包括石英帽、石英管，所述石英帽和石英管焊接固定，焊接处形成焊道，所述焊道保护装置包括用于容纳所述封管的保护管和加热控温装置，所述保护管一端开口，焊道靠近所...
该专利属于广东先导微电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东先导微电子科技有限公司授权不得商用。

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