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本实用新型属于半导体晶体制造领域，具体公开了一种外置聚能式PBN烘烤炉膛隔热装置，隔热装置为两端密闭的管状结构，其外管壁与炉膛出口处内壁贴合，管状结构的两端分别为外端和内端，外端为盖板，盖板尺寸大于炉膛出口处尺寸，内端为平面或向炉膛出口方向...
该专利属于广东先导微电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东先导微电子科技有限公司授权不得商用。

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