一种纳米压印光刻机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种纳米压印光刻机，包括底座、运动台、光源箱和压印箱，还包括螺纹杆和伺服电机，所述底座顶部设有运动台，所述底座顶部一侧通过螺栓安装有支撑架，所述支撑架顶部一侧通过螺栓安装有上板，所述上板底部设有压印箱，所述上板上贯穿焊接连接有内螺纹套，所述内螺纹套内螺纹插设有螺纹杆，所述压印箱顶部通过螺栓安装有伺服电机。整体纳米压印光刻机使用稳定高效，可助于人员对多种规格的晶圆进行压印光刻的同时，可有效提高压印光刻的品质，有效解决外部光照的影响，具有较高的实用性。的实用性。的实用性。

【技术实现步骤摘要】
一种纳米压印光刻机


[0001]本技术涉及压印光刻
，特别涉及一种纳米压印光刻机。

技术介绍

[0002]压印本质上从本质上是一种印刷复制技术，是将模板进行大量复制的技术，压印技术加工技术根据图形尺寸的大小可分为纳米压印技术和模压技术。最初提出的纳米压印技术为热压印纳米技术和室温纳米压印技术。
[0003]纳米压印光刻使用成本低，不像光学曝光机那样需要复制的光学系统或像电子束曝光机那样需要复杂的电磁聚焦系统，但现有的纳米压印光刻设备，缺乏良好的防护措施，没有能够对压印过程的光照进行良好照射的机构。为此，我们提出一种纳米压印光刻机。

技术实现思路

[0004]本技术的主要目的在于提供一种纳米压印光刻机，可以有效解决
技术介绍
中的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：
[0006]一种纳米压印光刻机，包括底座、运动台、光源箱和压印箱，还包括螺纹杆和伺服电机，所述底座顶部设有运动台，所述底座顶部一侧通过螺栓安装有支撑架，所述支撑架顶部一侧通过螺栓安装有上板，所述上板底部设有压印箱，所述上板上贯穿焊接连接有内螺纹套，所述内螺纹套内螺纹插设有螺纹杆，所述压印箱顶部通过螺栓安装有伺服电机。
[0007]进一步地，所述压印箱内顶部一侧通过螺栓安装有三角插套，所述三角插套内插设有三角折射镜，所述压印箱一侧开设有与三角折射镜对应的投光孔，所述压印箱一侧通过螺栓安装有光源箱，所述压印箱内底部通过螺栓安装有矩形套，所述矩形套内通过螺栓安装有压印头，所述压印头底部装配有模板。
[0008]进一步地，所述底座顶部通过螺栓安装有Z轴电动滑轨，所述Z轴电动滑轨的滑动块顶部通过螺栓安装有X轴电动滑轨，所述运动台底部通过螺栓与X轴电动滑轨的滑动块安装连接，所述运动台顶部分布开设有安装孔，所述运动台的安装孔顶部通过螺栓安装有晶圆座。
[0009]进一步地，所述压印箱顶部且位于伺服电机两侧分别通过螺栓安装有导向杆，所述导向杆与上板插设连接。
[0010]进一步地，所述压印箱和光源箱一侧均通过铰链安装有对应的检修门。
[0011]进一步地，所述伺服电机驱动端顶部通过联轴器与螺纹杆底端安装连接。
[0012]与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：
[0013]1.人员通过运动台、压印箱、螺纹杆和伺服电机组成的压印组件，实现对晶圆进行纳米压印光刻工作，使用时，人员将对应规格的晶圆座通过螺栓安装于运动台上，并将所需进行压印的晶圆放置于晶圆座内，使用时，人员通过X轴电动滑轨和Z轴电动滑轨组成的移动组件对运动台的工作位置进行移动调节，使得晶圆座能够稳定置于压印箱底部的压印区
域。
[0014]2.通过将所需的压印的模板装配于压印头底部，并将光刻所需的紫外线照明设备装配于光源箱内，通过投光孔的设置，可使紫外线光源投射至压印箱的三角折射镜上，由三角折射镜折射至压印头的模板上，随后通过伺服电机驱动螺纹杆转动，使得螺纹杆在上板的内螺纹套内进行螺纹下移，使得压印箱实现下移处理，使压印箱内的模板达到对晶圆座内的晶圆进行压印处理，且通过压印箱的设置，可有有效在压印时，对晶圆座外围进行照射，从而大大降低外界光束对光刻过程的影响，有效提高压印光刻作业的稳定性，增加晶圆光刻后的品质，整体纳米压印光刻机使用稳定高效，可助于人员对多种规格的晶圆进行压印光刻的同时，可有效提高压印光刻的品质，有效解决外部光照的影响，具有较高的实用性。
附图说明
[0015]图1为本技术一种纳米压印光刻机的整体结构示意图。
[0016]图2为本技术一种纳米压印光刻机的螺纹杆结构示意图。
[0017]图3为本技术一种纳米压印光刻机的压印箱截面结构示意图。
[0018]图4为本技术一种纳米压印光刻机的Z轴电动滑轨结构示意图。
[0019]图中：1、底座；2、运动台；3、支撑架；4、上板；5、压印箱；6、光源箱；7、内螺纹套；8、螺纹杆；9、伺服电机；10、联轴器；11、导向杆；12、检修门；13、投光；14、三角插套；15、三角折射镜；16、矩形套；17、压印头；18、模板；19、安装孔；20、Z轴电动滑轨；21、X轴电动滑轨；22、晶圆座。
具体实施方式
[0020]为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。
[0021]如图1
‑
4所示，一种纳米压印光刻机，包括底座1、运动台2、光源箱6和压印箱5，还包括螺纹杆8和伺服电机9，所述底座1顶部设有运动台2，所述底座1顶部一侧通过螺栓安装有支撑架3，所述支撑架3顶部一侧通过螺栓安装有上板4，所述上板4底部设有压印箱5，所述上板4上贯穿焊接连接有内螺纹套7，所述内螺纹套7内螺纹插设有螺纹杆8，所述压印箱5顶部通过螺栓安装有伺服电机9。
[0022]其中，所述压印箱5内顶部一侧通过螺栓安装有三角插套14，所述三角插套14内插设有三角折射镜15，所述压印箱5一侧开设有与三角折射镜15对应的投光孔13，所述压印箱5一侧通过螺栓安装有光源箱6，所述压印箱5内底部通过螺栓安装有矩形套16，所述矩形套16内通过螺栓安装有压印头17，所述压印头17底部装配有模板18；光源箱6助于人员装配紫外线光照设备。
[0023]其中，所述底座1顶部通过螺栓安装有Z轴电动滑轨20，所述Z轴电动滑轨20的滑动块顶部通过螺栓安装有X轴电动滑轨21，所述运动台2底部通过螺栓与X轴电动滑轨21的滑动块安装连接，所述运动台2顶部分布开设有安装孔19，所述运动台2的安装孔19顶部通过螺栓安装有晶圆座22；通过X轴电动滑轨21和Z轴电动滑轨20组成的移动组件对运动台2的工作位置进行移动调节，使得晶圆座22能够稳定置于压印箱5底部的压印区域。
[0024]其中，所述压印箱5顶部且位于伺服电机9两侧分别通过螺栓安装有导向杆11，所述导向杆11与上板4插设连接；导向杆11可对压印箱5的移动方向进行导向处理，增加压印箱5上下移动的稳定性。
[0025]其中，所述压印箱5和光源箱6一侧均通过铰链安装有对应的检修门12；检修门12助于人员对压印箱5和光源箱6进行开启，从而对内部的设备进行检修处理。
[0026]其中，所述伺服电机9驱动端顶部通过联轴器10与螺纹杆8底端安装连接；通过伺服电机9对螺纹杆8实现驱动转动。
[0027]需要说明的是，本技术为一种纳米压印光刻机，工作时，人员通过运动台2、压印箱5、螺纹杆8和伺服电机9组成的压印组件，实现对晶圆进行纳米压印光刻工作，使用时，人员将对应规格的晶圆座22通过螺栓安装于运动台2上，并将所需进行压印的晶圆放置于晶圆座22内，使用时，人员通过X轴电动滑轨21和Z轴电动滑轨20组成的移动组件对运动台2的工作位置进行移动调节，使得晶圆座22能够稳定置于压印箱5底部的压印区域，人员将所需的压印的模板18装配于压印头17底部，并将光刻本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种纳米压印光刻机，包括底座(1)、运动台(2)、光源箱(6)和压印箱(5)，其特征在于，还包括螺纹杆(8)和伺服电机(9)，所述底座(1)顶部设有运动台(2)，所述底座(1)顶部一侧通过螺栓安装有支撑架(3)，所述支撑架(3)顶部一侧通过螺栓安装有上板(4)，所述上板(4)底部设有压印箱(5)，所述上板(4)上贯穿焊接连接有内螺纹套(7)，所述内螺纹套(7)内螺纹插设有螺纹杆(8)，所述压印箱(5)顶部通过螺栓安装有伺服电机(9)。2.根据权利要求1所述的一种纳米压印光刻机，其特征在于：所述压印箱(5)内顶部一侧通过螺栓安装有三角插套(14)，所述三角插套(14)内插设有三角折射镜(15)，所述压印箱(5)一侧开设有与三角折射镜(15)对应的投光孔(13)，所述压印箱(5)一侧通过螺栓安装有光源箱(6)，所述压印箱(5)内底部通过螺栓安装有矩形套(16)，所述矩形套(16)内通过螺栓安装有压印头(17)，所述压印头(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：ꢀ七四专利代理机构，
申请(专利权)人：常熟埃眸科技有限公司，
类型：新型
国别省市：